| 研究課題/領域番号 |
13650012
|
|---|
| 研究種目 |
基盤研究(C)
|
| 配分区分 | 補助金 |
|---|
| 応募区分 | 一般 |
|---|
| 研究分野 |
応用物性・結晶工学
|
|---|
| 研究機関 | 神戸大学 |
|---|
研究代表者 |
藤居 義和 神戸大学, 工学部, 助教授 (80238534)
|
|---|
| 研究期間 (年度) |
2001 – 2002
|
| 研究課題ステータス |
完了 (2002年度)
|
| 配分額 *注記 |
3,300千円 (直接経費: 3,300千円)
2002年度: 500千円 (直接経費: 500千円)
2001年度: 2,800千円 (直接経費: 2,800千円)
|
|---|
| キーワード | 微小入射X線散乱 / 結晶成長 / 表面ステップ / 超高真空 / 表面粗さ / 実時間測定 / 表面散乱型X線顕微鏡 / 表面元素マッピング |
|---|
| 研究概要 |
(1)多結晶表面に微小角入射し回折したX線強度の入射角依存を調べ、その強度解析を行うことによって表面から深さ方向の結晶構造の分布を求める新しい解析法を見出した。ある深さの結晶に照射されるX線強度が入射角によって異なることを利用して回折X線強度の入射角依存から回折を起こした結晶の表面からの深さ方向分布を求めた。
(2)PbSe(111)結晶成長表面からの微小角入射X線散乱強度の表面の二次元核成長に伴う強度振動の解析を、運動学的散乱理論と動力学的散乱理論のそれぞれに基づいてさらに進め、また、微小角入射X線の散乱X線二次元強度分布測定の実験結果を解析し、「X線同時検出システム」に必要な仕様を策定、X線散乱光による材料表面を観察できる新しいX線顕微鏡としても利用できる形に設計製作した。
(3)この装置において、まずCCDの複数のセルでX線を同時検出する実験を行い、得られたX線2次元強度分布を差分演算処理することによってコリメータとCCDによる構成セルの大きさよりも高い分解能で試料表面の2次元情報を得ることが出来ることを見出した。次にこの装置を使ってCu、Fe、Tiの試料からの蛍光X線を観測する実験を行い、CCDに入射するX線のフォトン1個分の計測を行い、今回使用した簡易な装置でも十分X線のエネルギーを分解できることが分かった。
(4)また、この装置を使って、超高真空中の結晶成長表面にX線を微小角で照射し、小角散乱したX線と同時に、大角散乱したX線と非弾性散乱したX線のそれぞれの二次元角度分布を測定する最適な条件を探るための実験を行っている。これまでの研究から、結晶表面に向かい合った位置に配置するX線二次元検出器を真空槽内に配置できれば、この検出器により同時測定することにより新しい解析情報が得られることが分かり、その実験手法の準備を進めている。
|
