• 研究課題をさがす
  • 研究者をさがす
  • KAKENの使い方
  1. 前のページに戻る

PLD法による二酸化チタン(TiO_2)ナノクラスター光触媒作製プロセスの開発

研究課題

研究課題/領域番号 14050102
研究種目

特定領域研究

配分区分補助金
審査区分 理工系
研究機関佐世保工業高等専門学校

研究代表者

須田 義昭  佐世保工業高等専門学校, 電気工学科, 教授 (20124141)

研究分担者 川崎 仁晴  佐世保工業高等専門学校, 電気工学科, 助教授 (10253494)
研究期間 (年度) 2002
研究課題ステータス 完了 (2002年度)
配分額 *注記
2,200千円 (直接経費: 2,200千円)
2002年度: 2,200千円 (直接経費: 2,200千円)
キーワードPLD法 / 二酸化チタン / 光触媒 / Nd : YAGレーザ / ナノクラスター
研究概要

本研究では、現有のパルスYAGレーザに高周波バイアス電源や永久磁石等を併用したパルスレーザデポジション(PLD)装置を用いて、光触媒として有望であるTiO_2ナノクラスターを作製した。さらに、XPS、GXRD、SEM、AFMやPL法等を用いて、ナノクラスターの特性を調べた。また、作製したTiO_2ナノクラスター光触媒の水質改善効果を検討した。さらに、現有のマルチチャンネル分光分析装置でプラズマの発光分光分析を行いプラズマ温度や発光種を明らかにすることにより、ナノクラスターの特性とプロセスプラズマ特性の関係及び水質改善効果の関係を定量的に検討し、TiO_2ナノクラスター光触媒の最適作製プロセスを開発することを目的に研究を行った。その結果、以下のことがわかった。
1)現有のPLD装置を用いて、TiO_2ナノクラスター堆積条件を変化し、TiO_2ナノクラスターをSi基板やコーニングガラス基板上に作製できた。
2)作製したナノクラスターの特性をGXRD、FE-SEM、AFM、XPS、FT-IR分析装置やPL法により定量的に分析した結果、基板温度Tsを制御することによりアナターゼ型もしくはルチル型のTiO_2ナノクラスターを作製できることが明らかとなった。
3)酸素ガス圧力によりTiと0の組成比は変化し・酸素ガス圧力P_<02>=10Pa以上で化学量論的組成のTiO_2ナノクラスターが得られることが分かった。
4)作製したアナターゼ型TiO_2ナノクラスターを水処理装置に使用し、水質改善効果を定量的に検討し、水質改善効果があることを確認した。
5)可視光応答型の窒素ドープTiO_2ナノクラスター作製に成功し、ナノクラスター特性と水質改善効果の関係を検討した。
上記の結果をIPS14やASIPS等の国際会議や応用物理学会全国大会等で発表した。

報告書

(1件)
  • 2002 実績報告書
  • 研究成果

    (6件)

すべて その他

すべて 文献書誌 (6件)

  • [文献書誌] Y.Suda: "Preparation of Crystalline TiC Thin Films by pulsed Nd : YAG Laser Deposition Using Ti target in Methane Gas"Materials Characterization. 48巻・2号. 221-228 (2002)

    • 関連する報告書
      2002 実績報告書
  • [文献書誌] Y.Suda: "Properties of Palladium Doped Tin Oxide Thin Films for Gas Sensors Grown by PLD Method Conbined with Sputtering"Proc. 9th International Conference on Plasma Surface Engineering. 9巻. 402-402 (2002)

    • 関連する報告書
      2002 実績報告書
  • [文献書誌] H.Kawasaki: "NO_x gas sensing properties of tungsten oxide thin films synthesized by pulsed laser deposition method"Applied Surface Science. 197-198号. 547-551 (2002)

    • 関連する報告書
      2002 実績報告書
  • [文献書誌] H.Kawasaki: "Development of New Preparation System for Highly Sensitive Flammable Gas Sensor"Jpn.J.Appl.Phys.. 41巻・8号. 5390-5391 (2002)

    • 関連する報告書
      2002 実績報告書
  • [文献書誌] Y.Suda: "Characteristics of TiO_2 Thin Films as a Photocatalyst Using a Pulsed Laser Deposition Method"Proc. 1st Asian Symposium on Ion and Plasma Surface Finishing. 17-17 (2002)

    • 関連する報告書
      2002 実績報告書
  • [文献書誌] 須田 義昭: "PLD法による酸化スズ(SnO_2)薄膜ガスセンサの作製"電気学会論文誌. 113巻・C号. 222-227 (2003)

    • 関連する報告書
      2002 実績報告書

URL: 

公開日: 2002-04-01   更新日: 2018-03-28  

サービス概要 検索マニュアル よくある質問 お知らせ 利用規程 科研費による研究の帰属

Powered by NII kakenhi