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交互供給コドーピング法による高濃度P型窒化物半導体薄膜結晶の製作とその応用

研究課題

研究課題/領域番号 13355001
研究種目

基盤研究(A)

配分区分補助金
応募区分展開研究
研究分野 応用物性・結晶工学
研究機関独立行政法人理化学研究所 (2003)
東京工業大学 (2001-2002)

研究代表者

平山 秀樹 (2003)  独立行政法人理化学研究所, 石橋極微デバイス工学研究室, 先任研究員 (70270593)

青柳 克信 (2001-2002)  東京工業大学, 大学院・総合理工学研究科, 教授 (70087469)

研究分担者 川崎 宏治  東京工業大学, 大学院・総合理工学研究科, 助手 (10234056)
吉田 博  大阪大学, 産業科学研究所, 教授 (30133929)
田 昭治  片桐エンジニアリング(株), 技術部長
平山 秀樹  理化学研究所, 半導体工学研究室, 研究員 (70270593)
岩井 荘八  理化学研究所, 半導体工学研究室, 主任研究員 (40087474)
研究期間 (年度) 2001 – 2003
研究課題ステータス 完了 (2003年度)
配分額 *注記
52,780千円 (直接経費: 40,600千円、間接経費: 12,180千円)
2003年度: 7,540千円 (直接経費: 5,800千円、間接経費: 1,740千円)
2002年度: 21,320千円 (直接経費: 16,400千円、間接経費: 4,920千円)
2001年度: 23,920千円 (直接経費: 18,400千円、間接経費: 5,520千円)
キーワード深紫外LED / ワイドバンドギャップ / MOCVD法 / 交互供給法 / Mgドーピング / コドーピング / 貫通転位密度 / 交互供給成長法 / 有機金属気相成長法 / III族窒化物半導体 / 紫外LED / 紫外半導体レーザ / 交互供給コドーピング / 高濃度P型 / 窒化物半導体 / MOCVD / MBE / AlGaN / 第一原理計算 / 不純物対 / p型 / GaN / サファイヤ / ホール濃度 / パルス供給法
研究概要

波長250nm-350nm帯の紫外高輝度発光ダイオード(LED)、半導体レーザ(LD)は、半導体白色光源、高密度光ディスク、殺菌等の医療、化学工業、公害物質の高速分解処理等、さまざまな分野での応用が大変期待されている。InGaN(窒化インジウムガリウム)を用いた、波長400nm帯の可視域LED・LDはすでに開発され、市販もされている。一方、波長250-350nmの高輝度LED・LDは、ワイドバンドギャップp型窒化物半導体実現の困難などのため、未だ実現していない。本研究では、高濃度p型半導体を得るため、交互供給コドーピング法を確立しその優位性を実証する。本方法をワイドバンドギャップAlGaN(窒化アルミニウムガリウム)系に適応し高濃度p型AlGaNの実現を試み、それを用いて深紫外LED・LDを実現することが本研究の目的である。
本研究では、まずGaNを用いて交互供給コドーピングの効果を実証した。GaNにSiとMgの交互供給コドーピングを行う事により、高いホール濃度を得た。さらに、交互供給ドーピング法を高Al組成AlGaNに適用した。高Al組成AlGaNに交互供給法を持いてMgドーピングを行ったところ、これまでp型化が不可能であった高濃度Al組成46-53%においてホール伝導を確認した。また、SiとMgの交互供給コドーピングを行う事により高Al組成AlGaNにおいて高濃度ホール濃度を確認した。このようにして得られた高Al組成p型AlGaNを用いて波長308-312nmの深紫外LEDを作製し、電流注入によりシングルピーク発光を観測し、サブミリワットの紫外出力を得た。

報告書

(4件)
  • 2003 実績報告書   研究成果報告書概要
  • 2002 実績報告書
  • 2001 実績報告書
  • 研究成果

    (86件)

すべて 2005 2004 2003 2002 2001 その他

すべて 雑誌論文 (74件) 図書 (2件) 産業財産権 (4件) 文献書誌 (6件)

  • [雑誌論文] Quaternary InAlGaN-based high-efficiency ultraviolet light-emitting diodes2005

    • 著者名/発表者名
      H.Hirayama
    • 雑誌名

      J.Appl.Phys. 97

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2003 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] High-efficiency 350 nm-band quaternary InAlGaN- based UV-LED on GaN/sapphire template2005

    • 著者名/発表者名
      H.Hirayama
    • 雑誌名

      Phys.Stat.Sol.(c) 2

      ページ: 2899-2902

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2003 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Significant improvements of quantum efficiencies of quaternary InAlGaN UV-LEDs on GaN substrates2005

    • 著者名/発表者名
      T.Kyono
    • 雑誌名

      Phys.Stat.Sol.(c) 2

      ページ: 2912-2915

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2003 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Effects of GaN Substrates on InAlGaN Quaternary UV LEDs2005

    • 著者名/発表者名
      K.Akita
    • 雑誌名

      Phys.Stat.Sol.(c) 201

      ページ: 2624-2627

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2003 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] 窒化物4元混晶を用いた高効率紫外LED2005

    • 著者名/発表者名
      平山秀樹
    • 雑誌名

      電気学会論文誌C 125

      ページ: 160-168

    • NAID

      10014301981

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2003 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Quaternary InAlGaN-based high-efficiency ultraviolet light-emitting diodes2005

    • 著者名/発表者名
      H.Hirayama
    • 雑誌名

      J. Appl. Phys. 97

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2003 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] High-efficiency 350 rm-band quaternary InAIGaN- based UV LED on GaN/sapphire template2005

    • 著者名/発表者名
      H.Hirayama, T.Kyono, K.Akita, T.Nakamura, K.Ishibashi
    • 雑誌名

      Phys. Stat. Sol.(c) 2, 7

      ページ: 2899-2902

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2003 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Significant improvements of quantum efficiencies of quaternary InAlGaN UV-LEDs on GaN substrates2005

    • 著者名/発表者名
      T.Kyono, H.Hirayama, K.Akita, T.Nakamura, K.Ishibashi
    • 雑誌名

      Phys. Stat. Sol.(c) 2, 7

      ページ: 2912-2915

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2003 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] High- Efficiency UV-LEDs using Quaternary InAlGaN2005

    • 著者名/発表者名
      H.Hirayama, T.Kyono, K.Akita, T.Nakamura, K.Ishibashi
    • 雑誌名

      IEEJ, Trans. EIS vol.125, no.2

      ページ: 160-168

    • NAID

      210000174185

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2003 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] High-efficiency 352 nm quaternary InAlGaN-based ultraviolet light-emitting diodes grwon on GaN substrates2004

    • 著者名/発表者名
      H.Hirayama
    • 雑誌名

      Jpn.J.Appl.Phys 43

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2003 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Advantage of GaN substrates in InAlGaN quaternary ultraviolet-light-emitting diodes2004

    • 著者名/発表者名
      K.Akita
    • 雑誌名

      Jpn.J.Appl.Phys 43

      ページ: 8030-8031

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2003 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Milliwatt Power 350-nm-band Quaternary InAlGaN UV-LEDs over GaN Substrate2004

    • 著者名/発表者名
      H.Hirayama
    • 雑誌名

      Phys.Stat.Sol.(c) 201

      ページ: 2639-2643

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2003 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Growth and Annealing Condition of high Al Content p-type AlGaN for deep UV-LEDs2004

    • 著者名/発表者名
      T.Obata
    • 雑誌名

      Phys.Stat.Sol.(c) 201

      ページ: 2803-2807

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2003 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Quaternary InAlGaN based Deep UV LED with High-Al-content p-type AlGaN2004

    • 著者名/発表者名
      H.Hirayama
    • 雑誌名

      Proc.SPIE Int.Soc.Opt.Eng. 5539

      ページ: 422-433

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2003 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Surprisingly low built-in electric fields in quaternary AlInGaN heterostructures2004

    • 著者名/発表者名
      S.Anceau
    • 雑誌名

      Phys.Stat.Sol.(c) 201

      ページ: 190-194

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2003 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] InAlGaN4元混晶を用いた紫外LEDの短波長化と高出力化2004

    • 著者名/発表者名
      平山秀樹
    • 雑誌名

      レーザー研究 32

      ページ: 402-409

    • NAID

      10013161084

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2003 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] 紫外LEDにおけるGaN基板の効果2004

    • 著者名/発表者名
      秋田勝史
    • 雑誌名

      SEIテクニカルレビュー 165

      ページ: 75-80

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2003 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] 計算機ナノマテリアルデザインの基礎と応用2004

    • 著者名/発表者名
      吉田博
    • 雑誌名

      固体物理 39

      ページ: 711-714

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2003 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] High-efficiency 352 nm quaternary InAlGaN-based ultraviolet light-emitting diodes grown on GaN substrates2004

    • 著者名/発表者名
      H.Hirayama, K Akita, T.Kyono, T.Nakamura, K.Ishibashi
    • 雑誌名

      Jpn. J. Appl. Phys. 43, 10A

    • NAID

      10013611337

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2003 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Advantage of GaN substrates in InAlGaN quaternary ultraviolet- light- emitting diodes2004

    • 著者名/発表者名
      K.Akita, T.Nakamura, H.Hirayama
    • 雑誌名

      Jpn. J. Appl. Phys. 43, 12

      ページ: 8030-8031

    • NAID

      10014215834

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2003 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Milliwatt Power 350-nm-band Quaternary InAlGaN UV-LEDs over GaN Substrate2004

    • 著者名/発表者名
      H.Hirayama, K.Akita, T.Kyono, T.Nakamura
    • 雑誌名

      Phys. Stat. Sol.(a) 201, 12

      ページ: 2639-2643

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2003 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Effects of GaN Substrates on InA1GaN Quaternary UV LEDs2004

    • 著者名/発表者名
      K.Akita, T.Nakamura, H.Hirayama
    • 雑誌名

      Phys. Stat. Sol.(a) 201, 12

      ページ: 2624-2627

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2003 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Growth and Annealing Condition of high Al Content p-type AlGaN for deep UV-LEDs2004

    • 著者名/発表者名
      T.Obata, H.Hirayama, Y.Aoyagi, K.Ishibashi
    • 雑誌名

      Phys. Stat. Sol.(a) 201, 12

      ページ: 2803-2807

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2003 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Quaternary InAlGaN based Deep UV LED with High-Al-content p-type AlGaN2004

    • 著者名/発表者名
      H.Hirayama, Y.Aoyagi
    • 雑誌名

      Proc. SPIE Int. Soc. Opt. Eng. 5359

      ページ: 422-433

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2003 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Surprisingly low built-in electric fields in quaternary AlInGar heterostructures2004

    • 著者名/発表者名
      S.Anceau, P.Lefebvre, T.Suski, S.P.Lepkowski, H.Teisseyre, L.H.Dmowski, L.Konczewicz, A.Kaminska, A.Suchocki, H.Hirayama, Y.Aoyagi
    • 雑誌名

      Phys. Stat. Sol.(a) vol.201 no.2

      ページ: 190-194

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2003 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Short Wavelength and High- Efficiency Operation of Deep UV LED Using Quaternary InAlGaN2004

    • 著者名/発表者名
      H.Hirayama, K.Akita, T.Kyono, T.Nakamura, Y.Aoyagi
    • 雑誌名

      The Review of Laser Engineering, Special Issue on Present Status and Future Prospect of Ultraviolet LEDs and LDs Based on Nitride Semiconductors Vol.32, no.6

      ページ: 402-409

    • NAID

      10013161084

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2003 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Effects of GaN Substrate in Ultraviolet Light-Emitting Diodes2004

    • 著者名/発表者名
      K.Akita, T.Nakamura, H.Hirayama
    • 雑誌名

      SEI Technical Review Vol.165

      ページ: 75-80

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2003 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Determination of Built-in Electric Fields in Quaternary InAlGaN Heterostructure2003

    • 著者名/発表者名
      H.Teisseyre
    • 雑誌名

      Appl.Phys.Letters 82

      ページ: 1541-1543

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2003 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] MBE growth and properties of GaCrN, H.Hashimoto2003

    • 著者名/発表者名
      Y.K.Xhou
    • 雑誌名

      J.Crystal Growth 251

      ページ: 327-330

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2003 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Materials Design for Semiconductor Spintronics by Ab initio Electronic-structure Calculation2003

    • 著者名/発表者名
      H.Katayama-Yoshida
    • 雑誌名

      Physica B327

      ページ: 337-343

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2003 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] InAlGaN4元混晶を用いた紫外LEDの短波長化と高出力化2003

    • 著者名/発表者名
      平山秀樹
    • 雑誌名

      電子情報通信学会技術研究報告 103

      ページ: 13-18

    • NAID

      10013161084

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2003 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Determination of Built-in Electric Fields in Quaternary InAlGaN Heterostructures2003

    • 著者名/発表者名
      H.Teisseyre, T.Suski, S.P.Lepkowski, S.Anceau, P.Perlin, P.Lefebvre, L.Konczewicz, H.Hirayama, Y.Aoyagi
    • 雑誌名

      Appl. Phys. Letters vol.82, no.10

      ページ: 1541-1543

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2003 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] MBE growth and properties of GaCrN2003

    • 著者名/発表者名
      H.Hashimoto, Y.K.Xhou, M.Kanamura, H.Katayama-Yoshida, H.Asahi
    • 雑誌名

      J. Crystal Growth. 251

      ページ: 327-330

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2003 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Materials Design for Semiconductor Spintronics by Ab initio Electronic-structure Calculation (Invited)2003

    • 著者名/発表者名
      H.Katayama-Yoshida, K.Sato
    • 雑誌名

      Physica B327

      ページ: 337-343

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2003 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Recent Progress of UV LEDs-using Quaternary InAlGaN-Toward Shorter Wavelength and High-Efficiency Operation--2003

    • 著者名/発表者名
      H.Hirayama, K.Akita, T.Nakamura, M.Kiyama, Y.Aoyagi
    • 雑誌名

      Technical Report of IEICE. ED2003-134

    • NAID

      110003174988

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2003 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Marked enhancement of 320-360 nm UV emission in quaternary In_xAl_yGa_<1-x-y>N with In-segregation effect2002

    • 著者名/発表者名
      H.Hirayama
    • 雑誌名

      Appl.Phys.Lett. 80

      ページ: 207-209

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2003 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Room-Temperature Intense 320nm-Band UV Emission from Quaternary InAlGaN-Based Multi-Quantum Wells2002

    • 著者名/発表者名
      H.Hirayama
    • 雑誌名

      Appl.Phys.Lett. 80

      ページ: 1589-1591

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2003 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Efficient 230-280nm Emission from high-Al-Content AlGaN-Based Multi-Quantum Wells2002

    • 著者名/発表者名
      H.Hirayama
    • 雑誌名

      Appl.Phys.Lett. 80

      ページ: 37-39

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2003 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Fabrication of Low Threating Dislocation Density AlGaN Buffer on SiC using Highly Si-doped AlGaN Superlattices2002

    • 著者名/発表者名
      H.Hirayama
    • 雑誌名

      Appl.Phys.Lett. 80

      ページ: 2057-2059

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2003 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] High Doped p-Type GaN Grwon by Alternative Co-Doping Technique2002

    • 著者名/発表者名
      S.Iwai
    • 雑誌名

      Material Research Society Symposium Proceeding 719

      ページ: 3-9

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2003 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Small Built-in electric Fields in Quaternary InAlGaN Heterostructures2002

    • 著者名/発表者名
      H.Teisseyre
    • 雑誌名

      Phys.Stat.Sol.(b) 234

      ページ: 764-768

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2003 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Effect of thermal annealing on the Pd/Au contact to p-type A10.15Ga0.85N2002

    • 著者名/発表者名
      B.H.Jun
    • 雑誌名

      Jan.J.Appl.Phys. 41

      ページ: 581-582

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2003 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Growth of AIN-SiC Solid Solutions by Sequential Supply Epitaxy2002

    • 著者名/発表者名
      A.Avramescu
    • 雑誌名

      J.Crystal Growth 234

      ページ: 435-439

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2003 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] First Principles Materials Design for Semiconductor Spintronics2002

    • 著者名/発表者名
      K.Sato
    • 雑誌名

      Semicond.Sci.Technol. 17

      ページ: 367-376

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2003 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Materials Design for New Functional Semiconductors by Ab Initio Electronic Structure Calculation -Prediction vs. experiment-2002

    • 著者名/発表者名
      H.Katayama-Yoshida
    • 雑誌名

      JSAP International 6

      ページ: 20-27

    • NAID

      10006392835

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2003 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Ab Initio Design on the Diamond Synthesis Method by Core Excitation2002

    • 著者名/発表者名
      H.Nakayama
    • 雑誌名

      Jpn.J.Appl.Phys. 41

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2003 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Materials Design by Ab Initio Electronic Structure Calculation2002

    • 著者名/発表者名
      H.Katayama-Yoshida
    • 雑誌名

      Materials Integration 15

      ページ: 28-40

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2003 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] InAlGaN4元混晶を用いた330nm帯高効率紫外LED2002

    • 著者名/発表者名
      平山秀樹
    • 雑誌名

      日本結晶成長学会誌 29

      ページ: 18-26

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2003 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] 第一原理分子動力学法(Osaka2000)の開発と応用2002

    • 著者名/発表者名
      白井光
    • 雑誌名

      固体物理 37

      ページ: 521-525

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2003 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Marked enhancement of 320-360 nm UV emission in quaternary InxAlyGal-x-yN with In-segregation effect2002

    • 著者名/発表者名
      H.Hirayama, T.Yamabi, A.Kinoshita, Y.Enomoto, A.Hirata, T.Araki, Y.Nanishi, Y.Aoyagi
    • 雑誌名

      Appl. Phys. Lett. vol.80, no.2

      ページ: 207-209

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2003 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Room-Temperature Intense 320nm-Band UV Emission from Quaternary InAlGaN-Based Multi-Quantum Wells2002

    • 著者名/発表者名
      H.Hirayama, Y.Enomoto, A.Kinoshita, A.Hirata, Y.Aoyagi
    • 雑誌名

      Appl. Phys. Lett. vol.80, no.9

      ページ: 1589-1591

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2003 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Efficient 230-280nm Emission from high-Al-Content AlGaN-Based Multi-Quantum Wells2002

    • 著者名/発表者名
      H.Hirayama, Y.Enomoto, A.Kinoshita, A.Hirata, Y.Aoyagi
    • 雑誌名

      Appl. Phys. Lett. vol.80 no.2

      ページ: 37-39

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2003 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Fabrication of Low Threading Dislocation Density AlGaN Buffer on SiC using Highly Si-doped AlGaN Superlattices2002

    • 著者名/発表者名
      H.Hirayama, M.Ainoya, A.Kinoshita, A.Hirata, Y.Aoyagi
    • 雑誌名

      Appl. Phys. Lett. vol.80, no.12

      ページ: 2057-2059

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2003 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] High Doped 'p-Type GaN Grown by Alternative Co-Doping Technique2002

    • 著者名/発表者名
      S.Iwai, H.Hirayama, Y.Aoyagi
    • 雑誌名

      Material Research Society Symposium Proceeding Vol.719

      ページ: 3-9

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2003 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Small Built-in Electric Fields in Quaternary InAlGaN Heterostructures2002

    • 著者名/発表者名
      H.Teisseyre, T.Suski, S.P.Lepkowski, S.Anceau, P.Perlin, P.Lefebvre, L.Konczewicz, H.Hirayama, Y.Aoyagi
    • 雑誌名

      Phys. Stat. Sol.(b) vol.243, no.3

      ページ: 764-768

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2003 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Fabrication of p-n junction with Mg-doped wide bandgap InAlGaN for application to UV emitters2002

    • 著者名/発表者名
      H.Hirayama, T.Yamanaka, A.Kinoshita, H.Hiraoka, A.Hirata, Y.Aoyagi
    • 雑誌名

      GaN and Related Alloys-2001, Mater. Res. Soc 693

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2003 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] High-efficiency UV-emission at 345nm from InAlGaN light-emitting diodes2002

    • 著者名/発表者名
      A.Kinoshita, H.Hirayama, T.Yamabi, A.Hirata, Y.Aoyagi
    • 雑誌名

      GaN and Related Alloys-2001, Mater. Res. Soc. 693

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2003 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Investigation of the optimum growth conditions of wide bandgap InAlGaN quaternary for UV-LEDs2002

    • 著者名/発表者名
      T.Yamabi, A.Kinoshita, H.Hirayama, A.Hirata, Y.Aoyagi
    • 雑誌名

      GaN and Related Alloys-2001, Mater. Res. Soc. 693

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2003 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Effect of thermal annealing on the Pd/Au contact to p-type A10.15Ga0.85N2002

    • 著者名/発表者名
      B.H.Jun, H.Hirayama, Y.Aoyagi
    • 雑誌名

      Jan. J. Appl. Phys. Vol.41 part 1, no.2A

      ページ: 581-582

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2003 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Growth of AlN-SiC Solid Solutions by Sequential Supply Epitaxy2002

    • 著者名/発表者名
      A.Avramescu, H.Hirayama, Y.Aoyagi, S.Tanaka
    • 雑誌名

      J. Crystal Growth vol.234

      ページ: 435-439

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2003 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] First Principles Materials Design for Semiconductor Spintronics (Special issues: Semiconductor spintronics, Guest editor: H. Ohno)2002

    • 著者名/発表者名
      K.Sato, H.Katayama-Yoshida
    • 雑誌名

      Semicond. Sci. Technol. 17

      ページ: 367-376

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2003 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Codoping Methods for Wide Bandgap Semiconductors : Application to the Low-resistive n-type Diamond2002

    • 著者名/発表者名
      H.Katayama-Yoshida, T.Nishimatsu, N.Orita
    • 雑誌名

      ICTMC 2002 (10th International Ceramics Congress and 3rd Forum on New Materials), Florence, Italy

      ページ: 14-18

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2003 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Materials Design for New Functional Semiconductors by Ab Initio Electronic Structure Calculation -Prediction vs. experiment-2002

    • 著者名/発表者名
      H.Katayama-Yoshida, K.Sato, T.Yamamoto
    • 雑誌名

      JSAP International 6

      ページ: 20-27

    • NAID

      10006392835

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2003 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Ab Initio Design on the Diamond Synthesis Method by Core Excitation,2002

    • 著者名/発表者名
      H.Nakayama, H.Katayama-Yoshida
    • 雑誌名

      Jpn. J. Appl. Phys. 41

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2003 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Materials Design by Ab Initio Electronic Structure Calculation2002

    • 著者名/発表者名
      H.Katayama-Yoshida
    • 雑誌名

      Materials Integration (Special Issue for Inter Material on Materials Integration (1)). 15

      ページ: 28-40

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2003 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Development of 300 nm Band High-Intensity Ultraviolet (UV) LEDs using Quaternary InAlGaN2002

    • 著者名/発表者名
      H.Hirayama, A.Kinoshita, Y.Aoyagi
    • 雑誌名

      Oyobuturi Vol.71, No.2

      ページ: 204-208

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2003 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Growth of (In)AlGaN Compound Semiconductors and their Application to 300-nm-Band High-Intensity UV-LEDs2002

    • 著者名/発表者名
      H.Hirayama, Y.Aoyagi
    • 雑誌名

      The Review of Laser Engineering Vol.30, No.6

      ページ: 308-314

    • NAID

      130004465336

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2003 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] 330nm-Band High-Efficiency UV LEDs using Quaternary InAlGaN2002

    • 著者名/発表者名
      H.Hirayama, Y.Aoyagi
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Crystal Growth vol.29, no.3

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2003 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] 340nm-band bright UV-LEDs using Quaternary InAlGaN active region2001

    • 著者名/発表者名
      H.Hirayama
    • 雑誌名

      Institute of Physics (IOP) Conference Series 170

      ページ: 195-200

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2003 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] InAlGaN4元混晶を用いた330-350nm帯高効率紫外LED2001

    • 著者名/発表者名
      平山秀樹
    • 雑誌名

      電子情報通信学会技術報告 ED2001-134

      ページ: 49-54

    • NAID

      110003199708

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2003 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] (In)AlGaN窒化物混晶の結晶成長と300nm帯紫外高輝度LEDへの応用2001

    • 著者名/発表者名
      平山秀樹
    • 雑誌名

      レーザー研究 30

      ページ: 308-314

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2003 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] 短波長光デバイス「紫外LED」2001

    • 著者名/発表者名
      平山秀樹
    • 雑誌名

      光産業技術振興協会 13年度版

      ページ: 19-23

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2003 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] InAlGaN4元混晶を用いた300nm帯高輝度紫外LED2001

    • 著者名/発表者名
      平山秀樹
    • 雑誌名

      月刊ディスプレー(テクノタイムズ社) 13年8月号

      ページ: 7-12

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2003 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] 340nm-band bright UV-LEDs using Quaternary InAlGaN active region2001

    • 著者名/発表者名
      H.Hirayama, A.Kinoshita, M.Ainoya, T.Yamanaka, A.Hirata, Y.Aoyagi
    • 雑誌名

      Institute of Physics (IOP) Conference Series No.170: Chapter 2

      ページ: 195-200

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2003 研究成果報告書概要
  • [図書] LED最新技術動向〜性能向上・課題解決集〜、第5章、紫外LEDの短波長化と高効率化の課題と展望2005

    • 著者名/発表者名
      H.Hirayama
    • 出版者
      情報機構
    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2003 研究成果報告書概要
  • [図書] Opt0electronic Devices : III-Nitrides, Chapter 11, Quaternary InAlGaN-based UV LEDs2004

    • 著者名/発表者名
      H.Hirayama
    • 出版者
      Elsevier
    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2003 研究成果報告書概要
  • [産業財産権] 半導体発光素子2004

    • 発明者名
      平山秀樹
    • 権利者名
      独立行政法人理化学研究所
    • 産業財産権番号
      2004-007325
    • 出願年月日
      2004-01-14
    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2003 研究成果報告書概要
  • [産業財産権] 発光素子及びその製造方法2003

    • 発明者名
      平山秀樹
    • 権利者名
      独立行政法人理化学研究所
    • 産業財産権番号
      2003-296474
    • 出願年月日
      2003-08-20
    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2003 研究成果報告書概要
  • [産業財産権] p型半導体を用いた紫発光素子2003

    • 発明者名
      平山秀樹
    • 権利者名
      独立行政法人理化学研究所
    • 産業財産権番号
      2003-017397
    • 出願年月日
      2003-01-27
    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2003 研究成果報告書概要
  • [産業財産権] 半導体の結晶成長方法、半導の不純物ドーピング方法及その装置並びに半導体材料2003

    • 発明者名
      岩井荘八
    • 権利者名
      独立行政法人理化学研究所
    • 産業財産権番号
      2003-016940
    • 出願年月日
      2003-01-27
    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2003 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] 平山秀樹, 秋田勝史他: "InAlGaN4元混晶を用いた紫外LEDの短波長化と高効率化"電子情報通信学会技報. LQE2003-52. 13-18 (2003)

    • 関連する報告書
      2003 実績報告書
  • [文献書誌] 平山秀樹, 青柳克信他: "InAlGaN4元混晶を用いた紫外LEDの短波長化と高効率化"レーザー研究. Vol.31, No.6(in press). (2004)

    • 関連する報告書
      2003 実績報告書
  • [文献書誌] H.Hirayama: "Quaternary InAlGaN based UV-LED with high-Al-content p-type AlGaN"SPIE Conference Proceedings. (in press). (2004)

    • 関連する報告書
      2003 実績報告書
  • [文献書誌] T.Nishimatsu, H.Katayama, Yoshida, N.Orita: "Ab initio study of donor-hydrogen complexes for low resistive n-type diamond semiconductor"Japan Journal of Applied Physics. 41. 1952-1962 (2002)

    • 関連する報告書
      2002 実績報告書
  • [文献書誌] 吉田 博, 佐藤和則: "第一原理計算による物質設計"化学工業. 53. 47-53 (2002)

    • 関連する報告書
      2002 実績報告書
  • [文献書誌] K.Sato, H.Katayama, Yoshida: "First principles materials design for semiconductor spintronics"Semiconductor science and Technology. 17. 367-376 (2002)

    • 関連する報告書
      2002 実績報告書

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公開日: 2001-04-01   更新日: 2016-04-21  

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