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マイクロ・メゾ領域を統合した結晶異方性エッチングメカニズムの研究

研究課題

研究課題/領域番号 14205016
研究種目

基盤研究(A)

配分区分補助金
応募区分一般
研究分野 応用物理学一般
研究機関名古屋大学

研究代表者

佐藤 一雄  名古屋大学, 工学研究科, 教授 (30262851)

研究分担者 式田 光宏  名古屋大学, エコトピア科学研究機構, 助教授 (80273291)
安藤 妙子  名古屋大学, 工学研究科, 助手 (70335074)
研究期間 (年度) 2002 – 2004
研究課題ステータス 完了 (2004年度)
配分額 *注記
55,120千円 (直接経費: 42,400千円、間接経費: 12,720千円)
2004年度: 4,420千円 (直接経費: 3,400千円、間接経費: 1,020千円)
2003年度: 20,670千円 (直接経費: 15,900千円、間接経費: 4,770千円)
2002年度: 30,030千円 (直接経費: 23,100千円、間接経費: 6,930千円)
キーワード結晶異方性エッチング / シリコン / 水晶 / KOH / TMAH / エッチングメカニズム / 表面モフォロジー / シミュレーション / 結晶モフォロジー
研究概要

シリコンと水晶を対象として,単結晶の化学的結晶異方性エッチングメカニズムを,メゾスコピックレベルからミクロンレベルの現象まで,統一的に解明することを目的として研究を実施した.シリコン単結晶に対する主要なエッチング液であるKOHならびにTMAH(Tetra Methyl Ammonium Hydroxide)水溶液のエッチング特性の違いをエッチングメカニズムと関連づけて明らかにした.また,エッチング液中の微量成分がエッチング特性(エッチング速度とその異方性,ならびに表面モフォロジ)を変化させる現象を実験的に研究した.一方,解析的には,シリコン表面の原子ステップ,キンクにおける原子除去確率を,表面吸着原子によるシリコン原子間結合力緩和まで考慮したモンテカルロシミュレーションをおこなって,エッチングメカニズムモデルを検証した.以上の結果,シリコン(111)近傍のエッチング速度を律速するエッチングメカニズムが解明された.(111)近傍では,原子ステップの活性がマクロ的な異方性を直接的に左右することが明らかになり,エッチング液の種類による異方性の逆転現象も説明することが出来た.また,この逆転現象はエッチング液の濃度によっても発生することが判り,エッチング液固有の特殊な問題でないことが明らかになってきた.現在,さらにシリコンの他の表面結晶方位に関して,エッチング速度を律速する過程のモデル化を追求している.
これと並行して,シリコン単結晶でこれまでに提案者が実施してきた研究手法を水晶(酸化シリコン単結晶)にも適用して,湿式エッチングにおけるエッチング速度の異方性を全方位に渉って明らかにした.この結果,水晶についても結晶異方性エッチングによるエッチング形状を3次元的に解析予測することが出来るようになった.この技術は水晶を基板材料とするMEMSデバイスの加工プロセス開発に役立てることができる.

報告書

(4件)
  • 2004 実績報告書   研究成果報告書概要
  • 2003 実績報告書
  • 2002 実績報告書
  • 研究成果

    (57件)

すべて 2004 2003 2002 その他

すべて 雑誌論文 (45件) 図書 (2件) 産業財産権 (1件) 文献書誌 (9件)

  • [雑誌論文] Difference in activated atomic steps on (111) silicon surface during KOH and TMAH etching2004

    • 著者名/発表者名
      K.Sato, T.Masuda, M.Shikida
    • 雑誌名

      Sensors and Materials 15-2

      ページ: 93-99

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2004 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Arrhenius and non Arrhenius behaviour during anisotropic etching2004

    • 著者名/発表者名
      M.A.Gosalvez, R.M.Nieminen, K.Sato
    • 雑誌名

      Proc.the 4^<th> Workshop on Physical Chemistry of Wet Etching of Silicon, May 26-28,Montreal 1

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2004 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Characterization of anisotropic etching properties of single crystal silicon ; Effects of ppb-level of Cu and Pb in KOH solution2004

    • 著者名/発表者名
      H.Tanaka, D.Cheng, M.Shikida, K.Sato
    • 雑誌名

      Proc.the 4^<th> Workshop on Physical Chemistry of Wet Etching of Silicon, May 26-28,Montreal 1

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2004 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Change in etching properties of single crystal silicon caused by the difference of surfactants added to TMAH solutions2004

    • 著者名/発表者名
      D.Cheng, K.Sato, M.Shikida
    • 雑誌名

      Proc.the 4^<th> Workshop on Physical Chemistry of Wet Etching of Silicon, May 26-28,Montreal 1

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2004 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Characterization of the orientation-dependent etching properties of quartz : Application to 3-D micromachining simulation system2004

    • 著者名/発表者名
      D.Cheng, K.Sato, M.Shikida, A.Ono, K.Sato, K.Asaumi, Y.Iriye
    • 雑誌名

      Proc.the 4^<th> Workshop on Physical Chemistry of Wet Etching of Silicon, May 26-28,Montreal 1

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2004 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Exploring the activation energy during nanoscale structural evolution in wet etching2004

    • 著者名/発表者名
      M.A.Gosalvez, K.Sato
    • 雑誌名

      Proc.2004 MHS/Micro-Nano COE International Symposium, Oct.31-Nov.2,Nagoya 1

      ページ: 127-132

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2004 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Effect of Magnesium in KOH solution on anisotropic wet etching of silicon2004

    • 著者名/発表者名
      H.Tanaka, D.Cheng, K.Inoue, M.Shikida, K.Sato
    • 雑誌名

      Proc.2004 MHS/Micro-Nano COE International Symposium, Oct.31-Nov.2,Nagoya 1

      ページ: 121-125

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2004 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Non-photolithographic pattern transfer for fabricating arrayed three-dimensional microstructures by chemical anisotropic etching2004

    • 著者名/発表者名
      M.Shikida, M.Odagaki, N.Todoroki, M.Ando, Y.Ishihara, T.Ando, K.Sato
    • 雑誌名

      Sensors and Actuators A116

      ページ: 264-271

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2004 実績報告書 2004 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Fast etching of silicon with a smooth surface in high temperature ranges near the boiling poing of KOH solution2004

    • 著者名/発表者名
      H.Tanaka, S.Yamashita, Y.Abe, M.Shikida, K.Sato
    • 雑誌名

      Sensors and Actuators A114

      ページ: 516-520

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2004 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Through-wafer interconnect technology for silicon2004

    • 著者名/発表者名
      V.G.Kutchoukov, M.Shikida, J.R.Mollinger, A.Bossche
    • 雑誌名

      Journal of Micromechanics and Microengineering 14

      ページ: 1029-1036

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2004 実績報告書 2004 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Non-photolithographic pattern transfer for fabricating pen-shaped microneedle structures2004

    • 著者名/発表者名
      M.Shikida, M.Ando, Y.Ishihara, T.Ando, K.Sato, K.Asaumi
    • 雑誌名

      Journal of Micromechanics and Microengineering 14

      ページ: 1462-1467

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2004 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Difference in activated atomic steps on (111) silicon surface during KOH and TMAH etching2004

    • 著者名/発表者名
      K.Sato.T.Masuda, M.Shikida
    • 雑誌名

      Sensors and Materials 15-2

      ページ: 93-99

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2004 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Arrhenius and non-Arrhenius behavior during anisotropic etching2004

    • 著者名/発表者名
      M.A.Gosalvez, R.M.Nieminen, K.Sato
    • 雑誌名

      Proc.the 4^<th> Workshop on Physical Chemistry of Wet Etching of Silicon, Montreal #13

      ページ: 1-6

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2004 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Characterization of anisotropic etching properties of single crystal silicon : Effects of ppb-level of Cu and Pb in KOH solution2004

    • 著者名/発表者名
      H.Tanaka, D.Cheng, M.Shikida, K.Sato
    • 雑誌名

      Proc.the 4^<th> Workshop on Physical Chemistry of Wet Etching of Silicon, Montreal #5

      ページ: 1-4

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2004 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Change in etching properties of single crystal silicon caused by the difference of surfactants added to TMAH solutions2004

    • 著者名/発表者名
      D.Cheng, K.Sato, M.Shikida
    • 雑誌名

      Proc.the 4^<th> Workshop on Physical Chemistry of Wet Etching of Silicon, Montreal #4

      ページ: 1-4

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2004 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Characterization of the orientation-dependent etching properties of quartz ; Application to 3-D micromachining simulation system2004

    • 著者名/発表者名
      D.Cheng, Kazuo Sato, M.Shikida, A.Ono, Kenji Sato, K.Asaumi, Y.Iriye
    • 雑誌名

      Proc.the 4^<th> Workshop on Physical Chemistry of Wet Etching of Silicon, Montreal #9

      ページ: 1-1

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2004 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Non-photolithographic pattern transfer for fabricating arrayed three-dimensional microstructures by chemical anisotropic etching2004

    • 著者名/発表者名
      M.Shikida, M.Odagaki, N.Todoroki, M.Ando, Y.Ishihara, T.Ando, K.Sato
    • 雑誌名

      Sensors and Actuators, A 116

      ページ: 264-271

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2004 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Fast etching of silicon with a smooth surface in high temperature ranges near the boiling point of KOH solution2004

    • 著者名/発表者名
      H.Tanaka, S.Yamashita, Y.Abe, M.Shikida, K.Sato
    • 雑誌名

      Sensors and Actuators, A 114

      ページ: 516-520

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2004 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Through-wafer interconnect technology for silicon2004

    • 著者名/発表者名
      V.G.Kutchoukov, M.Shikida, J.R.Mollinger, A.Bossche
    • 雑誌名

      J.Micromechanics and Microengineering 14

      ページ: 1029-1036

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2004 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Non-photolithographic pattern transfer for fabricating pen-shaped microneedle structures2004

    • 著者名/発表者名
      M.Shikida, M.Ando, Y.Ishihara, T.Ando, K.Sato, K.Asaumi
    • 雑誌名

      J.Micromechanics and Microengineering 14

      ページ: 1462-1467

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2004 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Characterization of anisotropic etching properties of single crystal silicon ; Effects of ppb-level of Cu and Pb in KOH solution2004

    • 著者名/発表者名
      H.Tanaka, D.Cheng, M.Shikada, K.Sato
    • 雑誌名

      Proc. the 4^<th> Workshop on Physical Chemistry of Wet Etching of Silicon, May 26-28, Montreal 1

    • 関連する報告書
      2004 実績報告書
  • [雑誌論文] Change in etching properties of single crystal silicon caused by the difference of surfactants added to TMAH solutions2004

    • 著者名/発表者名
      D.Cheng, K.Sato, M.Shikida
    • 雑誌名

      Proc. the 4^<th> Workshop on Physical Chemistry of Wet Etching of Silicon, May 26-28, Montreal 1

    • 関連する報告書
      2004 実績報告書
  • [雑誌論文] Characterization of the orientation-dependent etching properties of quartz ; Application to 3-D micromachining simulation system2004

    • 著者名/発表者名
      D.Cheng, K.Sato, M.Shikida, A.Ono, K.Sato, K.Asaumi, Y.Iriye
    • 雑誌名

      Proc. the 4^<th> Workshop on Physical Chemistry of Wet Etching of Silicon, May 26-28, Montreal 1

    • 関連する報告書
      2004 実績報告書
  • [雑誌論文] Arrhenius and non Arrhenius behaviour during anisotropic etching2004

    • 著者名/発表者名
      M.A.Gosalvez, R.M.Nieminen, K.Sato
    • 雑誌名

      Proc. the 4^<th> Workshop on Physical Chemistry of Wet Etching of Silicon, May 26-28, Montreal 1

    • 関連する報告書
      2004 実績報告書
  • [雑誌論文] Effect of Magnesium in KOH solution on anisotropic wet etching of silicon2004

    • 著者名/発表者名
      H.Tanaka, D.Cheng, K.Inoue, M.Shikida, K.Sato
    • 雑誌名

      Proc. 2004 MHS/Micro-Nano COE International Symposium, Oct.31-Nov.2, Nagoya 1

      ページ: 121-125

    • 関連する報告書
      2004 実績報告書
  • [雑誌論文] Exploring the activation energy during nanoscale structural evolution in wet etching2004

    • 著者名/発表者名
      M.A.Gosalvez, K.Sato
    • 雑誌名

      Proc. 2004 MHS/Micro-Nano COE International Symposium, Oct.31-Nov.2, Nagoya 1

      ページ: 127-132

    • 関連する報告書
      2004 実績報告書
  • [雑誌論文] Fast etching of silicon with a smooth surface in high temperature ranges near the boilinig point of KOH solution2004

    • 著者名/発表者名
      H.Tanaka, S.Yamashita, Y.Abe, M.Shikida, K.Sato
    • 雑誌名

      Sensors and Actuators A114

      ページ: 516-520

    • 関連する報告書
      2004 実績報告書
  • [雑誌論文] Non-photolithographic pattern transfer for fabricating pen-shape microneedle structures2004

    • 著者名/発表者名
      M.Shikida, M.Ando, Y.Ishihara, T.Ando, K.Sato, K.Asaumi
    • 雑誌名

      Journal of Micromechanics and Microengineering 14

      ページ: 1462-1467

    • 関連する報告書
      2004 実績報告書
  • [雑誌論文] Nano-mechanical method for seeding circular-shaped etch pits on (100) silicon surface2003

    • 著者名/発表者名
      M.Shikida, K.Kawasaki, K.Sato, Y.Ishihara, H.Tanaka, A.Matsumuro
    • 雑誌名

      Sensors and Materials 15-1

      ページ: 21-35

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2004 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Effects of ppb-level metal impurities in aqueous potassium hydroxide solution on the etching of Si{110} and {100}2003

    • 著者名/発表者名
      H.Tanaka, Y.Abe, K.Inoue, M.Shikida, K.Sato
    • 雑誌名

      Sensors and Materials 15-1

      ページ: 43-51

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2004 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Nanometer physics in microsystem research : Reversed anisotropy observed in wet chemical etching of silicon2003

    • 著者名/発表者名
      K.Sato, M.Shikida
    • 雑誌名

      Proc.the 2003 Intl.Symposium on Micromechatronics and Human Science, Nagoya 1

      ページ: 33-38

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2004 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Characterization of MEMS materials : Micro-nano physics underlying MEMS2003

    • 著者名/発表者名
      K.Sato, M.Shikida, T.Ando
    • 雑誌名

      Tech.Dig.of JSME ISMME 2003,Tsuchiura 1

      ページ: 446-454

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2004 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Non-photolithographic pattern transfer for fabricating arrayed 3-D microstructures by chemical anisotropic etching2003

    • 著者名/発表者名
      M.Shikida, M.Odagaki, N.Todoroki, M.Ando, Y.Ishihara, T.Ando, K.Sato
    • 雑誌名

      Proc.IEEE the 16^<th> Intl.Conference on Micro Electro Mechanical Systems, Kyoto 1

      ページ: 562-565

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2004 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Effects of ppb-level metal impurities in aqueous potassium hydroxide solution on the etching of Si {110} and {100}2003

    • 著者名/発表者名
      H.Tanaka, Y.Abe, K.Inoue, M.Shikida, K.Sato
    • 雑誌名

      Sensors and Materials 15-1

      ページ: 43-51

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2004 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Non-photolithographic pattern transfer for fabricating arrayed 3-D microstructures by chemical anisotropic etching2003

    • 著者名/発表者名
      M.Shikida, M.Odagaki, N.Todoroki, M.Ando, Y.Ishihara, T.Ando, K.Sato
    • 雑誌名

      Proc.IEEE the 16^<th> Intl.Conference on Micro Electro Mechanical Systems, Kyoto

      ページ: 562-565

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2004 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Differences in activated atomic steps on (111) silicon surface during KOH and TMAH etching2002

    • 著者名/発表者名
      K.Sato, T.Masuda, M.Shikida
    • 雑誌名

      Proc.the 3^<rd> Workshop on Physical Chemistry of Wet Etching of Silicon, Nara 1

      ページ: 43-46

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2004 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Nano-mechanical method for seeding circular-shaped etch pits on (100) silicon surface2002

    • 著者名/発表者名
      M.Shikida, K.Kawasaki, K.Sato, Y.Ishihara, H.Tanaka, A.Matsumuro
    • 雑誌名

      Proc.the 3^<rd> Workshop on Physical Chemistry of Wet Etching of Silicon, Nara 1

      ページ: 78-81

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2004 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] A model explaining mask-corner undercut phenomena in anisotropic silicon etching ; A saddle point in the etching-rate diagram2002

    • 著者名/発表者名
      M.Shikida, K.Nanbara, T.Koizumi, H.Sasaki, M.Odagaki, K.Sato, M.Ando, S.Furuta, K.Asaumi
    • 雑誌名

      Sensors and Actuators A97-98

      ページ: 43-46

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2004 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Differences in activated atomic steps on (111) silicon surface during KOH and TMAH etching2002

    • 著者名/発表者名
      K.Sato, T.Masuda, M.Shikida
    • 雑誌名

      Proc.the 3^<rd> Workshop on Physical Chemistry of Wet Etching of Silicon, Nara

      ページ: 43-46

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2004 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Nano-mechanical method for seeding circular-shaped etch pits on (100) silicon surface2002

    • 著者名/発表者名
      M.Shikida, K.Kawasaki, K.Sato, Y.Ishihara, H.Tanaka, A.Matsumuro
    • 雑誌名

      Proc.the 3^<rd> Workshop on Physical Chemistry of Wet Etching of Silicon, Nara

      ページ: 78-81

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2004 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] A model explaining mask-corner undercut phenomena in anisotropic silicon etching ; A saddle point in the etching-rate diagram2002

    • 著者名/発表者名
      M.Shikida, K.Nanbara, T.Koizumi, H.Sasaki, M.Odagaki, K.Sato, M.Ando, S.Furuta, K.Asaumi
    • 雑誌名

      Sensors and Actuators, A 97-98

      ページ: 758-763

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2004 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Nanometer physics in microsystem research : Reversed anisotropy observed in wet chemical etching of silicon

    • 著者名/発表者名
      K.Sato, M.Shikida
    • 雑誌名

      Proc.the 2003 Intl.Symposium on Micromechatronics and Human Science, Nagoya

      ページ: 33-38

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2004 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Characterization of MEMS materials : Micro-nano physics underlying MEMS

    • 著者名/発表者名
      K.Sato, M.Shikida, T.Ando
    • 雑誌名

      Tech.Dig.JSME ISMME 2003, Tsuchiura

      ページ: 446-454

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2004 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Exploring the activation energy during nanoscale structural evolution in wet etching

    • 著者名/発表者名
      M.A.Gosalvez, K.Sato
    • 雑誌名

      Proc.2004 MHS/Micro-Nano COE Intl.Symposium, Nagoya

      ページ: 127-132

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2004 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Effect of Magnesium in KOH solution on anisotropic wet etching of silicon

    • 著者名/発表者名
      H.Tanaka, D.Cheng, K.Inoue, M.Shikida, K.Sato
    • 雑誌名

      Proc.2004 MHS/Micro-Nano COE Intl.Symposium, Nagoya

      ページ: 121-125

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2004 研究成果報告書概要
  • [図書] マイクロ化学チップの技術と応用(北森・庄子・馬場・藤田編)2004

    • 著者名/発表者名
      佐藤一雄, 式田光宏, 他(分担執筆)
    • 総ページ数
      33
    • 出版者
      丸善株式会社
    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2004 研究成果報告書概要
  • [図書] マイクロ化学チップの技術と応用(北森・庄子・馬場・藤田編)2004

    • 著者名/発表者名
      佐藤一雄, 式田光宏(分担執筆)
    • 総ページ数
      33
    • 出版者
      丸善株式会社
    • 関連する報告書
      2004 実績報告書
  • [産業財産権] 針状構造体の作成方法2003

    • 発明者名
      佐藤 一雄, 式田 光宏, ほか
    • 権利者名
      (株)三和化学, (財)名古屋産業科学研究所
    • 産業財産権番号
      2003-055406
    • 出願年月日
      2003-03-03
    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2004 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] K.Sato, M.Shikida: "Nanometer Physics in Microsystem Research-Reversed Anisotropy Observed in Wet Chemical Etching of Silicon-"Proc.of IEEE MHS2003 (Oct.2003, Nagoya). 33-38 (2003)

    • 関連する報告書
      2003 実績報告書
  • [文献書誌] K.Sato, M.Shikida, T.Ando: "Materials Characterization in MEMS"Tech.Dig.of JSME ISMME2003 (Dec, 2003, Tsuchiura). 446-454 (2003)

    • 関連する報告書
      2003 実績報告書
  • [文献書誌] M.Shikida, K.Kawasaki, K.Sato, Y.Ishihara, H.Tanaka, A.Matsumuro: "Nano-Mechanical Method for Seeding Circular-Shaped Etch Pits on (100) Silicon Surface"Sensors and Materials. Vol.15-No.1. 21-36 (2003)

    • 関連する報告書
      2003 実績報告書
  • [文献書誌] H.Tanaka, Y.Abe, K.Inoue, M.Shikida, K.Sato: "Effect of ppb-Level Metal Impurities in Aqueous Potassium Hydroxide Solution on the Etching of Si(110) and (100)"Sensors and Materials. Vol.15-No.1. 43-51 (2003)

    • 関連する報告書
      2003 実績報告書
  • [文献書誌] K.Sato, T.Masuda, M.Shikida: "Difference in Activated Atomic Steps on (111) Silicon Surface during KOH and TMAH Etching"Sensors and Materials. Vol.15-No.2. 93-100 (2004)

    • 関連する報告書
      2003 実績報告書
  • [文献書誌] K.Sato, T.Masuda, M.Shikida: "Difference in activated atomic steps on (111) silicon surface during KOH and TMAH etching"Proc. 3^<rd> Workshop on Physical Chemistry of Wet Etching of Silicon. 43-46 (2002)

    • 関連する報告書
      2002 実績報告書
  • [文献書誌] M.Shikida, K.Kawasaki, K.Sato, Y.Ishihara, et al.: "Nano-mechanical method for seeding circular-shaped etch pits on (100) silicon surface"Proc. 3^<rd> Workshop on Physical Chemistry of Wet Etching of Silicon. 78-81 (2002)

    • 関連する報告書
      2002 実績報告書
  • [文献書誌] M.Shikida, K.Nanbara, H.Sasaki, M.Odagaki, K.Sato, et al.: "A model explaining mask-corner undercut phenomena in anisotropic silicon etching : a saddle point in the etching-rate diagram"Sensors and Actuators A : Physical. 97-98(C). 758-763 (2002)

    • 関連する報告書
      2002 実績報告書
  • [文献書誌] M.Shikida, M.Odagaki, N.Todoroki, M.Ando, et al.: "Non-photolithographic pattern transfer for fabricating arrayed 3-D microstructures by chemical anisotropic etching"Proc. 16^<th> IEEE Intl. Conference on Micro Electro Mechanical Systems. 562-565 (2003)

    • 関連する報告書
      2002 実績報告書

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公開日: 2002-04-01   更新日: 2016-04-21  

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