| 研究課題/領域番号 |
12838003
|
|---|
| 研究種目 |
基盤研究(C)
|
| 配分区分 | 補助金 |
|---|
| 応募区分 | 一般 |
|---|
| 研究分野 |
複合集積システム
|
|---|
| 研究機関 | 山口大学 |
|---|
研究代表者 |
南 和幸 山口大学, 工学部, 助教授 (00229759)
|
|---|
| 研究分担者 |
羽根 一博 東北大学, 大学院・工学研究科, 教授 (50164893)
|
|---|
| 研究期間 (年度) |
2000 – 2001
|
| 研究課題ステータス |
完了 (2001年度)
|
| 配分額 *注記 |
3,800千円 (直接経費: 3,800千円)
2001年度: 500千円 (直接経費: 500千円)
2000年度: 3,300千円 (直接経費: 3,300千円)
|
|---|
| キーワード | マイクロマシン / 光デバイス / 光導波路 / MEMS / アクチュータ / アクチュエータ |
|---|
| 研究概要 |
1.ポリマー導波路の材料評価
市販の各種透明エラストマーの有機溶媒溶解性についても評価を行い、柔らかい導波路を作製のための樹脂の組み合わせの指針を得た。
2.光導波路製作プロセスの開発
ポリマー導波路に使用されるフッ素化ポリイミドのエッチング加工プロセスを開発した。酸素イオンによる斜め異方性エッチング技術を確立し、光スキャナに必要な斜め反射鏡の製作が可能になった。
3.1次元光スキャナの設計、試作
電磁力を駆動源とした導波路を捻るタイプの光スキャナを設計するためのねじり剛性などの理論式を導出し、設計を行った。これをもとに試作を試み、この中で加工プロセスの改良、製作プロセスの修正を行った。初期のプロセスでは、マスクの不具合で駆動用配線が後工程のエッチングでダメージを受けるなどの問題が生じたが、マスクの修正などにより解決した。これにより光導波路の製作、駆動用配線の製作などに成功した。
しかし、この後の酸素イオンを用いた深いエッチングにより可動部を形成する加工ステップで問題が発生した可動部形成には構造体材料である光導波路用ポリイミドは深く掘る必要があるため、長時間の酸素イオンエッチングを行ったところポリイミドが黒褐色に変色した。これはイオン衝撃により基板が加熱されポリイミドが変質したためと考えられる。この問題は使用した加工装置に由来する問題であり、エッチング時間制御、イオン電流などプロセス条件の検討等を行ったが、実用的な条件を見つけることは出来なかった。加工装置の改良などが必要であり、今研究期間での解決は出来なかった。
今後の課題として、ステージ冷却部の改造、冷却手段の改善などの解決策の実施により、ポリイミドが劣化しないエッチングプロセスの開発が必要である。
|
