| 配分額 *注記 |
13,200千円 (直接経費: 13,200千円)
2003年度: 1,600千円 (直接経費: 1,600千円)
2002年度: 1,800千円 (直接経費: 1,800千円)
2001年度: 9,800千円 (直接経費: 9,800千円)
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| 研究概要 |
シングルモード光ファイバから発生する回折球面波の波面を計測基準面として用いる位相シフト光干渉計測装置を開発した.本装置は,1つ目の光ファイバから発生した回折球面波を凹面鏡に照射し,凹面鏡の表面形状の影響を受けてひずんだ反射波面の絶対形状を,2つ目の光ファイバからの回折球面波を基準として光干渉計測により計測する.光ファイバから発生した回折球面波の波面については,その真球度が10^<-5〜-6>λであることを理論計算により確認しているため,原理的にはサブnmオーダーの形状計測が可能である.開発にあたっては,装置全体の耐振動特性が計測の精度,再現性を決定する最重要ファクターであったが,位相シフトを光源側で実施するよう工夫し,空気バネ除振台を用いたことで,振動の影響を抑制することができ,直径200mm,曲率半径1500mmの凹面鏡の形状計測を実施した.光学配置から生じる計測誤差の影響などを考慮するデータ処理プログラムの開発も行なったことから,この凹面鏡の計測再現性として最終的にPV値で+/-18nmを達成した.
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