真空中静電浮上位置決めテーブルの開発

• 研究課題/領域番号: 13750191
• 研究種目: 奨励研究(A)
• 配分区分: 補助金
• 研究分野: 機械力学・制御
• 研究機関: 東京大学
• 研究代表者: 新野 俊樹 東大, 生産技術研究所, 助教授 (70291929)
• 研究期間 (年度): 2001
• 研究課題ステータス: 完了 (2001年度)
• 配分額: 1,200千円 (直接経費: 1,200千円); 2001年度: 1,200千円 (直接経費: 1,200千円)