• 研究課題をさがす
  • 研究者をさがす
  • KAKENの使い方
  1. 前のページに戻る

延性モード研削による光学ガラスの高能率・高品位加工

研究課題

研究課題/領域番号 13650788
研究種目

基盤研究(C)

配分区分補助金
応募区分一般
研究分野 材料加工・処理
研究機関広島国際学院大学

研究代表者

李木 経孝  広島国際学院大学, 工学部, 教授 (10136129)

研究分担者 遠藤 敏郎  広島国際学院大学, 工学部, 教授 (60069200)
中田 美貴子  広島国際学院大学, 工学部, 助教授 (60237302)
研究期間 (年度) 2001 – 2002
研究課題ステータス 完了 (2002年度)
配分額 *注記
3,300千円 (直接経費: 3,300千円)
2002年度: 800千円 (直接経費: 800千円)
2001年度: 2,500千円 (直接経費: 2,500千円)
キーワード光学ガラス / 超精密加工 / 加工面品位 / 単粒加工 / 走査型プローブ顕微鏡 / 延性・ぜい性遷移点 / 延性モード研削 / クラック
研究概要

本研究では、光学ガラスの超精密研削における砥粒の研削状態を把握するため、ヴィッカース圧子を工具に使用し、単粒による研削時の要素試験を行い、脆性破壊により発生したクラック、特に内部クラックを高精度に観察し、延性・脆性遷移点の切込み深さと加工条件の関係を把握し、加工中の研削抵抗などから延性モード加工のメカニズムの解明を行った。試験には、本研究室で製作した超精密旋盤を使用し、研削速度を変えることにより延性モード加工の速度依存性およびヴィッカース圧子の稜線方向および面方向の2方向について研削することにより工具形状依存性について検討した。
この結果、すべての加工条件において表面クラックが発生する前から内部クラックが発生し、表面クラックの評価だけでなく内部クラックの評価が重要であることが示された。また、研削速度の上昇に伴い表面クラックが発生する条痕深さが浅くなる傾向が得られ、内部クラックは研削速度の上昇に伴い内部クラックが大きくなる傾向となった。さらに、工具形状については、稜線方向研削に比べ面方向研削が同一研削速度、同一条痕深さにおいて内部クラックが深くなり、表面クラックが発生する条痕深さが浅くなる結果となった。また、採取された切屑が流れ型を示していることから、本試験では延性モード加工が行われていることが確認できた。
これらを考察した結果、速度依存性については一般的に考えられている研削熱の影響は弱く、他の要因と考えられる。工具形状については、有効すくい角の検討をすると、頂角が小さい面方向研削の負のすくい角が稜線方向研削より10°近く大きくなることから、有効すくい角が影響している判断された。さらに、現在行われている一般的な加工工程をより高能率で高精度な延性モード研削に置き換えた新しい加工工程を提案し、延性モード加工の適応性を明らかにした。

報告書

(3件)
  • 2002 実績報告書   研究成果報告書概要
  • 2001 実績報告書
  • 研究成果

    (26件)

すべて その他

すべて 文献書誌 (26件)

  • [文献書誌] T.Sumomogi et al.: "Simultaneous evaluation of surface and subsurface cracks on nano-scale machined brittle materials by scanning force microscope and scanning laser microscope"Proceedings of the Euspen 2nd International Conference, May 27-31, 2001, Turin, Italy. 1. 152-155 (2001)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2002 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] H.Fujiyama, T.Sumomogi et al.: "Effect of O_2 gas partial pressure on mechanical properties of SiO_2 films deposited by radio frequency magnetron sputtering"J.Vac.Sci.Technol.. A20. 356-361 (2002)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2002 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] T.Sumomogi et al.: "Evaluation of surface and subsurface cracks in nanoscale-machined single-crystal silicon by scanning force microscope and scanning laser microscope"Materials Characterization. 48. 129-123 (2002)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2002 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] M.Nakamura, T.Sumomogi et al.: "Study on ductile mode grinding of brittle materials using single abrasive grain"Proceedings of JSME/ASME International Conference on Materials and Processing, October 15-18, 2002, Honolulu. 2. 601-604 (2002)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2002 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] M.Yoshida, M.Nakamura, T.Sumomogi et al.: "Nanoindentation Study of Ultra High Purity Aluminum"Bulletin of Hiroshima Kokusai Gakuin University. 35. 39-49 (2002)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2002 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] M.Nakamura, T.Sumomogi et al.: "Evaluation of surface and subsurface cracks in nanoscale-machined brittle materials by scanning force microscope and scanning laser microscope"Surface & Coatings Technology. (in print). (2003)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2002 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] T. Sumomogi, M. Nakamura and T. Endo: "Simultaneous evaluation of surface and subsurface cracks on nano-scale machined brittle materials by scanning force microscope and scanning laser microscope"Proceedings of the Euspen 2nd International Conference. May 27-31, 2001, Turin, Italy. 152-155

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2002 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] M.Nakamura, T.Sumomogi and T. Endo: "Evaluation of surface and subsurface cracks in nanoscale-machined brittle materials by scanning force microscope and scanning laser microscope"Frontiers of Surface Engineering 2001 (FSE2001). Oct 28-Nov 1, 2001, Nagoya, Japan. A3-18

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2002 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] T. Sumomogi, M. Nakamura, T. Endo, T. Goto and S. Kaji: "Evaluation of surface and subsurface cracks on nano-scale machined single crystal silicon by scanning force microscope and scanning laser microscope"Materials Characterization. 48. 141-145 (2002)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2002 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] T. Endo, T. Sunada, T. Sumomogi and H. Maeta: "Purity-dependent structures of Al nanoclusters on HOPG observed by STM"Materials Characterization. 48. 159-162 (2002)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2002 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] H. Fujiyama, T. Sumomogi and T. Endo: "Effect of O_2 gas partial pressure on mechanical properties of SiO_2 films deposited by radio frequency magnetron sputtering"J.Vac.Sci.Technol.. A20. 356-361 (2002)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2002 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] M. Yoshida, M. Nakamura, T. Sumomogi, K. Fujii and H. Osono: "Nanoindentation Study of Ultra High Purity Aluminum"Bulletin of Hiroshima Kokusai Gakuin University. 35. 39-49 (2002)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2002 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] M. Nakamura, T. Sumomogi and T. Goto: "Study on ductile mode grinding of brittle materials using single abrasive grain"Proceedings of JSME/ASME International Conference on Materials and Processing. October 15-18, 2002, Honolulu. 601-604

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2002 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] M. Yoshida, M. Nakamura, T. Sumomogi, K. Fujii and H. Osono: "Nano-indentation of ultra high purity aluminum"The 9th International Conference on Ultra-high Purity Base Metals. October 14-18, Sendai. 188

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2002 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] M.Nakamura, T.Sumomogi and T. Endo: "Evaluation of surface and subsurface cracks in nanoscale-machined brittle materials by scanning force microscope and scanning laser microscope"Surface & Coatings Technology. in print. (2003)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2002 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] T.Sumomogi et al.: "Simultaneous evaluation of surface and subsurface cracks on nano-scale machined brittle materials by scanrnng force microscope and scanning laser microscope"Proceedings of the Euspen 2nd International Conference, May 27-31, 2001, Turin, Italy. 1. 152-155 (2001)

    • 関連する報告書
      2002 実績報告書
  • [文献書誌] H.Fujiyama, T.Sumomogi et al.: "Effect of O_2 gas partial pressure on mechanical properties of SiO_2 films deposited by radio frequency magnetron sputtering"J.Vac.Sci.Technol.. A20. 356-361 (2002)

    • 関連する報告書
      2002 実績報告書
  • [文献書誌] T.Sumomogi et al.: "Evaluation of surface and subsurface cracks in nanoscale-machined single-crystal silicon by scanning force microscope and scanning laser microscope"Materials Characterization. 48. 129-123 (2002)

    • 関連する報告書
      2002 実績報告書
  • [文献書誌] M.Nakamura, T.Sumomogi et al.: "Study on ductile mode grinding of brittle materials using single abrasive grain"Proceedings of JSME/ASME International Conference on Materials and Processing, October 15-18, 2002, Honolulu. 2. 601-604 (2002)

    • 関連する報告書
      2002 実績報告書
  • [文献書誌] M.Yoshida, M.Nakamura, T.Sumomogi et al.: "Nanoindentation Study of Ultra High Purity Aluminum"Bulletin of Hiroshima Kokusai Gakuin Universitya. 35. 39-49 (2002)

    • 関連する報告書
      2002 実績報告書
  • [文献書誌] M.Nakamura, T.Sumomogi et al.: "Evaluation of surface and subsurface cracks in nanoscale-machined brittle materials by scanning force microscope and scanning laser microscope"Surface & Coatings Technology. (in print). (2003)

    • 関連する報告書
      2002 実績報告書
  • [文献書誌] T.Sumomogi et al.: "Simultaneous evaluation of surface and subsurface cracks on nano-scale machined brittle materials by scanning force microscope and scanning laser microscope"Proceedings of the Euspen 2nd International Conference, May 27-31, 2001, Turin, Italy. 1. 152-155 (2001)

    • 関連する報告書
      2001 実績報告書
  • [文献書誌] 中村 格芳 他: "単結晶シリコンと光学ガラスの超精密加工における延性・ぜい性遷移挙動の比較"2001年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集. 301 (2001)

    • 関連する報告書
      2001 実績報告書
  • [文献書誌] 中村 格芳 他: "単結晶シリコンの単粒研削における表面および内部クラックの評価"2001年度精密工学会長崎地方講演会講演論文集. 37-38 (2001)

    • 関連する報告書
      2001 実績報告書
  • [文献書誌] 長屋 圭太 他: "光学ガラスの単粒研削における表面および内部クラックの評価"2001年度精密工学会長崎地方講演会講演論文集. 39-40 (2001)

    • 関連する報告書
      2001 実績報告書
  • [文献書誌] M.Nakamura et al.: "Evaluation of surface and subsurface cracks on nano-scale machined brittle materials by scanning force microscope and scanning laser microscope"Frontiers of Surface Engineering 2001 (FSE 2001) Conference and Exhibition, Oct. 28-31, 2001, Nagoya, Japan. Program No.A3-18 (2001)

    • 関連する報告書
      2001 実績報告書

URL: 

公開日: 2001-04-01   更新日: 2016-04-21  

サービス概要 検索マニュアル よくある質問 お知らせ 利用規程 科研費による研究の帰属

Powered by NII kakenhi