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バイオテンプレート極限加工による3次元量子ナノ構造の作製と光学デバイスへの応用

研究課題

研究課題/領域番号 13J08639
研究種目

特別研究員奨励費

配分区分補助金
応募区分国内
研究分野 マイクロ・ナノデバイス
研究機関東北大学

研究代表者

田村 洋典  東北大学, 工学研究科, 特別研究員(DC1)

研究期間 (年度) 2013-04-01 – 2016-03-31
研究課題ステータス 完了 (2015年度)
配分額 *注記
2,700千円 (直接経費: 2,700千円)
2015年度: 900千円 (直接経費: 900千円)
2014年度: 900千円 (直接経費: 900千円)
2013年度: 900千円 (直接経費: 900千円)
キーワードGaAs / 光学特性 / エレクトロルミネッセンス / LED / 量子ドット / レーザ / バイオテンプレート技術 / 中性粒子ビーム技術
研究実績の概要

3次元GaAs量子ナノ構造はGaAs/AlGaAs積層構造をドライエッチングすることにより作製する。その後、有機金属気相成長法により再成長を行う。最後に、電極を形成し3次元GaAs量子ナノディスク発光ダイオードを作製する。従来は、積層構造作製時のAlGaAsと同じAl濃度のAlGaAsキャップ層で再成長を行っていたが、この対称バリアのGaAs量子ナノ構造を用いて作製した発光ダイオード(LED)は100K付近において電流注入による発光が消失した。
そこで、積層構造作製時のAlGaAsよりも高いAl濃度のAlGaAsを用いてキャップ層の再成長を行った。埋め込み再成長のAlGaAsのAl濃度を上げることで、GaAs量子ナノ構造の周りの障壁高さは平面方向よりも垂直方向の方が高くなる。この非対称バリアのGaAs量子ナノ構造を用いて作製した発光ダイオードでは、室温においても電流注入による発光を確認することができた。
実際に作製した次元GaAs量子ナノ構造の障壁高さをシミュレーションにより計算した。その結果、対称形バリアの3次元GaAs量子ナノ構造では平面方向及び垂直方向ともに同じバリア高さであるという結果が得られた。一方で、非対称形バリアの3次元GaAs量子ナノ構造の場合では、Al濃度の低いバリアから電流が注入され量子ナノ構造にて再結合をすることがわかった。さらに、高濃度AlのAlGaAsバリアで囲まれているため、バリアと量子ナノ構造のエネルギー準位の差が開いている。そのため、深い閉じ込めによってキャリアがバリアに抜けてにくく、その結果室温まで動作することがわかった。
以上のように、本年度はAl濃度の高いAlGaAsバリア層で埋め込み再成長を行うことで、室温で発光する3次元GaAs量子ナノ構造LEDの作製に成功した。また、このメカニズムを解明した。

現在までの達成度 (段落)

27年度が最終年度であるため、記入しない。

今後の研究の推進方策

27年度が最終年度であるため、記入しない。

報告書

(3件)
  • 2015 実績報告書
  • 2014 実績報告書
  • 2013 実績報告書
  • 研究成果

    (56件)

すべて 2016 2015 2014 2013

すべて 雑誌論文 (8件) (うち査読あり 8件、 オープンアクセス 4件、 謝辞記載あり 1件) 学会発表 (48件) (うち国際学会 3件、 招待講演 1件)

  • [雑誌論文] Temperature-Dependent Operation of GaAs Quantum Nanodisk LEDs with Asymmetric AlGaAs Barriers2016

    • 著者名/発表者名
      Y. Tamura, A. Higo, T. Kiba, C. Thomas, J. Takayama, I.Yamashita, A. Murayama, S. Samukawa
    • 雑誌名

      IEEE Transactions on Nanotechnology

      巻: 印刷中 号: 3 ページ: 557-562

    • DOI

      10.1109/tnano.2016.2550481

    • 関連する報告書
      2015 実績報告書
    • 査読あり / 謝辞記載あり
  • [雑誌論文] AlN Nanowall Structures Grown on Si (111) Substrate by Molecular Beam Epitaxy2015

    • 著者名/発表者名
      Y. Tamura and K. Hane
    • 雑誌名

      Nanoscale Research Letters

      巻: 10 号: 1 ページ: 460-460

    • DOI

      10.1186/s11671-015-1178-7

    • 関連する報告書
      2015 実績報告書
    • 査読あり / オープンアクセス
  • [雑誌論文] Light-Emitting Devices Based on Top-down Fabrication GaAs Quantum Nanodisks2015

    • 著者名/発表者名
      A. Higo, T. Kiba, Y. Tamura, C. Thomas, J. Takayama, Y. Wang, H. Sodabanlu, M. Sugiyama, Y. Nakano, I. Yamashita, A. Murayama and S. Samukawa
    • 雑誌名

      Scientific Reports

      巻: 5 号: 1 ページ: 9371-9371

    • DOI

      10.1038/srep09371

    • 関連する報告書
      2014 実績報告書
    • 査読あり / オープンアクセス
  • [雑誌論文] Electron g-factor and spin decoherence inGaAs quantum nanodisks fabricated by fully top-down lithography2015

    • 著者名/発表者名
      T. Toru, T. Kiba, A. Higo, C. Thomas, Y. Tamura, S. Samukawa and A. Murayama
    • 雑誌名

      Journal of Crystal Growth

      巻: 印刷中 ページ: 295-298

    • DOI

      10.1016/j.jcrysgro.2015.02.066

    • 関連する報告書
      2014 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Estimation of activation energy and surface reaction mechanism of chlorine neutral beam etching2014

    • 著者名/発表者名
      C. Thomas, Y. Tamura, T. Okada, A. Higo and S. Samukawa
    • 雑誌名

      Journal of Physics D: Applied Physics

      巻: 47 号: 27 ページ: 275201-275201

    • DOI

      10.1088/0022-3727/47/27/275201

    • 関連する報告書
      2014 実績報告書
    • 査読あり / オープンアクセス
  • [雑誌論文] Impact of artificial lateral quantum confinement on exciton-spin relaxation in a two-dimensional GaAs electronic system2014

    • 著者名/発表者名
      T. Kiba, T. Tanaka, Y. Tamura, A. Higo, C. Thomas, S. Samukawa and A. Murayama
    • 雑誌名

      AIP Advances

      巻: 4 号: 10 ページ: 107112-107112

    • DOI

      10.1063/1.4897958

    • 関連する報告書
      2014 実績報告書
    • 査読あり / オープンアクセス
  • [雑誌論文] Oxidation state of GaAs surface and their effect on neutral beam etching during nano-pillar fabrication2014

    • 著者名/発表者名
      C. Thomas, Y. Tamura, M. E. S yazwan, A. Higo, S. Samukawa
    • 雑誌名

      Journal of Physics D

      巻: (accepted)(掲載確定)

    • 関連する報告書
      2013 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Quantum size effect in GaAs nanodisks fabricated using a combination of the bio-template technique and neutral beam etching2013

    • 著者名/発表者名
      Y. Tamura, T. Kaizu, T. Kiba, M. Igarashi, R. Tsukamoto, A. Higo, W. Hu, C. Thomas, M. E. Fauzi, T. Hoshii, I. Yamashita, Y. Okada, A. Murayama, S. Samukawa
    • 雑誌名

      NANOTECHNOLOGY

      巻: 24巻 号: 28 ページ: 285301-285301

    • DOI

      10.1088/0957-4484/24/28/285301

    • 関連する報告書
      2013 実績報告書
    • 査読あり
  • [学会発表] Bio-nano-templateと中性粒子ビームエッチングを用いたInGaAs/GaAs量子ナノディスクLEDの設計と試作2015

    • 著者名/発表者名
      肥後昭男、木場隆之、トーマス セドリック、田村洋典、高山純一、山下一郎、王雲鵬、ハサネット ソダーバンル、杉山正和、中野義昭、村山明宏、寒川誠二
    • 学会等名
      第32回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム
    • 発表場所
      朱鷺メッセ(新潟)
    • 年月日
      2015-10-27
    • 関連する報告書
      2015 実績報告書
  • [学会発表] Low-damage etching process for the fabrication of GaAs based light emitting devices2015

    • 著者名/発表者名
      C. Thomas, A. Higo, T. Kiba, Y. Tamura, N. Okamoto, I. Yamashita, A. Murayama, S. Samukawa
    • 学会等名
      American Vacuum Society 62nd International symposium and exhibition
    • 発表場所
      サンノゼ(アメリカ)
    • 年月日
      2015-10-18
    • 関連する報告書
      2015 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Fabrication of InGaAs quantum nanodisk light-emitting diodes by fusion top-down process of bio-template and neutral beam etching2015

    • 著者名/発表者名
      A. Higo, C. Thomas, T. Kiba, J. Takyama, C.Y. Lee, Y. Tamura, I. Yamashita, M. Sugiyama, Y. Nakano, A. Murayama, S. Samukawa
    • 学会等名
      The 2015 European Materials Research Society Fall meeting
    • 発表場所
      ワルシャワ(ポーランド)
    • 年月日
      2015-09-15
    • 関連する報告書
      2015 実績報告書
    • 国際学会 / 招待講演
  • [学会発表] Low Damage Neutral Beam AlGaN/GaN etching for Recess Gate Fabrication2015

    • 著者名/発表者名
      A. Higo, C.Y. Lee, J. Ohta, C. Thomas, Y. Tamura, H. Fujioka, and S. Samukawa
    • 学会等名
      11th Topical Workshop on Heterostructure Microelectronics
    • 発表場所
      高山(日本)
    • 年月日
      2015-08-23
    • 関連する報告書
      2015 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Top-down InGaAs/GaAs nanopillars fabrication using bio-nano process and neutral beam etching process2014

    • 著者名/発表者名
      C. Thomas, K. Yoshikawa, C. Y. Lee, Y. Tamura, A. Higo, T. Kiba, A. Murayama, I. Yamashita and S. Samukawa
    • 学会等名
      American Vacuum Society 61st international Symposium & Exhibition
    • 発表場所
      ボルチモア(アメリカ)
    • 年月日
      2014-11-13
    • 関連する報告書
      2014 実績報告書
  • [学会発表] バイオテンプレート極限加工によるInGaAs量子ナノディスクの光学特性2014

    • 著者名/発表者名
      肥後昭男,木場隆之,トーマスセドリック,李昌勇,吉川憲一,田村洋典,山下一郎,王云鵬,Hassanet Sodabamlu,杉山正和,中野義昭,村山明宏,寒川誠二
    • 学会等名
      第75回応用物理学会秋季学術講演会
    • 発表場所
      北海道大学(北海道)
    • 年月日
      2014-09-18
    • 関連する報告書
      2014 実績報告書
  • [学会発表] バイオテンプレート極限加工によるGaAs量子ナノディスクにおけるピコ秒キャリア補足ダイナミクス2014

    • 著者名/発表者名
      木場隆之,肥後昭男,田村洋典,トーマスセドリック,寒川誠二,村山明宏
    • 学会等名
      第75回応用物理学会秋季学術講演会
    • 発表場所
      北海道大学(北海道)
    • 年月日
      2014-09-18
    • 関連する報告書
      2014 実績報告書
  • [学会発表] バイオテンプレート極限加工GaAs量子ナノディスクにおける電子スピンダイナミクスの磁場中反射ポンププローブ分光2014

    • 著者名/発表者名
      田中亨,木場隆之,肥後昭男,田村洋典,トーマスセドリック,寒川誠二,村山明宏
    • 学会等名
      第75回応用物理学会秋季学術講演会
    • 発表場所
      北海道大学(北海道)
    • 年月日
      2014-09-18
    • 関連する報告書
      2014 実績報告書
  • [学会発表] Suppresion of exciton-spin relaxation induced by artificial lateral quantum confinement in GaAs2014

    • 著者名/発表者名
      T. Kiba, C. Thomas, Y. Tamura, C. Thomas, T. Kaizu, Y. Okada, S. Samukawa and A. Murayama
    • 学会等名
      18th International Conference on Molecular Beam Epitaxy
    • 発表場所
      フラッグスタッフ(カナダ)
    • 年月日
      2014-09-12
    • 関連する報告書
      2014 実績報告書
  • [学会発表] Electron G-factor and Spin-relaxation in GaAs Quantum Disks Fabricated by Fully Top-down Lithography2014

    • 著者名/発表者名
      T. Tanaka, T. Kiba, Y. Tamura, A. Higo, S. Samukawa and A. Murayama
    • 学会等名
      18th International Conference on Molecular Beam Epitaxy
    • 発表場所
      フラッグスタッフ(カナダ)
    • 年月日
      2014-09-12
    • 関連する報告書
      2014 実績報告書
  • [学会発表] Quantum GaAs Nanodisk Light Emitting Diode Fabricated by Ultimate Top-down Neutral Beam Etching2014

    • 著者名/発表者名
      A. Higo, Y. Tamura, C. Thomas, T. Kiba, Y. wang, H. Sodabanlu, J. Takayama, M. Sugiyama, Y. Nakano, I. Yamashita, A. Murayama and S. Samukawa
    • 学会等名
      24th International Semiconductor Laser Conference
    • 発表場所
      パルマ(スペイン)
    • 年月日
      2014-09-09
    • 関連する報告書
      2014 実績報告書
  • [学会発表] Fabrication of InGaAs Quantum Nanodisk Array by using Bio-Template and Top-Down Etching process2014

    • 著者名/発表者名
      K. Yoshikawa, A. Higo, C. Y. Lee, Y. Tamura, C. Thomas, T. Kiba, S. Ishii, H. Sodabanlu, Y. Wang, M. Sugiyama, Y. Nakano, I. Yamashita, A. Murayama and S. Samukawa
    • 学会等名
      14th IEEE International Conference on Nanotechnology
    • 発表場所
      トロント(カナダ)
    • 年月日
      2014-08-19
    • 関連する報告書
      2014 実績報告書
  • [学会発表] Narrow Line-width Photoluminescence Spectrum of GaAs Nanodisks Fabricated Using Bio-Template Ultimate Top-Down Process2014

    • 著者名/発表者名
      Y. Tamura, A. Higo, T. Kiba, C. Thomas, Y. Wang, H. Sodabanlu, I. Yamashita, M. Sugiyama, Y. Nakano, A. Murayama and S. Samukawa
    • 学会等名
      14th IEEE International Conference on Nanotechnology
    • 発表場所
      トロント(カナダ)
    • 年月日
      2014-08-19
    • 関連する報告書
      2014 実績報告書
  • [学会発表] OPTICAL CHARACTERISTICS OF GAAS QUANTUM NANODISKS ARRAY BY USING NEUTRAL BEAM TOP-DOWN PROCESS2014

    • 著者名/発表者名
      A. Higo, T. Kiba, Y. Tamura, C. Thomas, I. Yamashita, A. Murayama and S. Samukawa
    • 学会等名
      2014 International Conference on Optical MEMS and Nanopghotonics
    • 発表場所
      グラスゴー(スペイン)
    • 年月日
      2014-08-19
    • 関連する報告書
      2014 実績報告書
  • [学会発表] Fundamental mechanism of neutral beam etching for III-V quantum dots fabrication2014

    • 著者名/発表者名
      C. Thomas, Y. Tamura, T. Okada, A. Higo and S. Samukawa
    • 学会等名
      The 6th IEEE International Nanoelectronics Conference 2014
    • 発表場所
      北海道大学(北海道)
    • 年月日
      2014-07-30
    • 関連する報告書
      2014 実績報告書
  • [学会発表] GaAs/AlGaAs quantum nanodisks by using neutral beam etching and their optical response2014

    • 著者名/発表者名
      Y. Tamura, A. Higo, T. Kiba, C. Thomas, T. Okada, Y. Wang, H. Sodabanlu, M. Sugiyama, Y. Nakano, A. Murayama and S. Samukawa
    • 学会等名
      The 6th IEEE International Nanoelectronics Conference 2014
    • 発表場所
      北海道大学(北海道)
    • 年月日
      2014-07-30
    • 関連する報告書
      2014 実績報告書
  • [学会発表] Optical characteristics of GaAs Quantum nanodisks by the combination of Bio-template Ultimate Top-down process2014

    • 著者名/発表者名
      A. Higo, T. Kiba, Y. Tamura, S. Ishii, C. Thomas, T. Ozaki, A. Murayama and S. Samukawa
    • 学会等名
      The 6th IEEE International Nanoelectronics Conference 2014
    • 発表場所
      北海道大学(北海道)
    • 年月日
      2014-07-30
    • 関連する報告書
      2014 実績報告書
  • [学会発表] Low Temperature InGaAs Oxidation Process using Defect-Free Neutral Beam technology with Various Indium Concentration2014

    • 著者名/発表者名
      C. Y. Lee, A. Higo, C. Thomas, Y. Tamura and S. Samukawa
    • 学会等名
      The 6th IEEE International Nanoelectronics Conference 2014
    • 発表場所
      北海道大学(北海道)
    • 年月日
      2014-07-30
    • 関連する報告書
      2014 実績報告書
  • [学会発表] Fabrication of InGaAs quantum nanodisk by using Bio-template and neutral beam etching process2014

    • 著者名/発表者名
      K. Yoshikawa, A. Higo, C. Y. Lee, Y. Tamura, C. Thomas, T. Kiba, S. Ishii, H. Sodabanlu, Y. Wang, M. Sugiyama, Y. Nakano, I. Yamashita, A. Murayama and S. Samukawa
    • 学会等名
      The 6th IEEE International Nanoelectronics Conference 2014
    • 発表場所
      北海道大学(北海道)
    • 年月日
      2014-07-30
    • 関連する報告書
      2014 実績報告書
  • [学会発表] Quantum energy levels simulation for InGaAs/GaAs Quantum Nanodisks fabricated by Ultimate Top-down Process2014

    • 著者名/発表者名
      S. Ishii, A. Higo, K. Yoshikawa, Y. Tamura, T. Kiba, A. Murayama, Y. Li and S. samukawa
    • 学会等名
      The 6th IEEE International Nanoelectronics Conference 2014
    • 発表場所
      北海道大学(北海道)
    • 年月日
      2014-07-29
    • 関連する報告書
      2014 実績報告書
  • [学会発表] Longitudinal and transvers electron-spin relaxation times in GaAs nanodisks fabricated by bio-nano templates and damage-free neutral beam etching2014

    • 著者名/発表者名
      T. Tanaka, T. Kiba, Y. Tamura, C. Thomas, A. Higo, S. Samukawa and A. Murayama
    • 学会等名
      The 6th IEEE International Nanoelectronics Conference 2014
    • 発表場所
      北海道大学(北海道)
    • 年月日
      2014-07-29
    • 関連する報告書
      2014 実績報告書
  • [学会発表] Ultrafast carrier capture in high optical quality GaAs nanodisks fabricated by bio-nano templates and damage free neutral-beam etching2014

    • 著者名/発表者名
      T. Kiba, A. Higo, Y. Tamura, C. Thomas, S. Samukawa and A. Murayama
    • 学会等名
      The 6th IEEE International Nanoelectronics Conference 2014
    • 発表場所
      北海道大学(北海道)
    • 年月日
      2014-07-29
    • 関連する報告書
      2014 実績報告書
  • [学会発表] GaAs/AlGaAs stacked layers etched by neural beam for the fabrication of quantum dot structure2014

    • 著者名/発表者名
      C. Thomas, Y. Tamura, A. Higo, T. Kiba, A. Murayama and S. Samukawa
    • 学会等名
      The 3rd International Symposium Next-Generation Electronics
    • 発表場所
      桃園(台湾)
    • 年月日
      2014-05-10
    • 関連する報告書
      2014 実績報告書
  • [学会発表] Full 2D Quantum Energy Level Simulation for GaAs/AlGaAs Quantum Nanodisks Fabricated by Ultimate Top-down Process2014

    • 著者名/発表者名
      S. Ishii, A. Higo, Y. Tamura, T. Kiba, A. Murayama, Y. Li, and S. Samukawa
    • 学会等名
      The 3rd International Symposium Next-Generation Electronics
    • 発表場所
      桃園(台湾)
    • 年月日
      2014-05-10
    • 関連する報告書
      2014 実績報告書
  • [学会発表] Full 3D Quantum Energy Level Simulation for GaAs/AlGaAs Quantum Nanodisks Fabricated by Ultimate Top-down Process2014

    • 著者名/発表者名
      S. Ishii, A. Higo, Y. Tamura, T. Kiba, A. Murayama, Y. Li, S. Samukawa
    • 学会等名
      The 3^<rd> International Symposium on Next-Generation Electronics
    • 発表場所
      桃園、台湾(発表確定)
    • 年月日
      2014-05-10
    • 関連する報告書
      2013 実績報告書
  • [学会発表] GaAs/AlGaAs stacked layers etched by neutral beam for the fabrication of quantum dot structure2014

    • 著者名/発表者名
      C. Thomas, Y. Tamura, A. Higo, T. Kiba, A. Murayama, S. Samukawa
    • 学会等名
      The 3^<rd> International Symposium on Next-Generation Electronics
    • 発表場所
      桃園、台湾(発表確定)
    • 年月日
      2014-05-10
    • 関連する報告書
      2013 実績報告書
  • [学会発表] Damage-free AlGaN/GaN Recess-Gate Etching using Cl2 Neutral Beam for High-Performance HEMTs2014

    • 著者名/発表者名
      H. Sekhar, T. Kubota, T. Okada, Y. Tamura, C. Y. Lee, J. Ohta, H. Fujioka and S. Samukawa
    • 学会等名
      The 3rd International Symposium Next-Generation Electronics
    • 発表場所
      桃園(台湾)
    • 年月日
      2014-05-08
    • 関連する報告書
      2014 実績報告書
  • [学会発表] Damage-free AlGaN/GaN Recess-Gate Etching using Cl_2 Neutral Beam for High-Performance HEMTs2014

    • 著者名/発表者名
      H. Sekhar, T. Kubota, T. Okada, Y. Tamura, C. Y. Lee, J. Ohta, H. Fujioka, S. Samukawa
    • 学会等名
      The 3^<rd> International Symposium on Next-Generation Electronics
    • 発表場所
      桃園、台湾(発表確定)
    • 年月日
      2014-05-08
    • 関連する報告書
      2013 実績報告書
  • [学会発表] PEG修飾フェリチンによる高密度分散配置GaAsナノディスクの作製2014

    • 著者名/発表者名
      田村 洋典、トーマス セドリック、李 昌勇、肥後 昭男、岡田 健、山下 一郎、寒川 誠二
    • 学会等名
      2014年第61回応用物理学会春季学術講演会
    • 発表場所
      青山学院大学相模原キャンパス(神奈川県相模原市)
    • 年月日
      2014-03-20
    • 関連する報告書
      2013 実績報告書
  • [学会発表] Polyethylene glycol(PEG)を塗布した基板上のフェリチン2次元配列2014

    • 著者名/発表者名
      李 昌勇、肥後 昭男、トーマス セドリック、田村 洋典、吉川 憲一、山下 一郎、寒川 誠二
    • 学会等名
      2014年第61回応用物理学会春季学術講演会
    • 発表場所
      青山学院大学相模原キャンパス(神奈川県相模原市)
    • 年月日
      2014-03-20
    • 関連する報告書
      2013 実績報告書
  • [学会発表] Activation energy measurement of chlorine neutral beam etching of GaAs2014

    • 著者名/発表者名
      C. Thomas, Y. Tamura, A. Higo, T. Okada, S. Samukawa
    • 学会等名
      2014年第61回応用物理学会春季学術講演会
    • 発表場所
      青山学院大学相模原キャンパス(神奈川県相模原市)
    • 年月日
      2014-03-19
    • 関連する報告書
      2013 実績報告書
  • [学会発表] バイオテンプレート極限加工による超高密度(10^<11>cm^<-2>以上)・均一GaAsナノディスクの作製プロセス2014

    • 著者名/発表者名
      田村 洋典、肥後 昭男、トーマス セドリック、吉川 憲一、岡田 健、王 云鵬、杉山 正和、中野 義昭、寒川 誠二
    • 学会等名
      2014年第61回応用物理学会春季学術講演会
    • 発表場所
      青山学院大学相模原キャンパス(神奈川県相模原市)
    • 年月日
      2014-03-17
    • 関連する報告書
      2013 実績報告書
  • [学会発表] バイオテンプレート極限加工によるGaAs量子ナノディスクの狭帯域フォトルミネッセンス特性2014

    • 著者名/発表者名
      肥後 昭男、田村 洋典、木場 隆之、トーマス セドリック、王 云鵬、山下 一郎、杉山 正和、中野 義昭、村山 明宏、寒川 誠二
    • 学会等名
      2014年第61回応用物理学会春季学術講演会
    • 発表場所
      青山学院大学相模原キャンパス(神奈川県相模原市)
    • 年月日
      2014-03-17
    • 関連する報告書
      2013 実績報告書
  • [学会発表] 高均一GaAs量子ナノディスクにおけるピコ秒キャリアダイナミクス2014

    • 著者名/発表者名
      木場 隆之、田中 亨、田村 洋典、肥後 昭男、寒川 誠二、村山 明宏
    • 学会等名
      2014年第61回応用物理学会春季学術講演会
    • 発表場所
      青山学院大学相模原キャンパス(神奈川県相模原市)
    • 年月日
      2014-03-17
    • 関連する報告書
      2013 実績報告書
  • [学会発表] バイオテンプレート極限加工によるInGaAs量子ナノディスクの作製2014

    • 著者名/発表者名
      吉川 憲一、李 昌勇、田村 洋典、肥後 昭男、トーマス セドリック、山下 一郎、寒川 誠二
    • 学会等名
      2014年第61回応用物理学会春季学術講演会
    • 発表場所
      青山学院大学相模原キャンパス(神奈川県相模原市)
    • 年月日
      2014-03-17
    • 関連する報告書
      2013 実績報告書
  • [学会発表] Fabrication of GaAs/AlGaAs Nano-pillars using Bio-Template Combined with Neutral Beam Defect-free Etching2013

    • 著者名/発表者名
      C. Thomas, Y. Tamura, A. Higo, N. Okamoto, I. Yamashita, S. Samukawa
    • 学会等名
      American Vacuum Society 60^<th> International Symposium & Exhibition
    • 発表場所
      カリフォルニア、アメリカ
    • 年月日
      2013-10-31
    • 関連する報告書
      2013 実績報告書
  • [学会発表] The Fabrication of GaAs Quantum Nanodisks Combination of Bio-template, Neutral Beam Etching and MOVPE Regrowth2013

    • 著者名/発表者名
      A. Higo, Y. Tamura, T. Kiba, C. Thomas, W. Yunpeng, M. Sugiyama, Y. Nakano, A. Murayama, S. Samukawa
    • 学会等名
      2013 IEEE Nanotechnology Materials and Devices Conference
    • 発表場所
      台南、台湾
    • 年月日
      2013-10-07
    • 関連する報告書
      2013 実績報告書
  • [学会発表] High Density and High Aspect Ratio GaAs/AlGaAs Nanopillar array Fabricated by Fusion of Bio-Template and Neutral Beam Etching2013

    • 著者名/発表者名
      Y. Tamura, A. Higo, T. Kiba, W. Yunpeng, C. Thomas, T. Okada, W. Hu, A. Murayama, M. Sugiyama, Y. Nakano, S. Samukawa
    • 学会等名
      2013 International Conference on Solid State Devices and Materials
    • 発表場所
      ヒルトン福岡シーホーク(福岡県)
    • 年月日
      2013-09-25
    • 関連する報告書
      2013 実績報告書
  • [学会発表] バイオテンプレート極限加工によるGaAsナノディスクの作製プロセスの最適化2013

    • 著者名/発表者名
      田村 洋典、肥後 昭男、トーマス セドリック、岡田 健、山下 一郎、寒川誠二
    • 学会等名
      2013年第74回応用物理学会秋季学術講演会
    • 発表場所
      同志社大学京田辺キャンパス(京都府京田辺市)
    • 年月日
      2013-09-18
    • 関連する報告書
      2013 実績報告書
  • [学会発表] GaAs surface investigation for high density quantum nanodisk array with a bio-template top-down process2013

    • 著者名/発表者名
      Cedric Thomas, Y. Tamura, A. Higo, T. Okada, N. Okamoto, I. Yamashita. S. Samukawa
    • 学会等名
      2013年第74回応用物理学会秋季学術講演会
    • 発表場所
      同志社大学京田辺キャンパス(京都府京田辺市)
    • 年月日
      2013-09-18
    • 関連する報告書
      2013 実績報告書
  • [学会発表] バイオテンプレート極限加工によるGaAs量子ナノディスクの作製とフォトルミネッセンス特性2013

    • 著者名/発表者名
      肥後 昭男、田村 洋典、木場 隆之、トーマス セドリック、王 云鵬、山下 一郎、杉山 正和、中野 義昭、村山 明宏、寒川 誠二
    • 学会等名
      2013年第74回応用物理学会秋季学術講演会
    • 発表場所
      同志社大学京田辺キャンパス(京都府京田辺市)
    • 年月日
      2013-09-18
    • 関連する報告書
      2013 実績報告書
  • [学会発表] バイオテンプレート極限加工GaAs量子ナノディスクにおける光励起キャリアダイナミクス2013

    • 著者名/発表者名
      木場 隆之、須崎 健太、田村 洋典、肥後 昭男、寒川 誠二、村山 明宏
    • 学会等名
      2013年第74回応用物理学会秋季学術講演会
    • 発表場所
      同志社大学京田辺キャンパス(京都府京田辺市)
    • 年月日
      2013-09-18
    • 関連する報告書
      2013 実績報告書
  • [学会発表] バイオテンプレート極限加工GaAs量子ナノディスクにおける光学利得2013

    • 著者名/発表者名
      須崎 健太、木場 隆之、Kyhm Kwangseuk、田村 洋典、肥後 昭男、寒川 誠二、村山 明宏
    • 学会等名
      2013年第74回応用物理学会秋季学術講演会
    • 発表場所
      同志社大学京田辺キャンパス(京都府京田辺市)
    • 年月日
      2013-09-18
    • 関連する報告書
      2013 実績報告書
  • [学会発表] バイオテンプレート極限加工GaAs量子ナノディスクの反射ポンププローブ分光2013

    • 著者名/発表者名
      田中 亨、佐々木 義、木場 隆之、Kyhm Kwangseuk、田村 洋典、肥後 昭男、寒川 誠二、村山 明宏
    • 学会等名
      2013年第74回応用物理学会秋季学術講演会
    • 発表場所
      同志社大学京田辺キャンパス(京都府京田辺市)
    • 年月日
      2013-09-18
    • 関連する報告書
      2013 実績報告書
  • [学会発表] Dynamics of exaction-spin relaxation in GaAs nanodisks fabricated by fully-top-down and damage-free lithography2013

    • 著者名/発表者名
      T. Kiba, K. Suzaki, Y. Tamura, M. Igarashi, C. Thomas, W. Hu, T. Kaizu, Y. Okada, S. Samukawa, A. Murayama
    • 学会等名
      18^<th> International Conference on Dynamical Processes in Excited State of Solids
    • 発表場所
      福州・中国
    • 年月日
      2013-08-09
    • 関連する報告書
      2013 実績報告書
  • [学会発表] Photoluminescence of High-density and Sub-20-nm GaAs Nanodisks Fabricated with a Neutral Beam Etching Process and MOVPE Regrowth for High-Performance QDs Devices2013

    • 著者名/発表者名
      Y. Tamura, A. Higo, T. Kiba, W. Yunpeng, M. Igarashi, C. Thomas, W. Hu, M. E. Fauzi, A. Murayama, M. Sugiyama, Y. Nakano, S. Samukawa
    • 学会等名
      The 13^<th> IEEE International Conference on Nanotechnology
    • 発表場所
      北京、中国
    • 年月日
      2013-08-08
    • 関連する報告書
      2013 実績報告書
  • [学会発表] Observation of optical gain in GaAs quantum disks fabricated by neutral-beam etching using bio-nano templates2013

    • 著者名/発表者名
      K. Suzaki, T. Kiba, K. Kyhm, Y. Tamura, A. Higo, S. Samukawa, A. Murayama
    • 学会等名
      18^<th> International Conference on Dynamical Processes in Excited State of Solids
    • 発表場所
      福州、中国
    • 年月日
      2013-08-06
    • 関連する報告書
      2013 実績報告書
  • [学会発表] Transient Kerr effect in GaAs quantum disks fabricated by neutral-beam etching using bio-nano templates2013

    • 著者名/発表者名
      T. Tanaka, T. Sasaki, T. Kiba, K. Kyhm, Y. Tamura, A. Higo, S. Samukawa, A. Murayama
    • 学会等名
      18^<th> International Conference on Dynamical Processes in Excited State of Solids
    • 発表場所
      福州、中国
    • 年月日
      2013-08-06
    • 関連する報告書
      2013 実績報告書

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公開日: 2014-01-29   更新日: 2024-03-26  

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