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グラフェンの化学気相成長過程における核形成機構と成長端での原子取込み機構の解明

研究課題

研究課題/領域番号 13J10382
研究種目

特別研究員奨励費

配分区分補助金
応募区分国内
研究分野 応用物性・結晶工学
研究機関東京大学

研究代表者

寺澤 知潮  東京大学, 理学系研究科, 特別研究員(DC2)

研究期間 (年度) 2013-04-01 – 2015-03-31
研究課題ステータス 完了 (2014年度)
配分額 *注記
2,200千円 (直接経費: 2,200千円)
2014年度: 1,100千円 (直接経費: 1,100千円)
2013年度: 1,100千円 (直接経費: 1,100千円)
キーワードグラフェン / 化学気相成長法 / その場観察 / 光学顕微鏡 / 表面科学 / 黒体輻射 / 結晶成長 / 成長機構 / 二層グラフェン
研究実績の概要

グラフェンの画期的な物性を産業的に応用するためには,大面積かつ単層の試料を再現性良く得ることが重要である.銅基板上での化学気相成長法はこのようなグラフェンの作製において有利と考えられている.本年度は前年度に引き続きグラフェンの化学気相成長法のその場観察の研究を行い,本研究の目的であるグラフェン化学気相成長法の機構の解明に寄与する結果を得た.また,産業応用に向けて成長条件の最適化の指針を提案した.以下に研究成果の内容について具体的に示す.
本研究ではグラフェンの化学気相成長法の機構解明のために光学顕微鏡を用いた新たなその場観察の手法開発を試みてきた.グラフェンの成長時にグラフェンと銅基板の黒体輻射の強度差に注目するとグラフェン成長のその場観察が可能であることはすでに昨年度に報告した.同時に原料気体であるメタンの流量や基板の温度がグラフェン成長に大きな影響を与えることをその場観察によっても明らかにしてきた.本年度は近年注目されている成長条件である系中に残留している酸素濃度に着目して研究を行った.その結果,系中の酸素濃度が高いほどグラフェンの核発生や成長速度が遅くなる一方で,グラフェンが除去される速度は高くなることが明らかになった.以上の結果を総括し,メタンからのグラフェン成長前駆体の生成と残留酸素による前駆体の消費の競合によってグラフェンの成長様式が決定されるという機構を考察した.さらに考察を進め,グラフェンの化学気相成長法における成長条件としては系中に不純物として存在する酸素の量を確定させた後に最後にメタン流量を決定するべきであるという指針を提案した.
以上の内容は応用物理学会において講演奨励賞を受賞するとともに,Nature Communications誌およびApplied Physics Express誌に掲載された.

現在までの達成度 (段落)

26年度が最終年度であるため、記入しない。

今後の研究の推進方策

26年度が最終年度であるため、記入しない。

報告書

(2件)
  • 2014 実績報告書
  • 2013 実績報告書
  • 研究成果

    (8件)

すべて 2015 2014 2013

すべて 雑誌論文 (3件) (うち査読あり 3件、 謝辞記載あり 2件) 学会発表 (5件) (うち招待講演 1件)

  • [雑誌論文] Radiation Mode Optical Microscopy on the Growth of Graphene2015

    • 著者名/発表者名
      T. Terasawa and K. Saiki
    • 雑誌名

      Nature Communications

      巻: 6 号: 1 ページ: 6834-6834

    • DOI

      10.1038/ncomms7834

    • 関連する報告書
      2014 実績報告書
    • 査読あり / 謝辞記載あり
  • [雑誌論文] Effect of vapor-phase oxygen on chemical vapor deposition growth of graphene2015

    • 著者名/発表者名
      T. Terasawa and K. Saiki
    • 雑誌名

      Applied Physics Express

      巻: 8 号: 3 ページ: 035101-035101

    • DOI

      10.7567/apex.8.035101

    • 関連する報告書
      2014 実績報告書
    • 査読あり / 謝辞記載あり
  • [雑誌論文] Control of work function of graphene by plasma assisted nitrogen doping2014

    • 著者名/発表者名
      Keishi Akada, Tomo-o Terasawa, Gaku Imamura, Seiji Obata, and Koichiro Saiki
    • 雑誌名

      Applied Physics Letters

      巻: 104 号: 13 ページ: 131602-131602

    • DOI

      10.1063/1.4870424

    • 関連する報告書
      2013 実績報告書
    • 査読あり
  • [学会発表] グラフェンCVD成長における酸素分圧の影響2015

    • 著者名/発表者名
      寺澤知潮,斉木幸一朗
    • 学会等名
      第62回応用物理学会春季学術講演会
    • 発表場所
      東海大学(神奈川県平塚市)
    • 年月日
      2015-03-12
    • 関連する報告書
      2014 実績報告書
  • [学会発表] 黒体輻射顕微法によるグラフェンCVD成長のその場観察2014

    • 著者名/発表者名
      寺澤知潮,斉木幸一朗
    • 学会等名
      第75回応用物理学会秋季学術講演会
    • 発表場所
      北海道大学(北海道札幌市)
    • 年月日
      2014-09-19
    • 関連する報告書
      2014 実績報告書
    • 招待講演
  • [学会発表] 黒体輻射を用いたグラフェンCVD成長の光学顕微鏡観察2014

    • 著者名/発表者名
      寺澤知潮, 斉木幸一朗
    • 学会等名
      第61回応用物理学会春季学術講演会
    • 発表場所
      青山学院大学, 相模原キャンパス
    • 年月日
      2014-03-20
    • 関連する報告書
      2013 実績報告書
  • [学会発表] Effect of Sublimation of Cu Substrates on Chemical Vapor Deposition Growth of Graphene2013

    • 著者名/発表者名
      T. Terasawa, S. Stauss, K. Terashima, and K. Saiki
    • 学会等名
      Material Research an Society Fall Meeting & Exhibit
    • 発表場所
      Hynes Convention Center (Boston, USA)
    • 年月日
      2013-12-06
    • 関連する報告書
      2013 実績報告書
  • [学会発表] グラフェンCVD成長の光学顕微鏡観察2013

    • 著者名/発表者名
      寺澤知潮, 斉木幸一朗
    • 学会等名
      第74回応用物理学会秋季学術講演会
    • 発表場所
      同志社大学, 京田辺キャンパス
    • 年月日
      2013-09-17
    • 関連する報告書
      2013 実績報告書

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公開日: 2014-01-29   更新日: 2024-03-26  

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