| 研究課題/領域番号 |
14350024
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| 研究種目 |
基盤研究(B)
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| 配分区分 | 補助金 |
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| 応募区分 | 一般 |
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| 研究分野 |
表面界面物性
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| 研究機関 | 兵庫県立大学 (2004)
姫路工業大学 (2002-2003) |
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研究代表者 |
松井 真二 兵庫県立大学, 高度産業科学技術研究所, 教授 (00312306)
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| 研究分担者 |
神田 一浩 (神田 浩一) 兵庫県立大学, 高度産業科学技術研究所, 助教授 (20201452)
春山 雄一 兵庫県立大学, 高度産業科学技術研究所, 助手 (10316036)
藤田 淳一 日本電気(株), 基礎研究所, 主任研究員
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| 研究期間 (年度) |
2002 – 2004
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| 研究課題ステータス |
完了 (2004年度)
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| 配分額 *注記 |
15,800千円 (直接経費: 15,800千円)
2004年度: 2,500千円 (直接経費: 2,500千円)
2003年度: 4,800千円 (直接経費: 4,800千円)
2002年度: 8,500千円 (直接経費: 8,500千円)
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| キーワード | 集束イオンビーム / ビーム励起表面反応 / 堆積 / CVD / 立体構造 / ナノ構造 / FIB / 立体ナノ構造 / 三次元構造 / アクチュエータ |
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| 研究概要 |
最少ビーム径が5nmに達している集束イオンビーム技術は、エッチング、デポジション、ドーピングの多機能プロセスを実現する実用的なナノテクノロジーである。現在、デバイス故障解析、TEMの試料作製、量子デバイス、光デバイス等の不可欠な作製ツールとして広く用いられている。さらに、集束イオンビームを用いた立体ナノ構造形成技術は、三次元ナノテクノロジーとして期待される技術である。本技術は、以下の特徴を有する。1)集束イオンビームが5nm程度まで集束可能であるので、3次元CADデータを用いて、数10nmレベルの立体ナノ構造形成が可能である。2)ソースガスを変えることにより、金属、半導体、絶縁体等、多種の材料で、三次元ナノ構造形成が可能である。
以下の課題に対する研究成果を得た。
(1)FIB-CVDによるピラーを用いた多種ヤング率測定:C,W,Fe,SiO_2系ソースガスを用いて、ピラー作製を行い、共振法により、それぞれのヤング率測定を行った。さらにCとWに対しては、混合系についてもヤング率の測定を行った。これらのデータはFIB-CVDによるナノメカニカルシステム設計に有用である。
(2)FIB-CVDを用いたナノ電磁石の作製:Feガスソースにより、ナノ電磁石を作製し、その動作を確認した。,この成果は、微少磁性計測等に応用展開される。
(3)FIB-CVDを用いた細胞操作のための細胞切断ツールおよびナノネットの開発:植物細胞壁は硬いが、切断ツールを作製して、実際に細胞壁切断に成功した。さらにナノネットを試作し、水中にある直径2μmのプラスチック球の捕獲実験に成功した。
(4)モルフォ蝶りん粉構造の作製と光学特性評価:モルフォ蝶の疑似りん粉構造をFIB-CVDにより、3Dデータをもとに作製する事に成功した。分光測定により、モルフォ蝶と同じ、ブールー発光の観測に成功した。
FIB-CVDを用いた、任意形状の微小な立体ナノ構造形成技術が、エレクトロニクスからバイオテクノロジーまで広い範囲にわたるナノテクノロジーの中核技術の一つとして今後さらに発展する事が期待される。
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