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表面金属シリサイドの化学結合と構造解析

研究課題

研究課題/領域番号 13440097
研究種目

基盤研究(B)

配分区分補助金
応募区分一般
研究分野 固体物性Ⅰ(光物性・半導体・誘電体)
研究機関九州大学

研究代表者

栃原 浩  九州大学, 総合理工学研究院, 教授 (80080472)

研究分担者 高橋 敏男  東京大学, 物性研究所, 助教授 (20107395)
三好 永作  九州大学, 総合理工学研究院, 教授 (70148914)
水野 清義  九州大学, 総合理工学研究院, 助教授 (60229705)
研究期間 (年度) 2001 – 2003
研究課題ステータス 完了 (2003年度)
配分額 *注記
14,500千円 (直接経費: 14,500千円)
2003年度: 1,400千円 (直接経費: 1,400千円)
2002年度: 3,000千円 (直接経費: 3,000千円)
2001年度: 10,100千円 (直接経費: 10,100千円)
キーワード表面構造 / 表面金属シリサイド / 低速電子回折法 / 表面X線回折法 / 分子軌道計算 / 化学結合 / 走査トンネル顕微鏡 / 相転移
研究概要

本研究は、研究課題名に示されているように、シリコン表面上に金属原子をつけて加熱したときに得られる表面シリサイドの構造と化学結合について調べた。表面シリサイドは2次元周期構造を示すことが多いので、本研究では、低速電子回折(LEED)とX線回折(SXRD)により研究した。また、表面シリサイドの形成過程については走査トンネル顕微鏡(STM)により調べた。主な成果は以下の通りである。
(1)Si(111)-(4x1)-Inの構造決定:低温でパイエルス転移を起こすと提案されている室温での構造をLEEDにより決定できた。低温相の構造は決定できなかったが、周期構造は(8x1)p1g1であることを示すことができた。
(2)Si(111)-(1x1)-Tlの構造決定:Tlは他の13グループ金属とは異なり、3価の他に、1価の化学結合を示すことが知られている。Si(111)表面に形成した(1x1)-Tl構造をLEEDにより決定できた。この構造における化学結合の本質については、現在、分子軌道理論計算により考察中である。
(3)Si(111)-(3x2)-Baの形成初期過程:Ba原子の吸着と加熱により、ステップの上端を壊してSiとBa原子からなるプロペラ型クラスターを形成しながら、(3x2)-Ba構造が形成することをSTMにより見いだした。
(4)Si(111)-(【square root】3x【square root】3)-Agの相転移:この表面構造について低温での相転移が提案されていたが、相転移は秩序無秩序型ではない構造相転移であることをSXRDで示すことができた。また、転移温度、臨界指数を求めることができた。

報告書

(4件)
  • 2003 実績報告書   研究成果報告書概要
  • 2002 実績報告書
  • 2001 実績報告書
  • 研究成果

    (56件)

すべて その他

すべて 文献書誌 (56件)

  • [文献書誌] W.Shimada, T.Kato, H.Tochihara: "Stabilization mechanism of Si(111)7x7 domain growth : Important role of shared corner-holes"Surf.Sci. 491. 663-669 (2001)

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  • [文献書誌] W.Shimada, H.Tochihara: "In situ observation of imitial homoepitaxial growth on the Si(111)7x7 surface using scanning tunneling microscopy"J.Cryst.Grow. 237-239. 35-38 (2002)

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  • [文献書誌] S.S.Lee, H.J.Song, J.W.Chung, K.Kong, D.Y.Ahn, H.Li, B.D.Yu, H.Tochihara: "Structural and electronic identification of thallium moverlayer on the Si(111)7x7 surface"Phys.Rev.B. 66. 233312-1-233312-4 (2002)

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  • [文献書誌] H.Tochihara, W.Shimada: "The mechanism of the formation of the Si(111) 7x7 reconstruction"Trends in Vacuum Science and Technology. 5. 1-29 (2002)

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  • [文献書誌] W.Shimada, H.Tochihara: "Formation mechanism of the Si(111)7x7 reconstruction studied by scanning tunneling microscopy : Zipper-like restructuring of isolated single faulted-halves"Surf.Sci. 526,No.3. 219-229 (2003)

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  • [文献書誌] S.Mizuno, Y.O.Mizuno, H.Tochihara: "Structural determination of indium-induced Si(111) reconstructed surfaces by LEED analysis : (root3 x root3) R30 and (4x1)"Phys.Rev.B. 67. 195410,1-195410,7 (2003)

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  • [文献書誌] T.Takahashi, K.Sumitani, S.Kusano: "Holographic imaging of surface atoms using surface X-ray diffraction"Surf.Sci. 493. 36-41 (2001)

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  • [文献書誌] H.Tajiri, K.Sumitani, W.Yashiro, S.Nakatani, T.Takahashi, K.Akimoto, H.Sugiyama, X.Zhang, H.Kawata: "Structural study of Si(111) 【square root】21x【square root】21-(Ag+Au) surface by X-ray diffraction"Surf.Sci. 493. 214-222 (2001)

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  • [文献書誌] S.Horii, K.Akimoto, S.Ito, T.Emoto, A.Ichimiya, H.Tajiri, W.Yashiro, S.Nakatani, T.Takahashi, H.Sugiyama, X.Zhang, H.Kawata: "Interface structure of Ag/Si(111) revealed by X-ray diffraction"Surf.Sci. 493. 194-199 (2001)

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  • [文献書誌] S.Nakatani, Y.Kuwahara, H.Kuramochi, T.Takahashi, M.Aono: "Study of the Si(111)"5x5"-Cu Structure by X-Ray Diffraction and Scanning Tunneling Microscopy"J.Appl.Phys. 695-697 (2001)

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  • [文献書誌] W.Yashiro, K.Shimizu, K.Hirano, T.Takahashi: "Direct phase measurement of the x-ray specular reflection using modulation under the Bragg condition"Jpn.J.Appl.Phys. 41. 592-594 (2002)

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  • [文献書誌] K.Sumitani, T.Takahashi, S.Nakatani, A.Nojima, O.Sakata, Y.Yoda, S.Koh, T.Irisawa, Y.Shi: "Three-Dimensional Reconstruction of Atoms in Surface X-Ray Diffraction"Jpn.J.Appl.Phys. Vol.42. 189-191 (2003)

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  • [文献書誌] H.Hata, K.Akimoto, S.Horii, T.Emoto, A.Ichimiya, H.Tajiri, T.Takahashi: "Crystal orientation of silver films on silicon surface revealed by surface X-ray diffraction"Surf.Rev.Lett.. Vol.10. 431-434 (2003)

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  • [文献書誌] E.Miyoshi, T.Iura, Y.Sakai, H.Tochihara, S.Tanaka, H.Mori: "Molecular orbital study for Na, Mg, and Al adsorption on the Si(111) surface"J.Mol.Str.(THEOCHEM). Vol.630. 225-232 (2003)

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  • [文献書誌] T.Noda, S.Mizuno, C.W.Chung, H.Tochihara: "T4 site adsorption of Tl atoms in a Si(111)-(1x1)-Tl structure, determined by low-energy electron diffraction analysis"Jpn.J.Appl.Phys. Vol.42B. 319-321 (2003)

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  • [文献書誌] T.Takahashi, H.Tajiri, K.Sumitani, K.Akimoto, H.Sugiyama, X.Zhang, H.Kawata: "X-ray diffraction study of the phase transition of Si(111) 【square root】3x【square root】3-Ag surface"Surf.Rev.Lett. Vol.10(No.2&3). 519-524 (2003)

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  • [文献書誌] H.Tajiri, K.Sumitani, S.Nakatani, A.Nojima, T.Takahashi, K.Akimoto, H.Sugiyama, X.Zhang, H.Kawata: "X-ray diffraction study on the Si(111)【square root】3x【square root】3-Ag surface"Phys.Rev.. Vol.68. 035330-1-035330-5 (2003)

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  • [文献書誌] T.Aoyama, K.Akimoto, A.Ichimiya, Y.Hisadai, S.Mukainakano, T.Emoto, H.Tajiri, T.Takahashi, H.Sugiyama, X.Zhang, H.Kawata: "Structural study of SiC(0001)3x3 surface by surface X-ray diffraction"Appl.Surf.Sci. Vol.216. 356-360 (2003)

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  • [文献書誌] E.Miyoshi, H.Mori, S.Tanaka, Y.Sakai: "Theoretical study of interactions between the Si(111) surface and metal atoms"Surf.Sci. Vol.514. 383-388 (2002)

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  • [文献書誌] W.Shimada, T.Kato, H.Tochihara: "Stabilization mechanism of Si(111)7x7 domain growth : Important role of shared corner-holes"Surf.Sci.. 491. L663-L669 (2001)

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  • [文献書誌] W.Shimada, H.Tochihara: "In situ observation of imitial homoepitaxial growth on the Si(111)7x7 surface using scanning tunneling microscopy"J.Cryst.Grow.. 237-239. 35-38 (2002)

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  • [文献書誌] S.S.Lee, H.J.Song, J.W.Chung, K.Kong, D.Y.Ann, H.Li, B.D.Yu, H.Tochihara: "Structural and electronic identification of thallium moverlayer on the Si(111)7x7 surface"Phys.Rev.B. 66. 233312-1-233312-4 (2002)

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      2003 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] H.Tochihara, W.Shimada: "The mechanism of the formation of the Si(111) 7x7 reconstruction"Trends in Vacuum Science and Technology. 5. 1-29 (2002)

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      2003 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] W.Shimada, H.Tochihara: "Formation mechanism of the Si(111)7x7 reconstruction studied by scanning tunneling microscopy : Zipper-like restructuring of isolated single faulted-halves"Surf.Sci.. No.3. 219-229 (2003)

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  • [文献書誌] T.Noda, S.Mizuno, C.W.Chung, H.Tochihara: "T4 site adsorption of T1 atoms in a Si(111)-(1x1)-T1 structure, determined by low-energy electron diffraction analysis"Jpn.J.Appl.Phys.. 42, No.3B. L319-L321 (2003)

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  • [文献書誌] S.Mizuno, Y.O.Mizuno, H.Tochihara: "Structural determination of indium-induced Si(111) reconstructed surfaces by LEED analysis : (root3 x root3)R 30 and(4x1)"Phys.Rev.. B67. 195410, 1-195410, 7 (2003)

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  • [文献書誌] T.Takahashi, K.Sumitani, S.Kusano: "Holographic imaging of surface atoms using surface X-ray diffraction"Surf.Sci.. 493. 36-41 (2001)

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  • [文献書誌] H.Tajiri, K.Sumitani, W.Yashiro, S.Nakatani, T.Takahashi, K.Akimoto, H.Sugiyama, X.Zhang, H.Kawata: "Structural study of Si(111) √21x√21-(Ag+Au) surface by X-ray diffraction"Surf.Sci.. 493. 214-220 (2001)

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  • [文献書誌] S.Horii, K.Akimoto, S.Ito, T.Emoto, A.Ichimiya, H.Tajiri, W.Yashiro, B.S.Nakatani, T.Takahashi, H.Sugiyama, C.X.Zhang, H.Kawata: "Interface structure of Ag/Si(111) revealed by X-ray diffraction"Surf.Sci.. 493. 194-199 (2001)

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  • [文献書誌] S.Nakatani, Y.Kuwahara, H.Kuramochi, T.Takahashi, M.Aono: "Study of the Si(111)"5x5"-Cu Structure by X-Ray Diffraction and Scanning Tunneling Microscopy"J.Appl.Phys.. 40. L695-L697 (2001)

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  • [文献書誌] W.Yashiro, K.Shimizu, K.Hirano, T.Takahashi: "Direct phase measurement of the x-ray specular reflection using modulation under the Bragg condition"Jpn.J.Appl.Phys.. 41. L592-L594 (2002)

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      2003 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] K.Sumitani, T.Takahashi, S.Nakatani, A.Nojima, O.Sakata, Y.Yoda, S.Koh, B.T.Irisawa, Y.Shiraki: "Three-Dimensional Reconstruction of Atoms in Surface X-Ray Diffraction"Jpn.J.Appl.Phys.. Vol.42. L189-L191 (2003)

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  • [文献書誌] A.Hata, K.Akimoto, S.Horii, T.Emoto, B.A.Ichimiya, H.Tajiri, T.Takahashi: "Crystal orientation of silver films on silicon surface revealed by surface X-ray diffraction"Surf.Rev.Lett.. 10(No.2 & 3). 431-434 (2003)

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  • [文献書誌] T.Takahashi, H.Tajiri, K.Sumitani, K.Akimoto, H.Sugiyama, X.Zhang, H.Kawata: "X-ray diffraction study of the phase transition of Si(111)√3x√3-Ag surface"Surf.Rev.Lett.. 10(No.2 & 3). 519-524 (2003)

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  • [文献書誌] H.Tajiri, K.Sumitani, S.Nakatani, A.Nojima, Takahashi, K.Akimoto, H.Sugiyama, X.Zhang, H.Kawata: "X-ray diffraction study on the Si(111)) √3x√3-Agsurface"Phys.Rev.. B68. 035330(1)-035330(5) (2003)

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  • [文献書誌] Miyoshi, T.Iura, Y.Sakai, H.Tochihara, S.Tanaka, H.Mori: "Molecular orbital study for Na,Mg, and Al adsorpotion on the Si(111) surface"J.Mol.Str.(THEOCHEM). 630. 225-232 (2003)

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  • [文献書誌] S.Mizuno, M.Imaki, H.Tochihara: "An ordered mixed structure formed by restructuring type coadsorption of Na and K on Ag(001)"Surf. Rev. Lett. 8. 653-659 (2001)

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  • [文献書誌] E.Miyoshi, H.Mori, S.Tanaka, Y.Sakai: "Theoretical study of interactions between the Si(111) surface and metal atoms"Surface Science. (in press). (2002)

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      2001 実績報告書
  • [文献書誌] W.Shimada, H.Tochihara: "In situ observation of imitial homoepitaxial growth on the Si(111)7x7 surface using scanning tunneling microscopy"J. Cryst. Growth. (in press). (2002)

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公開日: 2001-04-01   更新日: 2020-05-15  

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