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メタマテリアルミリ波アンテナを搭載したモバイルマイクロTAS実現のための基礎研究

研究課題

研究課題/領域番号 14205037
研究種目

基盤研究(A)

配分区分補助金
応募区分一般
研究分野 知能機械学・機械システム
研究機関東京大学

研究代表者

鷲津 正夫  東京大学, 大学院・工学系研究科, 教授 (10201162)

研究分担者 小寺 秀俊  京都大学, 大学院・工学研究科, 教授 (20252471)
研究期間 (年度) 2002 – 2005
研究課題ステータス 完了 (2005年度)
配分額 *注記
46,280千円 (直接経費: 35,600千円、間接経費: 10,680千円)
2005年度: 5,330千円 (直接経費: 4,100千円、間接経費: 1,230千円)
2004年度: 8,970千円 (直接経費: 6,900千円、間接経費: 2,070千円)
2003年度: 12,610千円 (直接経費: 9,700千円、間接経費: 2,910千円)
2002年度: 19,370千円 (直接経費: 14,900千円、間接経費: 4,470千円)
キーワードメタマテリアル / マイクロTAS / ミリ波アンテナ / 誘電泳動 / 液滴操作 / 微小化学分析システム / 圧電材料 / モバイル / 液滴駆動 / クロマトグラフィー
研究概要

メタマテリアルとは、材料特性(電気的又は機械的)を分散させることで、部品を組み合わせたときと同じ機能を発揮させることができる材料のことである。本研究は、メタマテリアルを用いて,化学分析や生命科学研究で用いるモバイル高機能マイクロTAS(Micro Total Analysis System)を実現するための基礎技術を開発することを目的とした。具体的には,第一に,マイクロTASに必要なポンプ・フィルター・リアクター・センサー等をすべて同じ材料・同じ駆動原理で実現するために必要な要素技術開発を行うこと,また,第二に,エネルギーの供給と分析結果の取り出しを容易にするために,60GHz帯のミリ波を利用可能にすることに関する技術開発を行うことを目的とした。後者に関しては,ホトニックバンドギャップ的な発想により,ナノ誘電体材料を分散することにより全方向性ミリ波アンテナを実現するという,新たなナノ構造制御型マイクロ材料であるメタマテリアルの材料開発およびそれを利用したミリ波デバイスの開発を行った。また,モバイル高機能マイクロTAS内での液体ハンドリングの方法として,溶液を液滴の形で扱い,これを基板上に配置した電極により駆動する新しいシステムを提案し,実験的に実証した。すなわち,表面に疎水処理をした平行ストリップ電極にを用いて,液滴を自己推進(self-propelling)的に駆動するメカニズムを発見し,このメカニズムが液滴の移動後に基板上に残る水分子の吸着層が電界をシールドすることにあることを解明,さらに,その微小化学分析システムへの応用を開発した。
以上の結果,上記マイクロTASとミリ波デバイスを組み合わせることにより,容易に持ち歩くことができるマイクロTASを実現するための基盤技術が確立された。

報告書

(5件)
  • 2005 実績報告書   研究成果報告書概要
  • 2004 実績報告書
  • 2003 実績報告書
  • 2002 実績報告書
  • 研究成果

    (30件)

すべて 2005 2004 その他

すべて 雑誌論文 (19件) 産業財産権 (1件) 文献書誌 (10件)

  • [雑誌論文] Characterization of Pb(Zr, Ti)O-3 thin films deposited on stainless steel substrates by RF-magnetron sputtering for MEMS applications2005

    • 著者名/発表者名
      Suzuki T, Kanno I, Loverich JJ, Kotera H, Wasa K
    • 雑誌名

      SENSORS AND ACTUATORS A-PHYSICAL 125(2)

      ページ: 382-386

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2005 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] 圧電アクチュエータを用いた進行波バルブレスマイクロポンプの開発2005

    • 著者名/発表者名
      鈴木孝明, 秦秀敏, 新宅博文, 神野伊策, 小寺秀俊
    • 雑誌名

      日本AEM学会誌 Vol.13, No.4

      ページ: 42-47

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2005 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] DNA nanotechnology based on microsystems2005

    • 著者名/発表者名
      Masao Washizu
    • 雑誌名

      Thermal Science and Engineering Vol.13

      ページ: 19-22

    • NAID

      10014382894

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2005 実績報告書 2005 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Self-propulsion of a water droplet in an electric field2005

    • 著者名/発表者名
      Masahide Gunji, Masao Washizu
    • 雑誌名

      J. Phys. D : Appl. Phys. vol.38

      ページ: 2417-2423

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2005 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Biological applications of electrostatic surface field effects2005

    • 著者名/発表者名
      Masao Washizu
    • 雑誌名

      Journal of Electrostatics Vol.63

      ページ: 795-802

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2005 実績報告書 2005 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Local in-situ Hydrophilic Treatment of Micro-channel Using Surface Discharge2005

    • 著者名/発表者名
      Masahide Gunji, Hiroaki Nakanishi, Masao Washizu
    • 雑誌名

      Proc. Transducers05

      ページ: 1187-1190

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2005 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Characterization of Pb(Zr, Ti)O_3 Thin Films Deposited on Stainless Steel Substrates by RF-Magnetron Sputtering for MEMS Applications2005

    • 著者名/発表者名
      Suzuki T, Kanno I, Loverich JJ, Kotera H, Wasa K
    • 雑誌名

      Sensors & Actuators A. Physical Vol.125(2)

      ページ: 382-386

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2005 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Development of a traveling field valveless micropump based on piezo actuators (In Japanese)2005

    • 著者名/発表者名
      Suzuki T, Hata H, Shintaku T, Kanno I, Kotera H
    • 雑誌名

      J.AEM Society Japan Vol.13,No.4

      ページ: 42-47

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2005 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] DNA nanotechnology based on microsystems2005

    • 著者名/発表者名
      Masao Washizu
    • 雑誌名

      Thermal Science and Engineering Vol.13,No.1

      ページ: 19-22

    • NAID

      10014382894

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2005 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Self-propulsion of a water droplet in an electric field2005

    • 著者名/発表者名
      Masahide Gunji, Masao Washizu
    • 雑誌名

      J.Phys.D : Appl.Phys. vol.38

      ページ: 2417-2423

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2005 実績報告書 2005 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Characterization of Pb(Zr,Ti)O-3 thin films deposited on stainless steel substrates by RF-magnetron sputtering for MEMS applications2005

    • 著者名/発表者名
      Suzuki T, Kanno I, Loverich JJ, Kotera H, Wasa K
    • 雑誌名

      SENSORS AND ACTUATORS A-PHYSICAL 125(2)

      ページ: 382-386

    • 関連する報告書
      2005 実績報告書
  • [雑誌論文] 圧電アクチュエータを用いた進行波バルブレスマイクロポンプの開発2005

    • 著者名/発表者名
      鈴木孝明, 秦秀敏, 新宅博文, 神野伊策, 小寺秀俊
    • 雑誌名

      日本AEM学会誌 Vol.13,No.4

      ページ: 42-47

    • 関連する報告書
      2005 実績報告書
  • [雑誌論文] Local in-situ Hydrophilic Treatment of Micro-channel Using Surface Discharge2005

    • 著者名/発表者名
      Masahide Gunji, Hiroaki Nakanishi, Masao Washizu
    • 雑誌名

      Proc.Transducers05

      ページ: 1187-1190

    • 関連する報告書
      2005 実績報告書
  • [雑誌論文] 粘性流体中での誘電泳動による液体輸送2005

    • 著者名/発表者名
      伊藤友仁, 軍司昌秀, 鷲津正夫, T.B.ジョーンズ
    • 雑誌名

      静電気学会誌 Vol.29,No.1

      ページ: 14-19

    • NAID

      10014488706

    • 関連する報告書
      2004 実績報告書
  • [雑誌論文] 単相交流電圧による液滴の静電操作2005

    • 著者名/発表者名
      軍司昌秀, 中西博昭, 鷲津正夫
    • 雑誌名

      静電気学会誌 Vol.29,No.1

      ページ: 2-7

    • NAID

      10014488681

    • 関連する報告書
      2004 実績報告書
  • [雑誌論文] THERMODYNAMIC STUDY OF C-AXIS-ORIENTATED EPITAXIAL PB(ZR, TI)O3 THIN FILMS2004

    • 著者名/発表者名
      Isaku Kanno, Yu Yokokawa, Hidetosh Kotera
    • 雑誌名

      Physical Review B 69・6

    • 関連する報告書
      2004 実績報告書
  • [雑誌論文] Low-Voltage Actuation of RF-MEMS Switch Using Piezoelectric PZT Thin Films2004

    • 著者名/発表者名
      Isaku Kamo, Hironobu Endo, Hidetoshi Kotera
    • 雑誌名

      Production von Leiterplatten Und Systemen 3

      ページ: 457-459

    • 関連する報告書
      2004 実績報告書
  • [雑誌論文] HIGH-EFFICIENT MICROPUMP WITH GEOMETRY OPTIMIZATION OF MICROCHANNEL USING COMPUTATIONAL FLUID DYNAMICS2004

    • 著者名/発表者名
      T.Suzuki, Kanno, S.Kawano, S.Yakushiji, H.Kotera
    • 雑誌名

      Proc. 8th Intl. Conf. on Miniaturized Systems in Chemistry and Life Sciences (μ-TAS2004) vol.1

      ページ: 234-236

    • 関連する報告書
      2004 実績報告書
  • [雑誌論文] Droplet actuation based on single-phase electrostatic excitation2004

    • 著者名/発表者名
      Masahide Gunji, Hiroaki Nakanishi, Masao Washizu
    • 雑誌名

      Proc. 8th Intl. Conf. on Miniaturized Systems in Chemistry and Life Sciences (μ-TAS2004) vol.1

      ページ: 168-170

    • NAID

      10014488681

    • 関連する報告書
      2004 実績報告書
  • [産業財産権] 細胞内物質導入装置,細胞クランプ装置及び流路の形成方法2005

    • 発明者名
      小寺秀俊, 神野伊策, 鈴木孝明, 鷲津正夫
    • 権利者名
      京都大学TLO
    • 産業財産権番号
      2005-077817
    • 出願年月日
      2005-03-17
    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2005 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] Isaku Kanno, Hidetoshi Kotera, Kiyotaka Wasa, Toshiyuki Matsunaga, Takeshi Kamada, Ryouichi Takayama: "Crystallographic characterization of epitaxial Pb(Zr, Ti)O3 films with different Zr/Ti ratio grown by radio-frequency-magnetron sputtering"Journal of Applied Physics. 93. 4091-4096 (2003)

    • 関連する報告書
      2003 実績報告書
  • [文献書誌] Isaku Kanno, Hidetoshi Kotera, Kiyotaka Wasa: "Measurement of transverse piezoelectric properties of PZT thin film"Sensor and Atuator. A107. 68-74 (2003)

    • 関連する報告書
      2003 実績報告書
  • [文献書誌] Isaku Kanno, Yu Yokoyama, Hidetoshi Kotera, Kiyotaka Wasa: "Thermodynamic study of c-axis-oriented epitaxial Pb (Zr, Ti)O3 thin films"Physical Review B. 69. 064103 (2004)

    • 関連する報告書
      2003 実績報告書
  • [文献書誌] Satoyuki Kawano, Hirofumi Shintaku, Isaku Kanno, Hidetoshi Kotera: "Kelvin-Helmholtz Instability Theory in Development of Microfluidic Mixing System"Micro System Technologies2003. 571-573 (2003)

    • 関連する報告書
      2003 実績報告書
  • [文献書誌] Isaku Kanno, Hidetoshi Kotera, Kiyotaka Wasa, Toshiyuki Matsunaga, Takeshi Kamada, Ryoichi Takayama: "Anomalous Crystalline Structure of Epitaxial Pb(Zr, Ti)O3 Films Grown on (100)Pt/(100)MgO by RF-Magnetron Sputtering"Journal of the Korean Physical Society. 42. S1317-S1321 (2003)

    • 関連する報告書
      2003 実績報告書
  • [文献書誌] Masahide Gunji, Masao Washizu: "DEP liquid actuator and mixer on a heat-conducting substrate"Proceedings ESA-IEEE Joint Meeting on Electrostatics 2003. 54-65 (2003)

    • 関連する報告書
      2003 実績報告書
  • [文献書誌] S.Yakushiji, I.Kanno, H.Kotera: "Bi-Directional valv-less micropump using piezoelectric micro-array actuators"Proc.Micro total analysis systems 2002. 148-150 (2002)

    • 関連する報告書
      2002 実績報告書
  • [文献書誌] H.Sano, H.Kabata, 0.Kurosawa, M.Washizu: "Dielectrohporetic Chromatography with Cross-Flow Injection"Technical Digest of The Fifteenth IEEE MEMS. 11-14 (2002)

    • 関連する報告書
      2002 実績報告書
  • [文献書誌] M.Gunji, T.B.Jones, M.Washizu: "DEP-driven simultaneous 2x2 droplet mixer array"Proc.Micro total analysis systems 2002. 721-723 (2002)

    • 関連する報告書
      2002 実績報告書
  • [文献書誌] 鷲津正夫: "ポストゲノムとバイオナノテクノロジー"機械学会第14回バイオエンジニアリング講演会講演論文集. 5-8 (2002)

    • 関連する報告書
      2002 実績報告書

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公開日: 2002-04-01   更新日: 2016-04-21  

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