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シリコン基板上に作製した超薄膜・希土類金属酸化物の誘電率制御指針の構築

研究課題

研究課題/領域番号 13450122
研究種目

基盤研究(B)

配分区分補助金
応募区分一般
研究分野 電子・電気材料工学
研究機関東京大学

研究代表者

鳥海 明  東京大学, 大学院・工学系研究科, 教授 (50323530)

研究分担者 弓野 健太郎  東京大学, 大学院・工学系研究科, 講師 (40251467)
研究期間 (年度) 2001 – 2003
研究課題ステータス 完了 (2001年度)
配分額 *注記
14,100千円 (直接経費: 14,100千円)
2001年度: 14,100千円 (直接経費: 14,100千円)
キーワードシリコン
研究概要

基盤研究(B)(2)のスタートにあたって、当該分野の最先端の現状を精査するためにVLSIシンポジウム(京都で開催)に参加した。ここでは、技術的な側面が多く議論されたが、基礎的側面の取り組みの重要性が再認識された。そこには、異種材料の界面の電子状態をどう取り扱うかなども含まれている。
その後すぐに、本研究分野をより広く包含した基盤研究(S)の採択が通知されたため、基盤研究(B)(2)に関しては打ち切った。

報告書

(1件)
  • 2001 実績報告書

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公開日: 2001-04-01   更新日: 2016-04-21  

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