放電プラズマ現象とその応用に関する企画調査

• 研究課題/領域番号: 12898013
• 研究種目: 基盤研究(C)
• 配分区分: 補助金
• 応募区分: 企画調査
• 研究分野: プラズマ理工学
• 研究機関: 九州大学
• 研究代表者: 河合 良信 九州大学, 大学院・総合理工学研究院, 教授 (10038565)
• 研究分担者: 吉田 豊信 東京大学, 大学院・工学研究科, 教授 (00111477) ; 佐藤 徳芳 東北大学, 大学院・工学研究科, 教授 (40005252) ; 酒井 洋輔 北海道大学, 大学院・工学研究科, 教授 (20002199) ; 橘 邦英 京都大学, 大学院・工学研究科, 教授 (40027925) ; 後藤 俊夫 名古屋大学, 大学院・工学研究科, 教授 (50023255)
• 研究期間 (年度): 2000
• 研究課題ステータス: 完了 (2000年度)
• 配分額: 2,200千円 (直接経費: 2,200千円); 2000年度: 2,200千円 (直接経費: 2,200千円)
• キーワード: 放電プラズマ / プラズマ生成 / 半導体プロセ / スペースプ / 気体レーザー / 高温プラズマ / 放電素過程

研究概要

放電プラズマ分野の歴史は長く、核融合から材料・エレクトロニクスまで幅広い応用分野を持ち、これまで多くの国際会議が開催されてきている。それらの中で、International Conference on Phenomena in Ionized Gases(ICPIG)は約半世紀の歴史を持ち、隔年ごとに開催されてきた国際会議であり、ヨーロッパを中心にアメリカ、オーストラリア等から600名前後の研究者の参加を得て、放電プラズマ現象とその応用に関する多くの発表が行われてきた。日本からも毎回当該分野の研究者が多数参加し、優れた成果を公表してきた。このICPIGは、従来ヨーロッパを中心に開催されてきたが、1998年ポーランドで開かれた国際組織委員会で、第25回ICPIGを2001年に2001年7月、名古屋で開催されることが決まった。日本で初めての開催である。
第25回ICPIG開催の成功に向けて、早急に関係分野の研究者の協力体制を作るとともに、放電プラズマ現象とその応用に関する研究の動向と今後の方向を調査した。即ち、関係する国内の主要な研究者を下記の5分野に組織して、国内外の研究の現状と今後の方向を調査した。
(1)放電プラズマ現象の基礎分野(波動現象、放電プラズマの素過程)
(2)新しい放電プラズマ生成機構
(3)応用分野(プラズマ材料・半導体プロセス、照明、気体レーザー等)
(4)スペースプラズマ
(5)高温プラズマにおける放電現象
さらに、第25回ICPIGの準備を進め、投稿されたプロシーディングスの査読にプログラム委員として積極的に協力した。また、同会議でのダストプラズマに関するワークショップの国内研究者による予備的研究会を行い、ワークショップが実ある会議となるための準備を行った。
以上のように、本企画調査の成果は、第25回ICPIGの成功に貢献するのみならず、放電プラズマ現象の基礎分野と応用分野の研究面での相互交流をより活発化させ、放電プラズマ現象の発展に大きく寄与するものと期待される。