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動的スケーリング理論を用いたAFMによる電気めっき薄膜の成長機構に関する研究

研究課題

研究課題/領域番号 13650029
研究種目

基盤研究(C)

配分区分補助金
応募区分一般
研究分野 表面界面物性
研究機関琉球大学

研究代表者

斉藤 正敏  琉球大学, 工学部, 教授 (00284951)

研究分担者 押川 渡  琉球大学, 工学部, 助手 (80224228)
研究期間 (年度) 2001 – 2002
研究課題ステータス 完了 (2002年度)
配分額 *注記
2,700千円 (直接経費: 2,700千円)
2002年度: 1,100千円 (直接経費: 1,100千円)
2001年度: 1,600千円 (直接経費: 1,600千円)
キーワードスケーリング関数 / 電析 / パルス電流 / 3次元成長 / 2次元成長 / ユニバーサリティ / スケーリング指数 / 優先成長方位 / 動的スケーリング / ACインピーダンススペクトロスコピー / 電荷移動反応 / 表面成長 / 確率論的微分方程式 / ニッケル
研究概要

(1)3次元的成長
電析したニッケル薄膜の成長が3次元的成長をする場合、表面粗さは、当初予想していた標準スケーリング関数ではなく、anomalousスケーリング関数
【numerical formula】
に従う。ここでLは、系の大きさ、lは、Lから切り取った窓の大きさ、β*=(ζ-ζ_<loc>)/zである。これは、これまでにない実験結果であり、スケーリングは、ζ_<loc>とζによって決定され、ζは、実験条件に依存し、ζ_<loc>は、系の詳細に依らない指数を意味している。
実験結果は、(a)直流電流のとき、local roughness exponent ζ_<loc>=1、global scalingexponent ζ=2.8、dynamic exponent z=4.1、優先成長方位 (111)、パルス電流のときζ_<loc>=1、ζ=2.1、z=1.0、優先成長方位 (111)、(220)、(311)であった。3次元的成長は、super-rougheningと呼ばれる他の薄膜成長とは異なる成長機構であり、電流が定常とパルスでは、X線回折から成長優先方位の相違があるが、成長機構に変化はないと結論付けられる。
(2)2次元的成長
電析したニッケル薄膜が2次元的成長(エピタキシャル成長)をする場合、表面粗さは、当初予想していた標準スケーリング関数に従い、AFM像の解析結果からα=0.25,β=1.0であり、Edwards-Wilkinsonユニバーサリティクラス(MBE成長に相当)に属することが判明した。従って電気めっきの2次元成長は、線形な表面拡散が支配し、その駆動力は、表面の化学ポテンシャル勾配であり、エピタキシャル成長に必要な十分な拡散長を有する。実際、定常電流下、成長速度0.2monolayer/secの成長速度、(100)ニッケル単結晶上への2次元的成長成長が成長時間10000秒までの間で確認された。

報告書

(3件)
  • 2002 実績報告書   研究成果報告書概要
  • 2001 実績報告書
  • 研究成果

    (18件)

すべて その他

すべて 文献書誌 (18件)

  • [文献書誌] M.Saitou, W.Oshikawa, M.Mori, A.Makabe: "Surface Roughening in the Growth of Direct Current or Pulse Current Electrodeposited Nickel Thin Films"J.Electrochem.Soc.. 148. C780-C783 (2001)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2002 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] M.Saitou, W.Oshikawa, A.Makabe: "Characterization of electrodeposited nickel film surfaces using atomic force microscopy"J.Phys.Chem.Solids. 63. 1685-1689 (2002)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2002 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] M.Saitou: "Anomalous scaling of nickel surfaces in pulse-current electrodeposition growth"Phys.Rev.B. 66. 73416-73419 (2002)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2002 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] M.Saitou, K.Hamaguchi, K.Inoue: "A study of charge-transfer reactions on (110) single-crystal nickel surface"J.Phys.Chem.B. 106. 12253-12257 (2002)

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      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2002 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] M.Saitou, K.Hamaguchi, W.Oshikawa: "Surface growth of Ni thin films electrodeposited on (100) Ni surfaces"J.Electrochem.Soc.. 150. C99-C103 (2003)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2002 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] M. Saitou, W. Oshikawa, M. Mori, and A. Makabe: "Surface Roughness in the Growth of Direct Current or Pulse Current Electrodeposited Nickel Thin Films"J. Electrochem. Soc.. 148. C780-C783 (2001)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2002 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] M. Saitou, W. Oshikawa and A. Makabe: "Characterization of electrodeposited nickel film surfaces using atomic force microscopy"J. Phys. Chem. Solids.. 63. 1685-1689 (2002)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2002 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] M. Saitou: "Anomalous scaling of nickel surfaces in pulse-current electrodeposition growth"Phys. Rev. B. 66. 073416-073419 (2002)

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      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2002 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] M. Saitou, K. Hamaguchi and K. Inoue: "A study of charge-transfer reactions on (110) single-crystal nickel surfaces in nickel sulfamate electrolyte using electrochemical impedance spectroscopy"J. Phys. Chem. B. 106. 12253-12257 (2002)

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      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2002 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] M. Saitou, K. Hamaguchi and W. Oshikawa: "Surface growth of Ni thin films electrodeposited on (100) Ni surfaces"J. Electrochem. Soc.. 150. C99-C103 (2003)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2002 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] M.Saitou: "Anomalous scaling of nickel surfaces in pulse-current electrodeposition growth"Phys.Rev.B. 66. 73416-73419 (2002)

    • 関連する報告書
      2002 実績報告書
  • [文献書誌] M.Saitou, K.Hamaguchi, K.Inoue: "A study of charge-transfer reactions on (110) single-crystal nickel surfaces in nickel sulfamate electrolyte using electrochemical impedance spectroscopy"J.Phys.Chem.B. 106. 12253-12257 (2002)

    • 関連する報告書
      2002 実績報告書
  • [文献書誌] M.Saitou, K.Hamaguchi, W.Oshikawa: "Surface growth of Ni thin films electrodeposited on (100) Ni surfaces"J.Electrochem.Soc.. 150. C99-C103 (2003)

    • 関連する報告書
      2002 実績報告書
  • [文献書誌] K.Hamaguchi, W.Oshikawa, M.Saitou: "Electrochemical Impedance Spectroscopy Study of Electrochemical Reactions on Single-crytsalline Nickel Surfaces in Nickel Sulfamate"202th Electrochemical Society Meeting-SaltLake City, USA CDROM. 480 (2002)

    • 関連する報告書
      2002 実績報告書
  • [文献書誌] W.Oshikawa, K.Hamaguchi, M.Saito: "Anomalous Scaling of Nickel Surfaces Grown by Pulse-Current electrodeposition"202th Electrochemical Society Meeting-SaltLake City, USA CDROM. 471 (2002)

    • 関連する報告書
      2002 実績報告書
  • [文献書誌] M.Saitou, W.Oshikawa, M.Mori, A.Makabe: "Surfase Roughening in the Growth of Direct Current or Pulse Current Electrodeposited Nickel Thin Films"J. Electrochem. Soc.. 148. C780-C783 (2001)

    • 関連する報告書
      2001 実績報告書
  • [文献書誌] M.Saitou, W.Oshikawa, A.Makabe: "Characterization of electrodeposited nickel film surfaces using atomic force microscopy"J. Phys. Chem. Solids. (to be published). (2002)

    • 関連する報告書
      2001 実績報告書
  • [文献書誌] 斉藤正敏, 真壁朝宏: "パルス電析により作成したニッケル薄膜の表面ラフニング"2001年日本機械学会学術講演論文集. 503-504 (2001)

    • 関連する報告書
      2001 実績報告書

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公開日: 2001-04-01   更新日: 2016-04-21  

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