| 研究課題/領域番号 |
13555036
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| 研究種目 |
基盤研究(B)
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| 配分区分 | 補助金 |
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| 応募区分 | 展開研究 |
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| 研究分野 |
機械工作・生産工学
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| 研究機関 | 名古屋大学 (2002)
神戸大学 (2001) |
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研究代表者 |
社本 英二 名古屋大学, 工学研究科, 教授 (20216146)
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| 研究分担者 |
樋野 励 神戸大学, 工学部, 助手 (80273762)
中本 剛 名古屋大学, 工学研究科, 助教授 (30198262)
森脇 俊道 神戸大学, 工学部, 教授 (00031104)
山内 朗 東レエンジニアリング株式会社, エレクトロニクス事業部, 主任技師
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| 研究期間 (年度) |
2001 – 2002
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| 研究課題ステータス |
完了 (2002年度)
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| 配分額 *注記 |
4,400千円 (直接経費: 4,400千円)
2002年度: 2,100千円 (直接経費: 2,100千円)
2001年度: 2,300千円 (直接経費: 2,300千円)
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| キーワード | 超精密アライメント装置 / 半導体製造装置 / 圧電素子 / XYθテーブル / 位置決め装置 / 真空 |
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| 研究概要 |
本研究では、次世代半導体製造に必要となる基盤技術として、超高真空中での超精密アライメントに有利な小型超精密XYθテーブルを開発することを目的とし、主として以下の試作開発研究を行った。
(1)Walking Drive XYθテーブルの試作開発
小型のXYθアライメントテーブルを試作開発した。なお、予備実験の結果、接着剤がオープンループ特性を悪化することを確認しているため、圧電素子の接合部に接着剤を使用しないように設計を行った。
(2)オープンループ駆動ソフトウェアの開発
試作した小型テーブルをオープンループで駆動するソフトウェアを開発した。また、非接触式微小変位計を利用し、開発したテーブルとソフトウェアを使用して実際に各駆動部の動作実験を行って、基礎的な運動特性について確認を行った。
(3)線形補正・座標変換マトリクスによるオープンループ駆動特性の改善
オープンループでの駆動実験を行った。静電容量型非接触微小変位計を用いてオープンループ駆動特性を詳細に測定し、その運動誤差を無くすように、線形補正マトリクスを同定し、オープンループでの駆動特性を改善した。
(4)試作開発したシステムの総合的な特性評価と実用化への検討
新しい装置、駆動ソフトウェア、制御システムなど個別に開発した部分について全機能を統合した場合の特性を総合的に検討、評価した。その結果、測定に使用した画像処理システムの分解能である50nm以下の位置決め分解能を実現し得ること等が分かった。
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