| 配分額 *注記 |
13,600千円 (直接経費: 13,600千円)
2003年度: 3,000千円 (直接経費: 3,000千円)
2002年度: 3,900千円 (直接経費: 3,900千円)
2001年度: 6,700千円 (直接経費: 6,700千円)
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| 研究概要 |
(1)3自由度アクティブ除振装置の試作……試作した装置は,除振テーブル,中間台,中間台を支持するばね,ベースから構成し,中間台には除振テーブルを磁気浮上支持するための電磁石及び変位センサを取付けた.除振テーブルの電磁石の吸引力が作用する箇所は,強磁性体にゼロパワー浮上用の永久磁石を組込んだ構造とした.
(2)除振性能評価……ゼロパワー制御系を実現し,地動外乱に対する振動絶縁特性や,直動外乱に対する制振性能を評価した.また,ダンパの減衰係数などの大きさが除振性能に対する影響を評価した.
(3)6自由度除振実験装置の試作……除振テーブルの持つ6自由度の運動をすべて提案する方式で除振する装置の設計・試作を行った.水平方向には重力が作用しないので,1自由度に対して一対の電磁石がお互いに引き合うように動作する差動構造とする必要がある.一方で,除振テーブルの重量を支持する必要がないので,鉛直方向のものより磁石を小型化することができる.これらのことを考慮して,除振装置の設計を行った.
(4)除振制御系の設計と性能評価……ゼロパワー制御系を実装し,それぞれの自由度についての除振性能を実験的に調べた.
(5)ユニット形除振装置の設計・試作……支持機構部をユニット化し,従来の除振装置における空気ばねのように,一つの構成部品として扱うことができる除振ユニットの設計・試作を行った.
(6)ユニット形除振装置の性能評価……試作した除振ユニットを複数個組み合わせることによって,多自由度のアクティブ除振制御を実現し,その性能を評価した.
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