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超短パルスレーザーによる金属表面ナノ構造自己形成の機構解明と高効率加工法の開発

研究課題

研究課題/領域番号 12J04282
研究種目

特別研究員奨励費

配分区分補助金
応募区分国内
研究分野 材料加工・処理
研究機関京都大学

研究代表者

清水 雅弘  京都大学, 化学研究所, 特別研究員(PD)

研究期間 (年度) 2012 – 2014-03-31
研究課題ステータス 採択後辞退 (2013年度)
配分額 *注記
2,200千円 (直接経費: 2,200千円)
2013年度: 1,100千円 (直接経費: 1,100千円)
2012年度: 1,100千円 (直接経費: 1,100千円)
キーワードフェムト秒レーザー / 金属 / アブレーション / 閾値
研究概要

前年度までに、4種の金属(Cu, Pt, W, Mo)にアブレーション閾値以下のフルーエンスで超短パルスレーザーを照射した時に形成される表面ナノ構造のSEM観察を終えた。Cu, Mo, W表面にはクラックの発生が確認されたが、Ptにおいてクラックは観察されなかった。本年度は、この結果を踏まえて、Ptとその他の金属の違いを議論するために、金属の光・熱・機械物性の観点から、電磁界分布シミュレーションおよび文献調査により議論した。また、アブレーション閾値以上のレーザー照射を行い、SEM観察を行った。
時間領域差分法によるレーザー照射時の電界分布の計算より、金属表面の窪みが起点となってクラック発生し、成長することがわかった。クラックが一定の長さ以上に成長すると、クラック端の電場強度は弱くなり、成長が止まることがわかった。これより、入射パルス数を変化させてもクラックの長さの分布が変化しないことを説明できた。文献調査により、Ptは他の金属と比べて延性・展性に富んでいることがわかり、これが原因でクラックが発生しないことがわかった。以上の結果を前年度の結果と合わせ論文化した。応用物理分野でトップレベルの国際学術誌であるApplied Physics Lettersに掲載された。
アブレーション閾値以上における入射パルス数の増加に伴うナノ周期構造の形成過程が明らかになった。表面に窪みを起点に散乱波が生じ、それにより表面プラズモンが励起される。それが入射波と干渉しあってナノ周期構造が形成されることが分かった。

現在までの達成度 (区分)
現在までの達成度 (区分)

2: おおむね順調に進展している

理由

ナノ粒子と超短パルスレーザーとの相互作用の解明は未だに遠成できていないが、金属表面におけるナノ構造形成に対してモデルを提案し、論文化できたことは評価できる。

今後の研究の推進方策

ナノ構造形成過程のその場観察を行うことにより、今回提案したモデルが正しいことを実証する。

報告書

(2件)
  • 2013 実績報告書
  • 2012 実績報告書
  • 研究成果

    (12件)

すべて 2013 2012

すべて 雑誌論文 (6件) (うち査読あり 5件) 学会発表 (6件)

  • [雑誌論文] Unidirectionally oriented nanocracks on metal surfaces irradiated by low-fluence femtosecond laser pulses2013

    • 著者名/発表者名
      Masahiro Shimizu, et al.
    • 雑誌名

      Applied Physics Letters

      巻: 103

    • 関連する報告書
      2013 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Metal-like self-organization of periodic nanostructures on silicon and silicon carbide under femtosecond laser pulses2013

    • 著者名/発表者名
      Laura Gemini, et al.
    • 雑誌名

      Journal of Applied Physics

      巻: 114

    • 関連する報告書
      2013 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Shape control of elemental distributions inside a glass by simult aneous femtosecond laser irradiation at multiple spots2013

    • 著者名/発表者名
      Masaaki Sakakura, et al.
    • 雑誌名

      Optics Letters

      巻: 38 ページ: 4939-4942

    • 関連する報告書
      2013 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] フェムト秒レーザーによる金属表面ナノ構造自己形成2013

    • 著者名/発表者名
      清水雅弘, ほか
    • 雑誌名

      電気学会研究会資料

      巻: LAV-12-16 ページ: 3-6

    • NAID

      10031141967

    • 関連する報告書
      2012 実績報告書
  • [雑誌論文] Plasmonically enhanced Faraday effect in metal and ferrite nanoparticles composite precipitated inside glass2012

    • 著者名/発表者名
      Seisuke Nakashima, ほか
    • 雑誌名

      Optics Express

      巻: 20 号: 27 ページ: 28191-28199

    • DOI

      10.1364/oe.20.028191

    • 関連する報告書
      2012 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Homogeneous and elongation-free 3D microfabrication by a femtosecond laser pulse and hologram2012

    • 著者名/発表者名
      Masahiro Yamaji, Hayato Kawashima, Jun' ichi Suzuki, Shuhei Tanaka, Masahiro Shimizu, Kazuyuki Hirao, Yasuhiko Shimotsuma, Kiyotaka Miura
    • 雑誌名

      Journal of Applied Physics

      巻: 111 号: 8

    • DOI

      10.1063/1.4705286

    • 関連する報告書
      2012 実績報告書
    • 査読あり
  • [学会発表] フェムト秒レーザーによる金属表面ナノ構造自己形成~金属種により異なる表面構造~2013

    • 著者名/発表者名
      清水雅弘, ほか
    • 学会等名
      日本物理学会 第68回年次大会
    • 発表場所
      広島大学
    • 年月日
      2013-03-29
    • 関連する報告書
      2012 実績報告書
  • [学会発表] フェムト秒レーザーによって形成される金属表面ナノ構造のレーザーパルス数依存2013

    • 著者名/発表者名
      清水雅弘, ほか
    • 学会等名
      第33回レーザー学会学術講演会
    • 発表場所
      姫路商工会議所
    • 年月日
      2013-01-28
    • 関連する報告書
      2012 実績報告書
  • [学会発表] フェムト秒レーザーによる金属表面ナノ構造自己形成2012

    • 著者名/発表者名
      清水雅弘, ほか
    • 学会等名
      電気学会光応用・視覚研究会
    • 発表場所
      大阪産業大学
    • 年月日
      2012-12-21
    • 関連する報告書
      2012 実績報告書
  • [学会発表] フェムト秒レーザー照射によるガラス内部の局所温度上昇評価と構造変化メカニズムの検討2012

    • 著者名/発表者名
      清水雅弘, ほか
    • 学会等名
      第53回ガラスおよびフォトニクス材料討論会
    • 発表場所
      北海道大学
    • 年月日
      2012-10-25
    • 関連する報告書
      2012 実績報告書
  • [学会発表] フェムト秒レーザーアプレーションによる金属表面ナノ構造形成の機構解明2012

    • 著者名/発表者名
      清水雅弘, ほか
    • 学会等名
      日本物理学会 2012年秋季大会
    • 発表場所
      横浜国立大学
    • 年月日
      2012-09-20
    • 関連する報告書
      2012 実績報告書
  • [学会発表] フェムト秒レーザーによる金属表面ナノ構造自己形成~アプレーション閾値近傍フルーェンスにおける表面構造のパルス数依存性~2012

    • 著者名/発表者名
      清水雅弘, ほか
    • 学会等名
      2012年秋季第73回応用物理学会学術講演会
    • 発表場所
      愛媛大学
    • 年月日
      2012-09-12
    • 関連する報告書
      2012 実績報告書

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公開日: 2013-04-25   更新日: 2024-03-26  

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