| 研究課題/領域番号 |
14045258
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| 研究種目 |
特定領域研究
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| 配分区分 | 補助金 |
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| 審査区分 |
理工系
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| 研究機関 | 九州大学 |
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研究代表者 |
高原 淳 九州大学, 先導物質化学研究所, 教授 (20163305)
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| 研究分担者 |
田中 敬二 九州大学, 大学院・工学研究院, 助手 (20325509)
大塚 英幸 九州大学, 先導物質化学研究所, 助教授 (00293051)
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| 研究期間 (年度) |
2002 – 2003
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| 研究課題ステータス |
完了 (2003年度)
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| 配分額 *注記 |
3,500千円 (直接経費: 3,500千円)
2003年度: 1,700千円 (直接経費: 1,700千円)
2002年度: 1,800千円 (直接経費: 1,800千円)
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| キーワード | 有機シラン単分子膜 / 原子間力顕微鏡 / 水平力顕微鏡 / 気相化学吸着 / 局所光分解 / パターン化 / 摩擦の異方性 / 濡れの異方性 / 化学吸着 / 微粒子 / 液滴 |
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| 研究概要 |
膜形成物質として結晶性、表面自由エネルギーの異なる、n-オクタデシルトリエトキシシラン(OTES、CH_3(CH_2)_<17>Si(OEt)_3)、[2-パーフルオロヘキシル]エチルトリエトキシシラン(FHETES、CF_3(CF_2)_5CH_2CH_2Si(OEt)_3)及び(2-アミノエチル)-3-アミノプロピルメチルジメトキシシラン(AEAPDMS、NH_2(CH_2)_2NH(CH_2)_3SiMe(OMe)_2)を用いた。基板としてはSi基板を用いた。有機シラン単分子膜は化学吸着により調製し、波長172nmの真空紫外光を用いた局所光分解と化学吸着による単分子膜形成に基づきパターン化を行った。三成分系パターン化有機シラン単分子膜の表面構造をXPS測定、原子間力顕微鏡(AFM)観察、及び水平力顕微鏡(LFM)測定に基づき評価した。OTES/FHETES/AEAPDMSパターン化単分子膜のAFM及びLFM観察より、それぞれ格子状にパターン化された単分子膜の形成が確認された。ラインの幅は、フォトマスクのライン幅と良い一致を示した。LFMにより評価される水平力の値は、AEAPDMS、FHETES、OTESの順に低下した。ライン状にパターン化されたFHETS/SiOH表面に形成した液滴はラインに平行方向と垂直方向に異方性を示した。またFHETS/SiOH表面のSiOH領域にはFHETESの撥油性のためにオイルがSi-OH領域に濡れ拡がった。一方、ライン状にパターン化された単分子膜表面ではラインに平行方向が、その垂直方向に比べて低い摩擦力を示した。
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