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水素誘起ナノクラスターを触媒としたカーボンナノチューブ形成メカニズムの研究

研究課題

研究課題/領域番号 13355003
研究種目

基盤研究(A)

配分区分補助金
応募区分展開研究
研究分野 表面界面物性
研究機関大阪大学

研究代表者

尾浦 憲治郎  大阪大学, 大学院・工学研究科, 教授 (60029288)

研究分担者 本多 信一  大阪大学, 大学院・工学研究科, 助手 (90324821)
片山 光浩  大阪大学, 大学院・工学研究科, 助教授 (70185817)
大門 秀朗 (大西 秀朗)  大阪大学, 超高圧電子顕微鏡センター, 助手 (20324816)
平尾 孝  大阪大学, 工学研究科, 教授 (50304019)
綿森 道夫  高知工科大学, 工学部, 助教授 (80222412)
研究期間 (年度) 2001 – 2002
研究課題ステータス 完了 (2002年度)
配分額 *注記
53,040千円 (直接経費: 40,800千円、間接経費: 12,240千円)
2002年度: 9,230千円 (直接経費: 7,100千円、間接経費: 2,130千円)
2001年度: 43,810千円 (直接経費: 33,700千円、間接経費: 10,110千円)
キーワードカーボンナノチューブ / 自己組織化触媒金属微粒子 / 化学気相成長法 / 成長機構 / 形態制御 / 配向性 / 結晶性 / 電界電子放出特性 / ランダムCNT / 垂直配向CNT / 自己組織化触媒重属微粒子 / 内部構造 / 電解電子放出特性 / 表面欠陥 / 自己組織化 / 触媒金属微粒子 / プラズマ / 成長温度
研究概要

カーボンナノチューブ(CNT)の作製に関しては、化学気相成長法(CVD)をはじめとして、様々な手法(レーザーアブレーション、アーク法等)が報告されている。これまでに触媒微粒子と加熱による微粒子の融解がCNTの成長に重要であると提案されている。しかし、触媒微粒子制御が十分なされていないために、CNTの成長メカニズムは、良く分かっていないのが現状である。そこで、本研究では、水素誘起金属クラスターを触媒金属とし、制御された触媒金属(結晶性、形状、方位等が制御されている)を用いてCNTを成長させ、CNTの形成メカニズムを解明することを目的とした。特筆すべき結果として、以下のような新しい事実が得られた。
(1)自己組織化触媒金属微粒子をCNTの成長核としてCVD法を用いてCNTを作製した。成長条件を最適化することにより、基板に対して水平方向と、垂直方向に制御してCNTを成長させることに成功した。さらに、CVD法にプラズマをアシストすることにより、垂直方向への配向性を大きく改善できることを見出した。
(2)自己組織化触媒金属微粒子を用いて作製されたランダム配向CNTと垂直配向CNTの形態を調べた。透過電子型電子顕微鏡(TEM)を用いた構造解析により、自己組織化金属微粒子の形状がCNTの配向性・内部構造に大きく影響している成長機構が提案された。また、ランダム配向CNTが垂直配向CNTよりも優れた電界電子放出(FE)特性を示した。FE特性を解析した結果、CNT表面の結晶性がFE特性に大きく影響していることが示唆された。

報告書

(3件)
  • 2002 実績報告書   研究成果報告書概要
  • 2001 実績報告書
  • 研究成果

    (26件)

すべて その他

すべて 文献書誌 (26件)

  • [文献書誌] M.Katayama 他6名: "Enhancement of Electron Field Emission from Amorphous Carbon Films by Plasma Treatment"J. Vac. Sci. Technol.. B19. 1953-1957 (2001)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2002 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] K.Oura 他8名: "Formation of Vertically Aligned Carbon Nanotubes by Dual-RF-Plasma Chemical Vapor Deposition"Jpn. J. Appl. Phys.. 40. L631-L634 (2001)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2002 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] K.Oura 他6名: "Formation of Graphite Layers during Carbon Nanotubes Growth"Jpn. J. Appl. Phys.. 42. 579-581 (2003)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2002 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] K.Oura 他8名: "Method for Aligned Bamboolike Carbon Nanotube Growth using RF Magnetron Sputtering"Jpn. J. Appl. Phys.. 42. 713-715 (2003)

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      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2002 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] M.Katayama 他7名: "Low Temperature Synthesis of Aligned Carbon Nanotubes by Inductively Coupled Plasma Chemical Vapor Deposition using Pure Methane"Jpn. J. Appl. Phys.. 42. L441-L443 (2003)

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      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2002 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] K.Oura 他7名: "Influence of Plasma Condition on the Morphology of Vertically Aligned Carbon Nanotubes Films grown by RF Plasma Chemical Vapor Deposition"Surf. Rev. Lett.. 10(in press). (2003)

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      「研究成果報告書概要(和文)」より
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      2002 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] K.-Y.Lee, J.-T.Ryu, K.Fujimoto, S.Honda, M.Katayama, T.Hirao and K.Oura: "Enhancement of Electron Field Emission from Amorphous Carbon Films by Plasma Treatments"J. Vac. Sci. Technol.. B19. 1953-1957 (2001)

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      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2002 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] T.Hirao, K.Ito, H.Furuta, Y.K.Yap, T.Ikuno, S.Honda, Y.Mori, T.Sasaki and K.Oura: "Formation of Vertically Aligned Carbon Nanotubes by Dual-RF-Plasma Chemical Vapor Deposition"Jpn. J. Appl. Phys.. 40. L631-L634 (2001)

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      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2002 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] Y.-G.Baek, T.Ikuno, J.-T.Ryu, S.Honda, M.Katayama, K.Oura and T.Hirao: "Field Electron Emission from Amorphous Carbon Films Grown in Pure Methane Plasma"Appl. Surf. Sci.. 185. 243-247 (2002)

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      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2002 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] T.Ikuno, T.Yamamoto, M.Kamizono, S.Takahashi, H.Furuta, S.Honda, S.Ohkura, M.Katayama, T.Hirao and K.Oura: "Large Field Emission from Carbon Nanotubes Grown on Patterned Catalyst Thin Film by Thermal Chemical Vapor Deposition"Physica. B323. 171-173 (2002)

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      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2002 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] T.Ikuno, H.Furuta, T.Yamamoto, S.Takahashi, M.Kamizono, S.Honda, M.Katayama, T.Hirao and K.Oura: "Structural Characterization of Randomly and Vertically Oriented Carbon Nanotube Films Grown by Chemical Vapor Deposition"Surf. Interface Anal.. 35. 15-18 (2003)

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      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2002 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] Y.-G.Baek, S.Honda, T.Ikuno, S.Ohkura, M.Katayama, T.Hirao and K.Oura: "Formation of Graphite Layers during Carbon Nanotubes Growth"Jpn. J. Appl. Phys.. 42. 579-581 (2003)

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      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2002 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] K.-Y.Lee, S.Honda, T.Ikuno, K.Fujimoto, K.Tsuji, S.Ohkura, M.Katayama, K.Oura and T.Hirao: "Method for Aligned Bamboolike Carbon Nanotube Growth using RF Magnetron Sputtering"Jpn. J. Appl. Phys.. 42. 713-715 (2003)

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      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2002 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] S.Honda, M.Katayama, K.-Y.Lee, T.Ikuno, S.Ohkura, K.Oura, H.Furuta and T.Hirao: "Low Temperature Synthesis of Aligned Carbon Nanotubes by Inductively Coupled Plasma Chemical Vapor Deposition using Pure Methane"Jpn. J. Appl. Phys.. 42. L441-L443 (2003)

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      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2002 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] T.Ikuno, S.Takahashi, K.Kamada, S.Ohkura, S.Honda, M.Katayama, T.Hirao and K.Oura: "Influence of Plasma Condition on the Morphology of Vertically Aligned Carbon Nanotube Films grown by RF Plasma Chemical Vapor Deposition"Surf. Rev. Lett.. 10, No.4 (in press). (2003)

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      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2002 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] 尾浦憲治郎 他6名: "高真空レーザーアブレーション法による炭素粒子を核としたカーボンナノチューブの作成と評価"真空. 45. 609-612 (2002)

    • 関連する報告書
      2002 実績報告書
  • [文献書誌] K.Oura 他5名: "Ni-based Catalytic Growth of Vertically Aligned Multi-Walled Carbon Nanotubes by Dual-RF Plasma CVD Method and their Field Emission Properties"Physica B. 323. 299-302 (2002)

    • 関連する報告書
      2002 実績報告書
  • [文献書誌] M.Katayama 他9名: "Large Field Emission from Carbon Nanotubes Grown on Patterned Catalyst Thin Film by Thermal Chemical Vapor Deposition"Physica B. 323. 171-173 (2002)

    • 関連する報告書
      2002 実績報告書
  • [文献書誌] M.Katayama 他8名: "Structural Characterization of Randomly and Vertically Oriented Carbon Nanotube Films Grown by Chemical Vapor Deposition"Surf. Interface Anal.. 35. 15-18 (2003)

    • 関連する報告書
      2002 実績報告書
  • [文献書誌] K.Oura 他7名: "Formation of Carbon Nanofiber Films by RF Magnetron Sputtering Method"Physica B. 323. 347-349 (2002)

    • 関連する報告書
      2002 実績報告書
  • [文献書誌] M.Katayama 他8名: "Method for Aligned Bamboo-like Carbon Nanotube Growth using RF Magnetron Sputtering"Jpn. J. Appl. Phys.. 42. 713-715 (2003)

    • 関連する報告書
      2002 実績報告書
  • [文献書誌] K.Oura 他6名: "Enhancement of Electron Field From Amorphous Cordon Films by Plasae Treatments"J. Vac. Sci. Tecnol. B. 19. 1953-1957 (2001)

    • 関連する報告書
      2001 実績報告書
  • [文献書誌] M.Katayama 他6名: "Field Electron Emlssion Amorphous Carbon Films Grown in Pure Metane Plasma"Appl. Snrf. Sci.. 185. 243-247 (2002)

    • 関連する報告書
      2001 実績報告書
  • [文献書誌] K.Oura 他8名: "Formation of Vertically Aligned Carbon Nanotnbes by Dual-RF-Plasma Charical Vapor Deposition"Jpn. J. Appl. Phys.. 40. 631-634 (2001)

    • 関連する報告書
      2001 実績報告書
  • [文献書誌] K.Oura 他8名: "Field Emission and Sernctwe of Aligned Carbon Nanofibers-Deposied by ECR-CVD Plasma Method"Diamond Relat. Mater.. 10. 631-634 (2001)

    • 関連する報告書
      2001 実績報告書
  • [文献書誌] M.Katayama 他7名: "Formation of a Si(100)c(8×2) Surface Phase Vsing H-Indunced Self-Organiation and H Extraction"Phys. Rev. B. 64. 1534061-1534064 (2001)

    • 関連する報告書
      2001 実績報告書

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公開日: 2001-04-01   更新日: 2016-04-21  

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