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不揮発性磁気メモリ(MRAM)の高速・大容量化に関する研究

研究課題

研究課題/領域番号 14076202
研究種目

特定領域研究

配分区分補助金
審査区分 理工系
研究機関東北大学

研究代表者

猪俣 浩一郎  東北大学, 大学院工学研究科, 教授 (90323071)

研究分担者 手束 展規  東北大学, 大学院工学研究科, 助手 (40323076)
研究期間 (年度) 2002 – 2005
研究課題ステータス 完了 (2005年度)
配分額 *注記
19,700千円 (直接経費: 19,700千円)
2005年度: 2,600千円 (直接経費: 2,600千円)
2004年度: 4,300千円 (直接経費: 4,300千円)
2003年度: 4,800千円 (直接経費: 4,800千円)
2002年度: 8,000千円 (直接経費: 8,000千円)
キーワードスピン共鳴トンネル効果 / 二重トンネル接合 / エピタキシャル / コンダクタンス振動 / スピン依存量子井戸 / ホイスラー合金 / トンネル接合 / トンネル磁気抵抗 / スピン依存量子準位 / ホイスラー合金薄膜 / スピン分極率 / 強磁性トンネル効果 / L2_1構造 / MRAM / 磁気抵抗比 / ナノサイズ素子 / トンネル磁気抵抗効果 / 磁気モーメント / 反平行結合素子 / 不揮発性固体磁気メモリ / スピン反転磁場 / 反平行結合膜 / 磁気力顕微鏡
研究概要

スピン共鳴トンネル効果素子の創製、およびCo基フルホイスラー合金を用いた強磁性トンネル接合(MTJ)のTMR特性向上について研究した。前者は二つのMgOバリアを用いたエピタキシャル強磁性二重トンネル接合をMBEを用いて作製し、バリアに挟まれたFe強磁性層の厚さを変えた。その結果、Fe層の設計膜厚1.0〜1.5nmのとき微分コンダクタンスがバイアス電圧によって振動することを初めて観測した。このときの振動周期はFe膜厚の減少とともに長くなった。また、この振動は室温でも観測できるが、温度の上昇とともに振幅は弱くなった。これらの現象はFe中間層にΔ_1バンドからなる量子準位が形成されたとして説明することができる。尚、TMRはコヒーレントトンネルを反映して室温で100%を越える大きな値を示し、TMRのバイアス電圧依存性は一重トンネル接合のそれより優れている。後者はいわゆるハーフメタルの開発に関係している。これまで主としてCo_2(Fe_xCr_<1-x>)Al(CCFA)ホイスラー合金を用いたMTJについて調べてきた。その結果、x=0.6を境にそれ以下ではB2とA2構造が共存すること、それ以上ではB2単相が得られることが明確になり、いずれの組成域でもL2_1構造は得られないことが判明した。結果としてTMRはx=0.6で最大となり、低温で83%、室温で54%である。巨大TMRを得るためにはやはりL2_1構造は避け難く、そのため組成系をCo2FeSiに移しCO2Fe(AlySil.y)に研究をシフトさせた。その結果、CO2FeSi膜ではL2_1構造が得られることが判明した。しかし、Coアンチサイトの存在が判明し、室温TMRは40%程度に留まっている。Alで置換するとL2_1構造は得にくくなるもののTMRが増大し、現在のところx=0.5で最大60%のTMRが室温で得られている。このときの構造はB2である。今後、組成を調整することで適当なy値においてL2_1構造、引いてはより大きなTMRが得られるものと考えている。

報告書

(5件)
  • 2005 実績報告書   研究成果報告書概要
  • 2004 実績報告書
  • 2003 実績報告書
  • 2002 実績報告書
  • 研究成果

    (44件)

すべて 2006 2005 2004 2003 2002 その他

すべて 雑誌論文 (32件) 図書 (1件) 文献書誌 (11件)

  • [雑誌論文] Quantum oscillation of the tunneling conductance in fully epitaxial double barrier magnetic tunnel junctions2006

    • 著者名/発表者名
      T.Nozaki et al.
    • 雑誌名

      Phys. Rev. Lett. 96

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2005 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Quantum oscillation of the tunnel conductance in fully epitaxial double barrier magnetic tunnel junctions2006

    • 著者名/発表者名
      T.Nozaki et al.
    • 雑誌名

      Phys. Rev. Lett. 96

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2005 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Quantum oscillation of the tunnel conductance in fully epitaxial double barrier magnetic tunnel junctions2006

    • 著者名/発表者名
      T.Nozaki
    • 雑誌名

      Phys.Rev.Lett. 96

    • 関連する報告書
      2005 実績報告書
  • [雑誌論文] Structural and magnetic properties and tunnel magnetoresistance for Co_2(Cr,Fe)Al and Co_2FeSi full-Heusler alloys2006

    • 著者名/発表者名
      K.Inomata
    • 雑誌名

      J.Phys.D 39

      ページ: 816-823

    • 関連する報告書
      2005 実績報告書
  • [雑誌論文] Significant magnetoresistance enhancement due to a co-tunneling process in a double tunnel junction with single discontinuous ferromagnetic layer insertion2005

    • 著者名/発表者名
      H.Sukegawa et al.
    • 雑誌名

      Phys. Rev. Lett. 95

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2005 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Large tunnel magnetoresistance at room temperature with a Co2FeAL full-Heusler alloy electrode2005

    • 著者名/発表者名
      S.Okamura et al.
    • 雑誌名

      Appl. Phys. Lett. 86

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2005 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Large tunnel magnetoresistance at room temperature with a Co2FeA1 full-Heusler alloy electrode2005

    • 著者名/発表者名
      S.Okamura et al.
    • 雑誌名

      Appl. Phys. Lett. 86

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2005 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Large tunnel magnetoresistance at room temperature with a Co_2FeAl full-Heusler alloy electrode2005

    • 著者名/発表者名
      S.Okamura
    • 雑誌名

      Appl.Phys.Lett. 86

    • 関連する報告書
      2005 実績報告書
  • [雑誌論文] Structural and magnetic properties of epitaxial L2_1 structured Co_2(Cr,Fe)Al films grown on a GaAs(001) substrate2005

    • 著者名/発表者名
      A.Hirohata
    • 雑誌名

      J.Appl.Phys. 97

    • 関連する報告書
      2005 実績報告書
  • [雑誌論文] Bias voltage effect on tunnel magnetoresistance in fully epitaxial MgO double-barrier magnetic tunnel junctions2005

    • 著者名/発表者名
      T.Nozaki
    • 雑誌名

      Appl.Phys.Lett. 86

    • 関連する報告書
      2005 実績報告書
  • [雑誌論文] L2_1構造を有するCO_2Cr_<1-x>Fe_xAl薄膜の結晶構造と磁気特性2005

    • 著者名/発表者名
      廣畑貫文, 紅林秀和, 岡村進, 菊地麻紀, 正木達章, 野崎隆行, 手束展規, 猪俣浩一郎
    • 雑誌名

      日本応用磁気学会誌 29

      ページ: 124-127

    • NAID

      110002811871

    • 関連する報告書
      2004 実績報告書
  • [雑誌論文] Substantial reduction of critical current for magnetization switching in an exchange-biased spin-valve2004

    • 著者名/発表者名
      Y.Jiang et al.
    • 雑誌名

      Nature Materials 3

      ページ: 361-363

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2005 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Structural, magnetic and transport properties of full-Heusler alloy Co_2(Cr_<1-x>Fe_x) thin films2004

    • 著者名/発表者名
      S.Okamura et al.
    • 雑誌名

      J. Appl. Phys. 96

      ページ: 6561-6564

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2005 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Spin-dependent quantum oscillation in magnetic tunnel junctions with Ruquantum well2004

    • 著者名/発表者名
      T.Nozaki et al.
    • 雑誌名

      Phys. Rev. B 70

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2005 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Substantial reduction of critical current for magnetization switching in an exchange-biased spin vale2004

    • 著者名/発表者名
      Y.Jiang et al.
    • 雑誌名

      Nature Materials 3

      ページ: 361-364

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2005 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Structural, magnetic and transport properties of full-Heusler alloy CO2(Cri-xFex)A1 thin films2004

    • 著者名/発表者名
      S.Okamura et al.
    • 雑誌名

      J. Appl. Phys. 96

      ページ: 6561-6564

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2005 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Spin-dependent quatum oscillation in magnetic tunnel junction with Ru quantum well2004

    • 著者名/発表者名
      T.Nozaki, et al.
    • 雑誌名

      Phys. Rev. B 70

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2005 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Significant magnetoresistance enhancement due to a co-tunneling process in a double tunnel junction with single discontinuous ferromagnetic layer snertion2004

    • 著者名/発表者名
      H.Sukegawa, et ah
    • 雑誌名

      Phys. Rev. Lett. 95

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2005 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Tunnel magnetresistance using full-Heusler alloys2004

    • 著者名/発表者名
      K.Inomata, S.Okamura, N.Tezuka
    • 雑誌名

      Journal of Magnetism and Magnetic Materials 282

      ページ: 269-274

    • 関連する報告書
      2004 実績報告書
  • [雑誌論文] Structural, magnetic and transport properties of full-Heusler alloy CO_2(Cr_<1-x>Fe_x)Al thin films2004

    • 著者名/発表者名
      S.Okamura, R.Goto, N.Tezuka, S.Sugimoto, K.Inomata
    • 雑誌名

      JOURNAL OF APPLIED PHYSICS 96(11)

      ページ: 6561-6564

    • 関連する報告書
      2004 実績報告書
  • [雑誌論文] Magnetoresistance in tunnel junctions using Co_2(Cr,Fe)Al full Heusler alloys2004

    • 著者名/発表者名
      K.Inomata, N.Tezuka, S.Okamura, H.Kurebayashi, A.Hirohata
    • 雑誌名

      JOURNAL OF APPLIED PHYSICS 95(11)

      ページ: 7234-7236

    • 関連する報告書
      2004 実績報告書
  • [雑誌論文] Structural, magnetic and transport properties of CO_2Cr_<1-x>Fe_xAl full-Heusler alloys2004

    • 著者名/発表者名
      S.Okamura, R.Goto, N.Tezuka, S.Sugimoto, K.Inomata
    • 雑誌名

      JOURNAL OF THE JAPAN INSTITUTE OF METALS 68(2)

      ページ: 114-117

    • NAID

      10012647824

    • 関連する報告書
      2004 実績報告書
  • [雑誌論文] Perpendicular giant magnetoresistance and magnetic switching properties of a single spin valve with a synthetic antiferromagnet as a free layer2003

    • 著者名/発表者名
      Y.Jiang et al.
    • 雑誌名

      Phys. Rev. B 68

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2005 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Size-independent spin switching field using synthetic antiferromagnet2003

    • 著者名/発表者名
      K.Inomata et al.
    • 雑誌名

      Appl. Phys. Lett. 82

      ページ: 2667-2669

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2005 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Large tunneling magnetoresistance at room temperature using a Heusler alloy with the B2 structure2003

    • 著者名/発表者名
      K.Inomata et al.
    • 雑誌名

      Jpn. J. Appl. Phys. 42

    • NAID

      80015914793

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2005 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Size-independent spin switching field using synthetic antiferromagnet2003

    • 著者名/発表者名
      K.Inomata, et ah
    • 雑誌名

      Appl. Phys. Lett. 82

      ページ: 2667-2669

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2005 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Large tunneing magnetoresistance at room temperature using a Heusler alloy with the B2 structure2003

    • 著者名/発表者名
      K.Inomata et ah
    • 雑誌名

      Jpn. J. Appl. Phys. 42

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2005 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Switching field Behavior in antiparallely coupled sub-micrometer scale magnetic elements2002

    • 著者名/発表者名
      N.Tezuka et al.
    • 雑誌名

      J. Magn. Magn. Mater 240

      ページ: 294-296

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2005 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Magnetic switching field and giant magnetoresistance effect of multilayers with synthetic antiferromagnet free layers2002

    • 著者名/発表者名
      K.Inomata et al.
    • 雑誌名

      Appl. Phys. Lett. 81

      ページ: 310-312

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2005 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Single domain observation for synthetic antiferromagnetically coupled bits with low aspect ratios2002

    • 著者名/発表者名
      N.Tezuka et al.
    • 雑誌名

      Appl. Phys. Lett. 82

      ページ: 604-606

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2005 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Switching field behavior in antiparallely coupled sub-micrometer scale magnetic elements2002

    • 著者名/発表者名
      N.Tezuka et al.
    • 雑誌名

      J. Magn. Magn. Mater 240

      ページ: 294-296

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2005 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Single domain observation for synthetic antiferromagnetically coupled bits with low aspect ratios2002

    • 著者名/発表者名
      N.Tezuka et ah
    • 雑誌名

      Appl. Phys. Lett. 82

      ページ: 604-606

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2005 研究成果報告書概要
  • [図書] 不揮発性磁気メモリMRAM2005

    • 著者名/発表者名
      猪俣浩一郎
    • 総ページ数
      230
    • 出版者
      工業調査会
    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2005 実績報告書 2005 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] 岡村寛志ら: "Co_2(Cr_<1-x>,Fe_x)Alフルホイスラー合金を用いたMTJの磁気抵抗効果"日本応用磁気学会誌. 28. 172-175 (2004)

    • 関連する報告書
      2003 実績報告書
  • [文献書誌] 岡村寛志ら: "Co_2(Cr_<1-x>,Fe_x)Alフルホイスラー合金の構造と磁気伝導特性"日本金属学会誌. 68(印刷中). (2004)

    • 関連する報告書
      2003 実績報告書
  • [文献書誌] Koichiro Inomata, et al.: "Large Tunneling Magnetoresistance at Room Temperature using a Heusler alloy with the B2 structure"Jpn.J.Appl.Phys.. 42. L409-L412 (2003)

    • 関連する報告書
      2003 実績報告書
  • [文献書誌] Koichiro Inomata, et al.: "Magnetoresistance in tunnel junctions using Co_2(CrFe)Al"J.Appl.Phys.. (in press). (2004)

    • 関連する報告書
      2003 実績報告書
  • [文献書誌] 小池 伸幸: "反平行結合膜の微細加工素子における磁化状態"日本応用磁気学会誌. 27巻・4号. (2003)

    • 関連する報告書
      2002 実績報告書
  • [文献書誌] N.Tezuka: "Magnetization reversal and domain structure of antiferromagnetically coupled submicron elements"J.Appl.Phys.. 93・10. (2003)

    • 関連する報告書
      2002 実績報告書
  • [文献書誌] N.Tezuka: "Single domain observation for synthetic antiferromagnetically coupled bits with low aspect ratios"Appl.Phys.Lett.. 82・4. 606-606 (2003)

    • 関連する報告書
      2002 実績報告書
  • [文献書誌] K.Inomata: "Magnetic switching field and giant magnetoresistance effect of multilayers with synthetic antiferromagnetic free layers"Appl.Phys.Lett.. 81・2. 310-312 (2002)

    • 関連する報告書
      2002 実績報告書
  • [文献書誌] 野崎 隆行: "反平行結合フリー層を用いたGMRスピンバルブ膜の磁化反転特性"日本金属学会誌. 66巻・11号. 1078-1082 (2002)

    • 関連する報告書
      2002 実績報告書
  • [文献書誌] N.Tezuka: "Switching fields behavior in antiparallely coupled submicrometer scale magnetic elements"J.Magn.Magn.Matter.. 240. 294-296 (2002)

    • 関連する報告書
      2002 実績報告書
  • [文献書誌] K.Inomata: "MRAM技術"Sipec. 206 (2002)

    • 関連する報告書
      2002 実績報告書

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公開日: 2002-04-01   更新日: 2018-03-28  

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