| 研究課題/領域番号 |
13555010
|
|---|
| 研究種目 |
基盤研究(B)
|
| 配分区分 | 補助金 |
|---|
| 応募区分 | 展開研究 |
|---|
| 研究分野 |
応用光学・量子光工学
|
|---|
| 研究機関 | 東京大学 |
|---|
研究代表者 |
渡部 俊太郎 東京大学, 物性研究所, 教授 (50143540)
|
|---|
| 研究分担者 |
菅沼 崇 技術組合先端電子技術開発機構, 研究員
関川 太郎 東京大学, 物性研究所, 助手 (90282607)
|
|---|
| 研究期間 (年度) |
2001 – 2002
|
| 研究課題ステータス |
完了 (2002年度)
|
| 配分額 *注記 |
13,500千円 (直接経費: 13,500千円)
2002年度: 4,300千円 (直接経費: 4,300千円)
2001年度: 9,200千円 (直接経費: 9,200千円)
|
|---|
| キーワード | コヒーレント光源 / 狭帯域 / 真空紫外 / 2光子共鳴4光波混合 / 非線形結晶 / KBBF / F_2レーザー / リソグラフィー / チタンサファイアレーザー / 157nm光源 |
|---|
| 研究概要 |
本年度実施計画の下記の3項目について以下の成果が得られている。
1.2光子共鳴4光波混合による157.6nm光の発生
768nmと681nmの単一モードチタンサファイアレーザを開発した。768nmの3倍波(256nm)をXe 6p[5/2,2]に2光子共鳴させ、681nnmと混合することにより、157.6nmを発生した。得られた平均出力は0.6mW,スペクトル幅0.008pmで目標を達成した。〔論文1,2〕この光源はギガフォトン株式会社でF_2レーザーリソグラフィーに使用する高分解能分光器の分解能装置関数の決定に用いられた。
2.KBBFを用いた2倍波によるVUV光発生
中国科学アカデミーのChen教授より提供されたKBBF結晶の両側に2つのプリズムを光学接着して使用した。上記チタンサファイアレーザーの波長を680nmに設定し、その4倍波により170nmを発生した。これは2倍波発生で得られた最短波長である。また市販の準CW光源(355nm)の2倍波により、177nmを発生させ、超高分解能光電子分光に使用している。〔論文3,4〕
3.KBBFを用いた5倍波による157.6nm光発生
上記チタンサファイアレーザーの波長を780nmに設定し、その5倍波により156nmを発生した。この波長は非線形結晶で得られた世界最短波長である。157.6nmではμWレベルの出力が得られた。
|
