| 研究課題/領域番号 |
13450013
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| 研究種目 |
基盤研究(B)
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| 配分区分 | 補助金 |
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| 応募区分 | 一般 |
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| 研究分野 |
応用物性・結晶工学
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| 研究機関 | 大阪大学 |
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研究代表者 |
小林 猛 大阪大学, 大学院・基礎工学研究科, 教授 (80153617)
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| 研究分担者 |
藤井 龍彦 大阪大学, 大学院・基礎工学研究科, 講師 (40238530)
牧 哲朗 大阪大学, 大学院・基礎工学研究科, 助手 (80273605)
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| 研究期間 (年度) |
2001 – 2002
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| 研究課題ステータス |
完了 (2002年度)
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| 配分額 *注記 |
14,500千円 (直接経費: 14,500千円)
2002年度: 3,600千円 (直接経費: 3,600千円)
2001年度: 10,900千円 (直接経費: 10,900千円)
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| キーワード | PLD / GaN / アブレーション / InGaN / AlGaN / レーザーアブレーション / 薄膜 / エピタキシー / 半導体レーザー |
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| 研究概要 |
申請時の計画に挙げていたInGaNよりも今後更に需要が高まると予想される短波長発光の光デバイスへの応用を視野に入れて、材料をInGaNならびにAlGaNと拡大した研究を展開した。アブレーション粒子のエネルギー計測は本テーマの基本実験技術である。現有の超高速フレーミングストリークカメラを用いてGa, Al, In原子(またはイオン状態)の飛行エネルギー分布の3次元データを求めた。レーザーアブレーションではターゲットから噴出した粒子は相当な励起状態にあるために発光してプルームを形成している。プルームの運動状態を高速カメラにより観察してエネルギー分布を得ることができた。Ga原子がサーマルアブレーションにより約30eVのドリフトエネルギーをもつことが判明し、このエネルギーによる薄膜表面の衝突ダメージが発光特性の劣化を導いていることが明らかとなった。粒子斜め入射や背景窒素ガスの衝突散乱効果を利用して20eV以下に抑制することで高輝度GaN薄膜の成長に成果を収めた。
InGaNならびにAlGaNなど3元系の薄膜PLD成長に関してデュアルレーザービーム堆積を行い、Ga原子の表面再蒸発に関する基礎的な知見を多数得ることができた。またInGaNの代替になりうるZnドープGaNの成長と基礎特性について詳細な検討をおこなった。
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