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Siナノ構造を用いた消化器系診断in-vivo粒状チップの創製

研究課題

研究課題/領域番号 14208101
研究種目

基盤研究(A)

配分区分補助金
応募区分一般
研究分野 医用生体工学・生体材料学
研究機関独立行政法人物質・材料研究機構 (2003-2004)
東京大学 (2002)

研究代表者

堀池 靖浩  独立行政法人物質・材料研究機構, 生体材料研究センター, フェロー (20209274)

研究分担者 葛谷 昌之  岐阜薬科大学, 薬学部, 教授 (10082984)
益 一哉  国立大学法人東京工業大学, 精密工学研究所, 教授 (20157192)
高村 禅  国立大学法人北陸先端科学技術大学院大学, 材料科学研究科, 助教授 (20290877)
中瀬 博之  国立大学法人東北大学, 電気通信研究所, 助手 (60312675)
研究期間 (年度) 2002 – 2004
研究課題ステータス 完了 (2004年度)
配分額 *注記
53,170千円 (直接経費: 40,900千円、間接経費: 12,270千円)
2004年度: 22,880千円 (直接経費: 17,600千円、間接経費: 5,280千円)
2003年度: 13,520千円 (直接経費: 10,400千円、間接経費: 3,120千円)
2002年度: 16,770千円 (直接経費: 12,900千円、間接経費: 3,870千円)
キーワードin-vivoの診断 / ドラッグ・デリバリ・システム / テーラーメード治療 / マイクロ通信チップ / 高出力マイクロ電源 / pHセンシング / マイクロ分析化学システム / 高感度マイクロ送受信アンテナ / in-vivo診断 / pH敏感ドラッグデリバリーシステム / インターコネクション / 電気浸透流ポンプ / 送受信マイクロチップ / 消化器系診断 / ワイヤレス通信チップ / in vivo診断 / 超低電圧駆動電気浸透流ポンプ
研究概要

ワイヤレス通信チップとして、ディジタル回路のみを用いたオールディジタルワイヤレスモデムの提案、設計、試作を行なった。提案するオールディジタルモデムは、LSIで用いるクロックを無線通信のキャリアとして用いることにより送受信回路をディジタル論理回路素子のみで構成し、超小型・超低消費電力動作を実現した。また、in-vivoチップに求められる。全二重通信機能を実装し、その動作を確認した。0.18μmCMOSプロセスを用いて試作したLSIはコアサイズが160×164μmと超小型を実現しその消費電力は108.48μMHzクロック動作で0.6mWと低消費電力動作であることを確認した。カプセルと錠剤の2種類のアンテナ構造にフェライトコアの有無を加えた、4種類の服用型デバイスについて結合係数を比較し、錠剤型でフェライトコアを用いた場合が最も効率よく更新できることを見出した。Ansoft社の電磁界解析シミュレータ(Q3D Extracter)を用いてアンテナ特性の解析を行い、実利用時におけるアンテナコイルの特性と結合係数の挙動について調べた。Siチップ上に送信側と受信側のアンテナコイルを試作し、実測による電磁誘導伝送を示した。振幅変調・周波数変調・位相変調・パルス間隔変調の各変調方式についてノイズ耐性・消費電力の観点から比較したところ、パルス間隔変調がin-vivoチップシステムに適していることを示した。0.35μm Si CMOSプロセスで送受信回路を試作し、実測とシミュレーションによる解析を行った。各回路プロックの実測結果から、半波整流昇圧回路は設計値通り動作することが確認できた。電圧制限回路中の寄生バイポーラトランジスタの影響により設計された動作に至らなかったため、重圧制限回路には例えば寄生バイポーラトランジスタを持たない整流動作が可能なMOSダイオード回路を検討する必要があることを明らかにした。またpH敏感DDS研究については、許認可の医薬品添加物を用いて放出時間制御型および胃内浮遊型DDSの開発を行ない、プラズマ照射条件(照射出力や時間など)により薬物放出までのラグタイムや放出速度の制御が可能であることを見出し、個々人の生体内環境に即した薬物放出性を持つDDS構築がプラズマにより達成できることを明らかにした。

報告書

(4件)
  • 2004 実績報告書   研究成果報告書概要
  • 2003 実績報告書
  • 2002 実績報告書
  • 研究成果

    (109件)

すべて 2005 2004 2003 2002 その他

すべて 雑誌論文 (85件) 図書 (6件) 文献書誌 (18件)

  • [雑誌論文] Wide Tuning Range LC-VCO Using Variable Inductor for Reconfigurable RF Circuit2005

    • 著者名/発表者名
      Y.Yoshihara, et al.
    • 雑誌名

      IEIECE Transactions on Fundamentals of Electronics, Communications and Computer Sciences E-88A(2)

      ページ: 517-512

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2004 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] NANO-BAIO JITEN2005

    • 著者名/発表者名
      A.Oki, et al.
    • 雑誌名

      Techno-system Corp. (in press)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2004 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Coming of Highly Aged Society and Creation of Healthcare chip2005

    • 著者名/発表者名
      Y.Horiike, et al.
    • 雑誌名

      HYOUMENGIJYUTSU 55(6)

      ページ: 385-390

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2004 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Wide Tuning Range LC-VCO Using Variable Inductor for Reconfigurable RF Circuit2005

    • 著者名/発表者名
      Y.Yoshihara, et al.
    • 雑誌名

      EIECE Transactions on Fundamentals of Electronics, Communications and Computer Sciences E-88A(2)

      ページ: 507-512

    • 関連する報告書
      2004 実績報告書
  • [雑誌論文] Difference in Surface Radical Formation on Organic Polymers between Pulsed-and CW-Plasma Irradiation2005

    • 著者名/発表者名
      T.Sawa, et al.
    • 雑誌名

      Chem.Pharm.Bull. (In Press)

    • 関連する報告書
      2004 実績報告書
  • [雑誌論文] High Density Differential Transmission Line Structure on Si ULSI2004

    • 著者名/発表者名
      H.Ito, et al.
    • 雑誌名

      IEICE Transactions on Electronics E87-C(6)

      ページ: 942-948

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2004 実績報告書 2004 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Variable RF Inductor on Si CMOS Chip2004

    • 著者名/発表者名
      H.Sugawara, et al.
    • 雑誌名

      Jpn. J. Appl. Phys. 43(4B)

      ページ: 2293-2296

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2004 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] The dynamic observation of the field emission site on electrons on a carbon nanotube tip2004

    • 著者名/発表者名
      H.Yoshiki, et al.
    • 雑誌名

      DIAMOND AND RELATED MATERIALS 13

      ページ: 1209-1213

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2004 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] 同時多項目測定ヘルスケアチップ用マイクログルコースセンサーの創製2004

    • 著者名/発表者名
      高井まどか, et al.
    • 雑誌名

      KOBUNSHI RONBUNSHU 61(1)

      ページ: 555-560

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2004 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] 無痛針採血による在宅健康診断チップ2004

    • 著者名/発表者名
      堀池靖浩
    • 雑誌名

      自動車技術 58(7)

      ページ: 116-117

    • NAID

      10013272134

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2004 実績報告書 2004 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] 高齢化社会の到来とヘルスケアチップの創製-ドライエッチング技術の展開-2004

    • 著者名/発表者名
      堀池靖浩, et al.
    • 雑誌名

      表面技術 55(6)

      ページ: 385-390

    • NAID

      10013272139

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2004 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Development of healthcare chips checking life-style-related disease2004

    • 著者名/発表者名
      A.Oki, et al.
    • 雑誌名

      Materials Science and Engineering C 24(6-8)

      ページ: 837-843

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2004 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] 医療用バイオチップの現状と将来希望2004

    • 著者名/発表者名
      沖 明男, et al.
    • 雑誌名

      電気学会誌 124(4)

      ページ: 219-222

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2004 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] ヘルスケアチップの開発2004

    • 著者名/発表者名
      小川洋輝, et al.
    • 雑誌名

      化学装置 9

      ページ: 81-85

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2004 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Fast Separation of Long DNA Molecules by Nanopillar Chips under a Direct Current Electric Field2004

    • 著者名/発表者名
      N.Kaji, et al.
    • 雑誌名

      Anal. Chem. 76(1)

      ページ: 15-22

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2004 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Curvature entropy trapping of long DNA under hydrodynamic flows in microfluidic devices2004

    • 著者名/発表者名
      m.Ueda, et al.
    • 雑誌名

      Jpn. J. Appl. Phys. 43(4A)

      ページ: 1649-1650

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2004 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Sodium Carboxylate Effect of Non-Crosslinked Hydrogel on Plasma-Induced Radical Formation as Studied by Electron Spin Resonance2004

    • 著者名/発表者名
      M.Kuzuya, et al.
    • 雑誌名

      Thin Solid Films 457

      ページ: 12-19

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2004 実績報告書 2004 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Preparation of Floating Drug Delivery System by Pulsed-Plasma Techniques2004

    • 著者名/発表者名
      S.Kondo, et al.
    • 雑誌名

      J. Photopolym. Sci. Technol. 17(2)

      ページ: 149-152

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2004 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Development of Patient-Tailored Drug Delivery System by Plasma Techniques2004

    • 著者名/発表者名
      Y.Sasaki, et al.
    • 雑誌名

      J. Photopolym 17(2)

      ページ: 185-188

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2004 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Nature of Mechanoradical Formation of Substituted Celluloses as Studied by Electron Spin Resonance2004

    • 著者名/発表者名
      Y.Sasai, et al.
    • 雑誌名

      Chem.Pharm.Bull. 52(3)

      ページ: 339-344

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2004 実績報告書 2004 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] ステンレス製容器を用いたメカノケミカル個相反応によるリボフラビンラジカルの生成2004

    • 著者名/発表者名
      近藤伸一, et al.
    • 雑誌名

      YAKUGAKU ZASSHI 124(3)

      ページ: 141-148

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2004 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Novel and Simple Preparation Method of Matrix-Type Composite Particles for Controlled Drug Release by Mechanical Action2004

    • 著者名/発表者名
      S.Kondo, et a.
    • 雑誌名

      Chem. Pharm. Bull. 52(4)

      ページ: 488-489

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2004 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Mechanism of cloudy surface generation on Si wafer employing numerically controlled local dry etching (NC-LDE)2004

    • 著者名/発表者名
      M.Yanagisawa, et al.
    • 雑誌名

      Jpn. J App. Phys. 43(1)

      ページ: 19-22

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2004 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Localized and ultrahigh-rate etching of silicon wafers using atmospheric-pressure microplasma jets2004

    • 著者名/発表者名
      T.Ishiki, et al.
    • 雑誌名

      Jpn. J. Appl. Phys. 95(1)

      ページ: 35-39

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2004 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Electrophoresis of long dexyribonucleic acid in curved channels : The effect of channel width on migration dynamics2004

    • 著者名/発表者名
      M.Ueda, et al.
    • 雑誌名

      Journal of Applied Physics 96(5)

      ページ: 2973-2944

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2004 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Curbature EntropyTrapping of Long DNA under Hydrodynamic Flows in Microfluidic Devices2004

    • 著者名/発表者名
      M.Ueda, et al.
    • 雑誌名

      Journal of Applied Physics 43(4)

      ページ: 1649-1650

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2004 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Mechanochemical Solid-State Polymerization (XI) : Effect of Water-Insoluble Pharmaceutical Aids on Drug Release from Mechanically Synthesized Polymeric Prodrugs2004

    • 著者名/発表者名
      S.Kondo, et al.
    • 雑誌名

      Chem. Pharm. Bull. 52(11)

      ページ: 1302-1306

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2004 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Variable RF Inductor on Si CMOS Chip2004

    • 著者名/発表者名
      H.Sugawara, et al.
    • 雑誌名

      Jpn.J.Appl.Phys. 43(4B)

      ページ: 2293-2296

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2004 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Creation of Micro glucose sensor for Healthcarechip2004

    • 著者名/発表者名
      M.Takai, et al.
    • 雑誌名

      KOBUNSHI RONBUNSHU 61(1)

      ページ: 555-560

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2004 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Home Diagnostic Chip employing Painless Needle2004

    • 著者名/発表者名
      Y.Horiike
    • 雑誌名

      JIDOUSHA GIJYUTSU 58(7)

      ページ: 116-117

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2004 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Current Situation and Future view of Biochip for Medical Treatment2004

    • 著者名/発表者名
      A.Oki, et al.
    • 雑誌名

      DENKI GAKKAI-SI 124(4)

      ページ: 219-222

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2004 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Development of Healthcare Chip2004

    • 著者名/発表者名
      H.Ogawa, et al.
    • 雑誌名

      KAGAKUSOUCHI 9

      ページ: 81-85

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2004 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Fast Separation of Long DNA Molecules by Nanopillar Chips under a Direct Current Electric Field2004

    • 著者名/発表者名
      N.Kaji, et al.
    • 雑誌名

      Anal.Chem. 76(1)

      ページ: 15-22

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2004 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Localized and ultrahigh-rate etching of silicon wafers using atmospheric-pressure microplasma jets2004

    • 著者名/発表者名
      T.Ichiki, et al.
    • 雑誌名

      Jpn.J.Appl.Phys. 95(1)

      ページ: 35-39

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2004 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Sodium Carboxyl ate Effect of Non-Crosslinked Hydrogel on Plasma-Induced Radical Formation as Studied by Electron Spin Resonance2004

    • 著者名/発表者名
      M.Kuzuya, et al.
    • 雑誌名

      Thin Solid Films 457

      ページ: 12-19

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2004 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Preparation of Floating Drug Delivery System by Pulsed-Plasma Techniques2004

    • 著者名/発表者名
      S.Kondo, et al.
    • 雑誌名

      J.Photopolym.Sci.Technol. 17(2)

      ページ: 149-152

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2004 実績報告書 2004 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Development of Patient-Tailored Drug Delivery System by Plasma Techniques2004

    • 著者名/発表者名
      Y.Sasai, et al.
    • 雑誌名

      J.Photopolym.Sci.Technol. 17(2)

      ページ: 185-188

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2004 実績報告書 2004 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Generation of riboflavin radical by solid phase reaction of Mechano-chemical using stainless-steel vessel2004

    • 著者名/発表者名
      S Kondo, et al.
    • 雑誌名

      DENKI GAKKAI-SI 124(4)

      ページ: 219-222

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2004 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Novel and Simple Preparation Method of Matrix-Type Composite Particles for Controlled Drug Release by Mechanical Action2004

    • 著者名/発表者名
      S.Kondo, et al.
    • 雑誌名

      Chem.Pharm.Bull. 52(4)

      ページ: 488-489

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2004 実績報告書 2004 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Mechanism of cloudy surface generation on Si wafer employing numerically controlled local dry etching (NC-LDE)2004

    • 著者名/発表者名
      M.Yanagisawa, et al.
    • 雑誌名

      Jpn.J App.Phys. 43(1)

      ページ: 19-22

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2004 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Electrophoresis of long deoxyribonucleic acid in curved channels : The effect of channel width on migration dynamics2004

    • 著者名/発表者名
      M.Ueda, et al.
    • 雑誌名

      Journal of Applied Physics 96(5)

      ページ: 2973-2944

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2004 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Curbature Entropy Trapping of Long DNA under Hydrodynamic Flows in Microfluidic Devices2004

    • 著者名/発表者名
      M.Ueda, et al.
    • 雑誌名

      Journal of Applied Physics 43(4)

      ページ: 1649-1650

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2004 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Mechanochemical Solid-State Polymerization (XI) : Effect of Water-Insoluble Pharmaceutical Aids on Drug Release from Mechanically Synthesized Polymeric Prodrugs2004

    • 著者名/発表者名
      S.Kondo, et al.
    • 雑誌名

      Chem.Pharm.Bull. 52(11)

      ページ: 1302-1306

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2004 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Inductance-Tuned LC-VCO for Reconfigurable RF Circuit Design2004

    • 著者名/発表者名
      Y.Yoshihara, et al.
    • 雑誌名

      IEIECE Electronics Express 1(7)

      ページ: 156-159

    • 関連する報告書
      2004 実績報告書
  • [雑誌論文] Variable RF Inductor on Si CMOS Chip2004

    • 著者名/発表者名
      H.Sugawara, et al.
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics 43(4B)

      ページ: 2293-2296

    • 関連する報告書
      2004 実績報告書
  • [雑誌論文] Development of healthcare chips checking life-style-related diseases2004

    • 著者名/発表者名
      A.Oki, et al.
    • 雑誌名

      Materials Science and Engineering C 24(6-8)

      ページ: 837-843

    • 関連する報告書
      2004 実績報告書
  • [雑誌論文] 同時多項目測定ヘルスケアチップ用マイクログルコースセンサーの創製2004

    • 著者名/発表者名
      高井まどか他
    • 雑誌名

      KOBUNSHI RONBUNSHU 61(1)

      ページ: 555-560

    • 関連する報告書
      2004 実績報告書
  • [雑誌論文] ステンレス製容器を用いたメカノケミカル固相反応によるリボフラビンラジカルの生成2004

    • 著者名/発表者名
      近藤伸一 他
    • 雑誌名

      YAKUGAKU ZASSHI 124(3)

      ページ: 141-148

    • 関連する報告書
      2004 実績報告書
  • [雑誌論文] Mechanochemical Solid-State Polymerization(XI) : Effect of water-Insoluble Pharmaceutical Aids on Drug Release from Mechanically Synthesized Polymeric Prodrugs2004

    • 著者名/発表者名
      S.Kondo, et al.
    • 雑誌名

      Chem. Pharm. Bull. 52(11)

      ページ: 1302-1306

    • 関連する報告書
      2004 実績報告書
  • [雑誌論文] 高齢化社会の到来とヘルスケアチップの創製-ドライエッチング技術の展開-2004

    • 著者名/発表者名
      堀池靖浩
    • 雑誌名

      表面技術 55(6)

      ページ: 385-390

    • NAID

      10013272139

    • 関連する報告書
      2004 実績報告書
  • [雑誌論文] プラズマプロセスによるバイオチップの開発と展望2004

    • 著者名/発表者名
      堀池靖浩 他
    • 雑誌名

      応用物理 73(4)

      ページ: 470-475

    • NAID

      10012857398

    • 関連する報告書
      2004 実績報告書
  • [雑誌論文] 医療用バイオチップの現状と将来展望2004

    • 著者名/発表者名
      沖 明男 他
    • 雑誌名

      電気学会誌 124(4)

      ページ: 219-222

    • 関連する報告書
      2004 実績報告書
  • [雑誌論文] ヘルスケアチップの開発2004

    • 著者名/発表者名
      小川 洋輝 他
    • 雑誌名

      化学装置 9

      ページ: 81-85

    • 関連する報告書
      2004 実績報告書
  • [雑誌論文] 特集:健康を守る21世紀の静電気応用技術 プラズマの医薬品工学への応用2003

    • 著者名/発表者名
      葛谷昌之
    • 雑誌名

      静電気学会誌 28(2)

      ページ: 101-107

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2004 実績報告書 2004 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Generation of Integrated Atomospheric-Pressure Microplasma2003

    • 著者名/発表者名
      K.Taniguchi, et al.
    • 雑誌名

      Jpn. J. Phys. 42(3B)

      ページ: 6584-6589

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2004 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Deep Dry Etching of Quartz Plate Over 100μm in Depth Employing Ultra-Thick Photoresist (SU-8)2003

    • 著者名/発表者名
      T.Fukasawa, et al.
    • 雑誌名

      Jpn. J. Appl. Phys. 42

      ページ: 3702-3706

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2004 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Deep dry etching of borosilicate glass using fluorine-based high-density plasmas for microelectrochemical system fabrication2003

    • 著者名/発表者名
      T.Ichiki, et al.
    • 雑誌名

      J. Vac. Sci. Tech. B 21(5)

      ページ: 2188-2192

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2004 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Numerically Controlled Dry Etching Technology for Flattening of Si Wafer which Employs SF_6/H_2 Downstream Plasma2003

    • 著者名/発表者名
      M.Yanagisawa, et al.
    • 雑誌名

      Jpn. J. Appl. Phys. 41

      ページ: 2791-2795

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2004 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Biochip Which Examines Hepatic Function by Employing Colorimetric Method2003

    • 著者名/発表者名
      A.Oki, et al.
    • 雑誌名

      Jpn. J. Appl. Phys. 42(3B)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2004 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Healthcare Chip Checking Health Condition from Analysis of Trace Blood Collected by Painless Needle2003

    • 著者名/発表者名
      A.Pki, et al.
    • 雑誌名

      Jpn. Appl. Phys. 42(20)

      ページ: 3722-3727

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2004 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Low-voltage electroosmosis pump for stand-alone microfluidics devices2003

    • 著者名/発表者名
      Y.Takamura, et al.
    • 雑誌名

      Electrophoresis 24

      ページ: 185-192

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2004 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Fluorescence Emission Control of Long Molecules Adsorbed on Microelectrode Surface by External Voltage2003

    • 著者名/発表者名
      M.Ueda, et al.
    • 雑誌名

      Jpn. J. Appl. Phys. 42

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2004 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] 21th century Applied Technology for the Protection of people's health2003

    • 著者名/発表者名
      M.Kuzuya
    • 雑誌名

      SEIDENKI GAKKAI-SHI 28(2)

      ページ: 101-107

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2004 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Healthcare Chip for Checking Health Condition from Analysis of Trace Blood Collected by Painless Needle2003

    • 著者名/発表者名
      A.Oki, et al.
    • 雑誌名

      Jpn.J.Appl.Phys. 42

      ページ: 3722-3727

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2004 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Biochip Which Examines Hepatic Function by Employing Colorimetric Method2003

    • 著者名/発表者名
      A.Oki, et al.
    • 雑誌名

      Jpn.J.Appl.Phys. 42(3B)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2004 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Generation of Integrated Atomospheric-Pressure Microplasma2003

    • 著者名/発表者名
      K.Taniguchi, et al.
    • 雑誌名

      Jpn.J.Appl.Phys. 42(3B)

      ページ: 6584-6589

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2004 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Deep dry etching of borosilicate glass using fluorine-based high-density plasmas for micro electrochemical system fabrication2003

    • 著者名/発表者名
      T.Ichiki, et al.
    • 雑誌名

      J.Vac.Sci.Tech.B 21(5)

      ページ: 2188-2192

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2004 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Deep Dry Etching of Quartz Plate Over 100 μm in Depth Employing Ultra-Thick Photoresist (SU-8)2003

    • 著者名/発表者名
      T.Fukasawa, et al.
    • 雑誌名

      Jpn.J.Appl.Phys. 42

      ページ: 3702-3706

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2004 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Localized Removal of a Photoresist by Atmospheric Pressure Micro-plasma Jet Using RF Corona Discharge2003

    • 著者名/発表者名
      H.Yoshiki, et al.
    • 雑誌名

      Jpn.J.Appl.Phys. 41

      ページ: 5797-5798

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2004 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Generation of a capacitively coupled microplasma and its application2002

    • 著者名/発表者名
      H.Yoshiki, et al.
    • 雑誌名

      J. Vac. Sci. Technol. A20(1)

      ページ: 24-29

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2004 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Inner wall modification of a poly (ethylene terephthalate) (PET) capillary by 13.56 MHz capacitively coupled microplasma2002

    • 著者名/発表者名
      H.Yoshiki, et al.
    • 雑誌名

      Thin solid films 407

      ページ: 156-162

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2004 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Dry Cleaning Technology for Removal of Silicon Native Oxide Employing Hot NH_3/NF_3 Exposure2002

    • 著者名/発表者名
      H.Ogawa, et al.
    • 雑誌名

      Jpn. J. Appl. Phys. 41

      ページ: 5349-5358

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2004 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Localized Removal of a Photoresist by Atmospheric Pressure Micro-plasma Jet Using RF Corona Discharge2002

    • 著者名/発表者名
      H.Yoshiki, et al.
    • 雑誌名

      Jpn. J. Appl. Phys. 41

      ページ: 5797-5798

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2004 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Immunoelectrophoresis of red bllod cells performed on microcapillary chips2002

    • 著者名/発表者名
      T.Ichiki, et al.
    • 雑誌名

      Electrophoresis 23

      ページ: 2029-2034

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2004 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Microchip Technologies for the Analysis of Biological Cells2002

    • 著者名/発表者名
      T.Ichiki, et al.
    • 雑誌名

      J. Photopolymer Sci. Technol 15

      ページ: 487-492

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2004 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Miniaturied Capillary Electrophoresis fabricated on Pyrex Glass Chips Using Deep Dry Etching and Anodic Bonding2002

    • 著者名/発表者名
      T.Ishiki, et al.
    • 雑誌名

      J. Photopolymer Sci. Technol. 15

      ページ: 311-316

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2004 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] pH Change of buffer solution in a microcapillary chip and its suppression2002

    • 著者名/発表者名
      A.oki, et al.
    • 雑誌名

      Electrophoresis 23

      ページ: 2860-2864

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2004 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Dry Cleaning Technology for Removal of Silicon Native Oxide Employing Hot NH_3/NF_3 Exposure2002

    • 著者名/発表者名
      H.Ogawa, et al.
    • 雑誌名

      Jpn.J.Appl.Phys. 41

      ページ: 5349-5358

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2004 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] pH Change of buffer solution in a microcapillary chip and its suppression2002

    • 著者名/発表者名
      A.Oki, et al.
    • 雑誌名

      Electrophoresis 23

      ページ: 2860-2864

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2004 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Numerically Controlled Dry Etching Technology for Flattening of Si Wafer which Employs SF_6/H_2 Downstream Plasma2002

    • 著者名/発表者名
      M.Yanagisawa, et al.
    • 雑誌名

      Jpn.J.Appl.Phys. 41

      ページ: 2791-2795

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2004 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Generation of a capacitively coupled microplasma and its application2002

    • 著者名/発表者名
      H.Yoshiki, et al.
    • 雑誌名

      J.Vac.Sci.Technol. A20(1)

      ページ: 24-29

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2004 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Inner wall modification of a poly(ethylene terephthalate) (PET) capillary by 13.56 MHz capacitively coupled microplasma2002

    • 著者名/発表者名
      H.Yoshiki, et al.
    • 雑誌名

      Thin solid films 407

      ページ: 156-162

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2004 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Microchip Technologies for the Analysis of Biological Cells2002

    • 著者名/発表者名
      T.Ichiki, et al.
    • 雑誌名

      J.Photopolymer Sci.Technol. 15

      ページ: 487-492

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2004 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Miniaturized Capillary Electrophoresis Fabricated on Pyrex Glass Chips Using Deep Dry Etching and Anodic Bonding2002

    • 著者名/発表者名
      T.Ichiki, et al.
    • 雑誌名

      J.Photopolymer Sci.Technol. 15

      ページ: 311-316

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2004 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Difference in Surface Radical Formation on Organic Polymers between Pulsed- and CW-Plasma Irradiation

    • 著者名/発表者名
      T.Samoa, et al.
    • 雑誌名

      Chem. Pharm. Bull. (InPress)

    • 関連する報告書
      2004 実績報告書
  • [図書] ナノバイオ辞典2005

    • 著者名/発表者名
      沖 明男, et al. (分担執筆)
    • 出版者
      テクノシステム(印刷中)
    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2004 研究成果報告書概要
  • [図書] ナノバイオ辞典2005

    • 著者名/発表者名
      沖 明男
    • 出版者
      テクノシステム(印刷中)
    • 関連する報告書
      2004 実績報告書
  • [図書] バイオナノテクノロジー2004

    • 著者名/発表者名
      堀池靖浩, 片岡一則 共編
    • 総ページ数
      224
    • 出版者
      オーム社
    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2004 研究成果報告書概要
  • [図書] Bio-nano Technology2004

    • 著者名/発表者名
      Y.Horiike, K.Kataoka, et al.
    • 出版者
      Ohm-sha Corp.
    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2004 研究成果報告書概要
  • [図書] はじめての半導体洗浄技術2002

    • 著者名/発表者名
      堀池靖浩, et al.
    • 総ページ数
      250
    • 出版者
      工業調査会
    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2004 研究成果報告書概要
  • [図書] Semiconductor Cleaning Technology for beginner2002

    • 著者名/発表者名
      Y.Horiike, et al.
    • 出版者
      Kogyo Chosakai Publishing Inc.
    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2004 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] N.Kaji, Y.Tezuka, Y.Takamura, M.Ueda, T.Nishimoto, H.Nakanishi, Y.Horiike, Y.Baba: "Fast Separation of Long DNA Molecules by Nanopillar Chips under a Direct Current Electric Field"Anal.Chem.. 76(1). 15-22 (2004)

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      2003 実績報告書
  • [文献書誌] A.Oki, H.Ogawa, Y.Takamura, Y.Horiike: "Biochip Which Examines Hepatic Function by Employing Colorimetric Method"Jpn.J.Appl.Phys.. 42(3B). L342-L345 (2003)

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      2003 実績報告書
  • [文献書誌] Y.Takamura, H.Onoda, H.Inokuchi, S.Adachi, A.Oki, Y.Horiike: "Low-voltage electroosmosis pump for stand-alone microfluidics devices"Electrophoresis. 24. 185-192 (2003)

    • 関連する報告書
      2003 実績報告書
  • [文献書誌] T.Fukushige, Y.Yokoyama, S.Hata, K.Masu, A.Shimokohbe: "Fabrication and evaluation of an on-chip micro-variable inductor"Microel.Eng.. 68. 582-587 (2003)

    • 関連する報告書
      2003 実績報告書
  • [文献書誌] K.Taniguchi, T.Fukasawa, H.Yoshiki, Y.Horiike: "Generation of Integrated Atomospheric-Pressure Microplasma"Jpn.J.Appl.Phys.. 42. 6584-6589 (2003)

    • 関連する報告書
      2003 実績報告書
  • [文献書誌] Y.Yokoyama, T.Fukushige, S.Hata, K.Masu, A.Shimokohbe: "On-chip variable inductor using microelectromechanical systems technology"Jpn.J.Appl.Phys.. 42(4B). 2190-2192 (2003)

    • 関連する報告書
      2003 実績報告書
  • [文献書誌] T.Ichiki, R.Taura, Y.Horiike: "Localized and ultrahigh-rate etching of silicon wafers using atmospheric-pressure microplasma jets"J.Appl.Phys.. 95(1). 35-39 (2003)

    • 関連する報告書
      2003 実績報告書
  • [文献書誌] T.Ichiki, Y.Sugiyama, T.Ujiie, Y.Horiike: "Deep dry etching of borosilicate glass using fluorine-based high-density plasmas for microelectrochemical system fabricatio"J.Vac.Sci.Tech.B. 21(5). 2188-2192 (2003)

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      2003 実績報告書
  • [文献書誌] T.Fukasawa, Y.Horiike: "Deep Dry Etching of Quartz Plate Over 100 μm in Depth Employing Ultra-Thick Photoresist (SU-8)"Jpn.J.Appl.Phys.. 42. 3702-3706 (2003)

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      2003 実績報告書
  • [文献書誌] A.Oki, M.Takai, H.Ogawa, Y.Takamura, T.Fukasawa, J.Kikuchi, Y.Ito, T.Ichiki, Y.Horiike: "Healthcare Chip for Checking Health Condition from Analysis of Trace Blood Collected by Painless Needle"Jpn.J.Appl.Phys.. 42. 3722-3727 (2003)

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      2003 実績報告書
  • [文献書誌] T.Fukasawa, Y.Horiike: "Anisotropic Etching of SiO_2 Film and Quartz Plate Employing Anhydrous HF"Jpn.J.Appl.Phys.. 42. 4009-4015 (2003)

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      2003 実績報告書
  • [文献書誌] H.Nakase, T.Sagitani, K.Masu, K.Tsubouchi: "Lower boundary of supply voltage in digital ULS1 based on the communication theory"Jpn.J.Appl.Phys.. 42. L1133-L1135 (2003)

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      2003 実績報告書
  • [文献書誌] 堀池靖浩, 片岡一則共編: "バイオナノテクノロジー"オーム社. 224 (2004)

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      2003 実績報告書
  • [文献書誌] A.Oki, M.Takai, H.Ogawa, Y.Takamura, T.Fukasawa, J.Kikuchi, Y.Ito, T.Ichiki, Y.Hiriike: "Healthcare Chip Checking Healthcare Condition from Analysis of Trace Blood Collected by Painless Needle"Jpn. J. Appl. Phys. (to be Published).

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      2002 実績報告書
  • [文献書誌] A.Oki, H.Ogawa, Y.Takamura, Y.Horiike: "Biochip Which Examines Hepatic Function by Employing Colorimetric Method"Jpn. J. Appl. Phys.. 42(3B). L342-L345 (2003)

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      2002 実績報告書
  • [文献書誌] Y.Takamura, H.Onoda, H.Inokuchi, S.Adachi, A.Oki, Y.Hiriike: "Low-voltage electroosmosis pump for stand-alone microfluidics devices"Electrophoresis. 24. 185-192 (2003)

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      2002 実績報告書
  • [文献書誌] M.Yanagisawa, S.Iida, Y.Horiike: "Numerically Controlled Dry Etching Technology for Flattening of Si Wafer which Employs SF_6/H_2 Downstream Plasma"Jpn. J. Appl. Phys.. 41. 2791-2795 (2002)

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      2002 実績報告書
  • [文献書誌] H.Yoshiki, A.Oki, H.Ogawa, Y.Horiike: "Generation of a capacitively coupled microplasma and its application"J. Vac. Sci. Technol.. A20(1). 24-29 (2002)

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公開日: 2002-04-01   更新日: 2016-04-21  

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