| 研究課題/領域番号 |
14350076
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| 研究種目 |
基盤研究(B)
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| 配分区分 | 補助金 |
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| 応募区分 | 一般 |
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| 研究分野 |
機械工作・生産工学
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| 研究機関 | 静岡理工科大学 |
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研究代表者 |
大塚 二郎 静岡理工科大学, 理工学部, 教授 (30016787)
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| 研究分担者 |
恩田 一 静岡理工科大学, 理工学部, 教授 (60350906)
市川 宗次 シグマテック株式会社, 代表取締役・研究職
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| 研究期間 (年度) |
2002 – 2004
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| 研究課題ステータス |
完了 (2004年度)
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| 配分額 *注記 |
14,800千円 (直接経費: 14,800千円)
2004年度: 4,700千円 (直接経費: 4,700千円)
2003年度: 4,600千円 (直接経費: 4,600千円)
2002年度: 5,500千円 (直接経費: 5,500千円)
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| キーワード | 超精密位置決め / 熱変形 / ビジュアルサーボ / サブナノメートル分解能 / ナノテクノロジー / 低熱膨張材 / サブナノメートル |
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| 研究概要 |
(1)0.2nm、0.5nm、1nm分解能の変位センサを開発した。
(2)上記変位センサを用いて、0.2nm(手動制御)、0.5nm(自動制御)、1nm(自動制御)の分解能を持つ超精密位置決め装置を開発した。
(3)上記超精密位置決め装置を長時間使用すると、モータ等の発生する熱により装置は熱変形する。装置のステージの水平方向、垂直方向の熱変形によるドリフトを測定した。そこでは、熱的特性の異なる4種類の金属を位置決め装置の構造材として用いた。ステンレス鋼は熱変形ドリフトが大きく、低熱膨張材は期待したほど熱変形ドリフトは小さくならなかった。
(4)完全にドリフトを除く手段として、ビジュアルサーボシステムを光学顕微鏡に応用した。観察対象物が激しく移動しても顕微鏡の視野の中心に対象物を制御できた。
(5)超精密位置決め装置の熱変形ドリフトを減少させる次のような方策を示した。
(1)モータの熱を装置を支持する台へ逃がす方法、
(2)モータとベースの間に断熱材を挿入する方法、
(3)その他、装置を冷却する方法。
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