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エネルギー可変型バリア放電による高密度広断面大気圧プラズマの発生と産業応用

研究課題

研究課題/領域番号 14380207
研究種目

基盤研究(B)

配分区分補助金
応募区分一般
研究分野 プラズマ理工学
研究機関岩手大学

研究代表者

藤原 民也  岩手大学, 工学部, 教授 (70042207)

研究分担者 高木 浩一  岩手大学, 工学部, 助教授 (00216615)
向井川 政治 (向川 政治)  岩手大学, 工学部, 助手 (60333754)
小石原 利明  岩手製鉄(株), 次長(研究職)
桑島 孝幸  岩手県工業技術センター, 主任専門研究員
研究期間 (年度) 2002 – 2004
研究課題ステータス 完了 (2004年度)
配分額 *注記
6,200千円 (直接経費: 6,200千円)
2004年度: 1,300千円 (直接経費: 1,300千円)
2003年度: 1,700千円 (直接経費: 1,700千円)
2002年度: 3,200千円 (直接経費: 3,200千円)
キーワードCCMD / 自己消弧 / 誘電体バリア放電 / マイクロ放電 / 大気圧プラズマ / エネルギー制御 / 直流動作 / 放電機構 / 自己消弧型放電 / 投入エネルギー / 広断面積化・高密度化 / 進展速度 / 大気圧グロープラズマ / バリア放電 / NOx除去 / 材料表面処理 / 空気浮遊菌除去
研究概要

本研究では、従来の誘電体バリア放電とは異なる新しい方式CCMD (Capacity-Coupled Multi Discharge:誘電体を消弧用コンデンサに置き換えた放電形式)を考案し、大気圧グロープラズマを発生させ、プラズマへの投入エネルギーの増大化(従来の5倍)、大気圧プラズマの広断面積化・高密度化、放電機構の解明と電気物理的特性の明示を目的とした研究を行った。産業応用として、本プラズマをNOx除去に使用し、プラズマによる排ガス処理の技術向上と実用化、材料表面処理などへの応用について検討した。以下にこれまでの成果をまとめる。
1)プラズマへの投入エネルギーの増大化:消弧コンデンサの容量を増大させると、プラズマへの投入エネルギーは増大し、誘電体バリア放電と比較して、投入エネルギーは最大で120倍となる。2)放電回路設計:グロー-アーク転移の特性時間をτ、プラズマを含む放電回路の等価抵抗をR、インダクタンスをL、消弧コンデンサの容量をCとすると、回路動作にはL/R<τ<CRが必要条件である。3)投入エネルギーの増大メカニズム:誘電体バリア放電では表面電荷の面積効果でエネルギー増大に上限が生じることを実験的に検証した。4)直流動作:CCMDの直流動作とパルス間隔の制御に成功した。5)放電機構の解明:針電極の電位は数十nsのマイクロ放電によって変動するが、この電位変動によって自己消弧がおこることを実験的に検証した。短・長ギャップでは放電形態が異なることが明らかとなり、短ギャップで成り立つ投入電力の理論式を得た。6)プラズマへの投入電力の制御:投入エネルギーは印加電圧と絶縁破壊電圧の比(特に整数部分)に比例し、消弧用コンデンサの容量に比例し、放電周波数に比例する。この3つの要素を独立に制御することで、プラズマへの投入電力を制御した。7)マイクロ放電の進展速度:放電の進展速度は約3×10^5m/sである。8)オゾン生成への応用:29本の針電極を並列接続し、オゾン生成を試みた結果、酸素原料で41.5g/kWhの生成効率を得た。

報告書

(4件)
  • 2004 実績報告書   研究成果報告書概要
  • 2003 実績報告書
  • 2002 実績報告書
  • 研究成果

    (51件)

すべて 2005 2004 2003 2002 その他

すべて 雑誌論文 (39件) 文献書誌 (12件)

  • [雑誌論文] Production of Atmospheric-Pressure Glow Discharge in Nitrogen Using Needle-Array Electrode2005

    • 著者名/発表者名
      K.Takaki et al.
    • 雑誌名

      Applied Physics Letters 86(15)

      ページ: 151501-151501

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2004 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] High deposition rate of amorphous carbon film using a magnetically driven shunting arc discharge2005

    • 著者名/発表者名
      K.Takaki et al.
    • 雑誌名

      Surface and Coatings Technology 196

      ページ: 203-206

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2004 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Voltage-current characteristics of nitrogen high-current glow discharge2005

    • 著者名/発表者名
      K.Takaki et al.
    • 雑誌名

      Journal of Advanced Oxidation Technologies 8(1)

      ページ: 11-17

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2004 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] 誘電体バリア放電方式オゾナイザの電極形状による高効率化2005

    • 著者名/発表者名
      清水雅樹 ほか
    • 雑誌名

      電気学会論文誌A 125(6)

      ページ: 501-507

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2004 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] 高周波放電プラズマにおける基板への熱流束と電力測定2005

    • 著者名/発表者名
      蜂谷憲一郎 ほか
    • 雑誌名

      電気学会論文誌A 125(3)

      ページ: 223-238

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2004 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] 高周波放電プラズマにおける基盤への熱流速と電力測定2005

    • 著者名/発表者名
      蜂谷憲一郎 ほか
    • 雑誌名

      電気学会論文誌A 125(3)

      ページ: 223-228

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2004 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Bonding strength of alumina tiles joined using capacitor discharge technique2005

    • 著者名/発表者名
      K.Takaki et al.
    • 雑誌名

      Surface and Coatings Technology 167-170

      ページ: 495-498

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2004 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] 高周波プラズマにおける基板への熱流束と電力測定2005

    • 著者名/発表者名
      蜂谷 憲一郎, 江部 健太郎, 加藤 昭二, 向川 政治, 高木 浩一, 藤原 民也
    • 雑誌名

      電気学会論文誌 (in Japanese) A125(3)

      ページ: 223-228

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2004 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] 誘電体バリア放電方式オゾナイザの電極形状による高効率化2005

    • 著者名/発表者名
      清水雅樹, 佐藤徹, 加藤昭二, 向川政治, 高木浩一, 藤原民也
    • 雑誌名

      電気学会論文誌 (in Japanese) A125(6)

      ページ: 501-507

    • NAID

      10015676545

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2004 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Production of Atmospheric Pressure Glow Discharge Using Semiconductor Opening Switch Diode2005

    • 著者名/発表者名
      K.Takaki, M.Hosokawa, S.Mukaigawa, T.Fujiwara
    • 雑誌名

      Transaction of the Material Research Society of Japan 30(1)

      ページ: 295-298

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2004 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Voltage-current characteristics of nitrogen high-current glow discharge2005

    • 著者名/発表者名
      K.Takaki, M.Hosokawa, T.Sasaki, S, Mukaigawa, T.Fujiwara
    • 雑誌名

      Journal of Advanced Oxidation Technologies 8(1)

      ページ: 11-17

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2004 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] High deposition rate of amorphous carbon film using a magnetically driven shunting arc discharge2005

    • 著者名/発表者名
      Ken Yukimura,, Motoya Kumagai, Koichi Takaki, Ryuji Hasegawa, Satoshi Nakamura, Seiji Mukaigawa, Tamiya Fujiwara
    • 雑誌名

      Surface and Coatings Technology 196

      ページ: 203-206

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2004 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Production of Atmospheric-Pressure Glow Discharge in Nitrogen Using Needle-Array Electrode2005

    • 著者名/発表者名
      K.Takaki, M.Hosokawa, T.Sasaki, S.Mukaigawa, T.Fujiwara
    • 雑誌名

      Applied Physics Letters 86(15)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2004 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] High deposition rate of amorphous carbon film using a magnetically driven shunting arc discharge2005

    • 著者名/発表者名
      K.Takaki et al.
    • 雑誌名

      Surface and Coatings Technology (In press)

    • 関連する報告書
      2004 実績報告書
  • [雑誌論文] Production of Atmospheric-Pressure Glow Discharge in Nitrogen Using Needle-Array Electrode2005

    • 著者名/発表者名
      K.Takaki et al.
    • 雑誌名

      Applied Physics Letters (In press)

    • 関連する報告書
      2004 実績報告書
  • [雑誌論文] 誘電体バリア放電方式オゾナイザの電極形状による高効率化2005

    • 著者名/発表者名
      清水雅樹 ほか
    • 雑誌名

      電気学会論文誌A (In press)

    • 関連する報告書
      2004 実績報告書
  • [雑誌論文] 高周波放電プラズマにおける基板への熱流束と電力測定2005

    • 著者名/発表者名
      蜂谷憲一郎 ほか
    • 雑誌名

      電気学会論文誌A Vol.125,No.3

      ページ: 223-228

    • 関連する報告書
      2004 実績報告書
  • [雑誌論文] Self-magnetic drive of a shunting arc2004

    • 著者名/発表者名
      K.Takaki et al.
    • 雑誌名

      Surface and Coatings Technology 186

      ページ: 182-186

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2004 実績報告書 2004 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Capacity-coupled multildischarge at atmospheric pressure2004

    • 著者名/発表者名
      H.Mase, T.Fujiwara, N.Sato
    • 雑誌名

      IEEE TRANSACTIONS ON PLASMA SCIENCE 32(2)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2004 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Effect of Electrode shape in Dielectric Barrier Discharge Plasma for NOx Removal2004

    • 著者名/発表者名
      K.Takaki et al.
    • 雑誌名

      IEEE Transactions on Plasma Science 32(1)

      ページ: 32-38

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2004 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Effect of Electrode Shape in Dielectric Barrier Discharge Plasma Reactor for NOx Removal2004

    • 著者名/発表者名
      K.Takaki, M.Shimizu, S.Mukaigawa, T.Fujiwara
    • 雑誌名

      IEEE Transactions on Plasma Science 32(1)

      ページ: 32-38

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2004 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Capacity-coupled multildischarge at atmospheric pressure2004

    • 著者名/発表者名
      H.Mase, T.Fujiwara, N.Sato
    • 雑誌名

      IEEE Transactions on Plasma Science 32(2)

      ページ: 380-383

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2004 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Self-magnetic drive of a shunting arc2004

    • 著者名/発表者名
      K.Takaki, R.Hasegawa, S.Nakamura, S.Mukaigawa, T.Fujiwara, M.Kumagai, K.Yukimura
    • 雑誌名

      Surface and Coatings Technology 186

      ページ: 182-186

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2004 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] パルスアーク放電からの衝撃波進展特性2004

    • 著者名/発表者名
      高木浩一, 向川政治, 藤原民也
    • 雑誌名

      プラズマ応用科学 Applied Plasma Science (in Japanese) 12

      ページ: 137-142

    • NAID

      40006676447

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2004 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Characteristics of Nitrogen High-Current Glow discharge2004

    • 著者名/発表者名
      K.Takaki et al.
    • 雑誌名

      Journal of Advanced Oxidation Technologies Vol.8,No.1(In press)

    • 関連する報告書
      2004 実績報告書
  • [雑誌論文] Capacity-coupled multidischarge for atmospheric plasma production2003

    • 著者名/発表者名
      H.Mase, T.Fujiwara, N.Sato
    • 雑誌名

      APPLIED PHYSICS LETTERS 83(26)

      ページ: 5392-5394

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2004 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Ion extraction from carbon shunting arc plasma2003

    • 著者名/発表者名
      K.Takaki et al.
    • 雑誌名

      APPLIED PHYSICS LETTERS 82(16)

      ページ: 2583-2582

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2004 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] チタン箔溶断セラミックス接合における回路インダクタンスの効果2003

    • 著者名/発表者名
      高田良弘 ほか
    • 雑誌名

      電気学会論文誌A 23(9)

      ページ: 884-890

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2004 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Measurement of heat flux distribution toward substrate by means of the LiNbO3 interferometer, and electron density in a capacitively coupled if discharge plasma2003

    • 著者名/発表者名
      S.Mukaigawa, S.Kanno, K.Takaki, T.Fujiwara
    • 雑誌名

      Nuclear Instruments and Methods in Physics Research B206

      ページ: 777-781

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2004 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Characteristics of shunting arc discharge for carbon ion source2003

    • 著者名/発表者名
      K.Takaki, S.Mukaigawa, T.Fujiwara, M.Kumagai, K.Yukimura
    • 雑誌名

      Nuclear Instruments and Methods in Physics Research B206

      ページ: 794-797

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2004 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] 大気圧グロー放電の発生と応用,大気圧グロー放電の発生2003

    • 著者名/発表者名
      高木浩一, 藤原民也, 栃久保文嘉
    • 雑誌名

      Journal of Plasma and Fusion Research (in Japanese) 79(10)

      ページ: 1002-1008

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2004 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] チタン箔溶断セラミックス接合における回路インダクタンスの効果2003

    • 著者名/発表者名
      高田良宏, 板垣稔, 向川政治, 高木浩一, 藤原民也, 大島修三, 高橋幾久雄, 桑嶋孝幸
    • 雑誌名

      電気学会論文誌 (in Japanese) A23(9)

      ページ: 884-890

    • NAID

      10011750168

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2004 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Ion Extraction from Carbon Shunting Arc Plasma2003

    • 著者名/発表者名
      K.Takaki, S.Mukaigawa, T.Fujiwara, M.Kumagai, K.Yukimura
    • 雑誌名

      Applied Physics Letters 82(16)

      ページ: 2583-2585

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2004 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Capacity-coupled multidischarge for atmospheric plasma production2003

    • 著者名/発表者名
      H.Mase, T.Fujiwara, N.Sato
    • 雑誌名

      Applied Physics Letters 82(16)

      ページ: 2583-2582

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2004 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Bonding strength of alumina tiles jointed using capacitor discharge technique2003

    • 著者名/発表者名
      K.Takaki, Y.Takada, M.Itagaki, S.Mukaigawa, T.Fujiwara, S.Ohshima, K.Oyama, I.Takahashi, T.Kuwashima
    • 雑誌名

      Surface and Coatings Technology 169-170

      ページ: 495-498

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2004 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] 非定常的放電プラズマの現象と応用2002

    • 著者名/発表者名
      藤原民也
    • 雑誌名

      放電学会誌「放電研究」(in Japanese) 45(4)

      ページ: 67-72

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2004 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] マルチポイント電極を用いた高効率ディーゼル排ガス処理2002

    • 著者名/発表者名
      高木浩一, 向川政治, 藤原民也
    • 雑誌名

      プラズマ応用科学 Applied Plasma Science (in Japanese) 10

      ページ: 73-80

    • NAID

      40005782969

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2004 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Heat Flux Distribution on a substrate in capacitively coupled radio-frequency discharge plasma2002

    • 著者名/発表者名
      K.Takaki, D.Koseki, T.Fujiwara
    • 雑誌名

      Applied Physics Letters 80(9)

      ページ: 1526-1528

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2004 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] A Capacitor discharge technique with optimized energy for joining ceramics2002

    • 著者名/発表者名
      K.Takaki, Y Fujimaki, Y Takada, M.Itagaki, T Fujiwara, S.Ohshima, K.Oyama, I.Takahashi, T.Kuwashima
    • 雑誌名

      VACUUM 65

      ページ: 457-462

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2004 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] H.Mase, T.Fujiwara, N.Sato: "Capacity-coupled multidischarge for atmospheric plasma production"APPLIED PHYSICS LETTERS. Vol83,No26. 5392-5394 (2003)

    • 関連する報告書
      2003 実績報告書
  • [文献書誌] K.Takaki et al.: "Effect of Electrode shape in Dielectric Barrier Discharge Plasma for NOx Removal"IEEE Transactions on Plasma Science. Vol32,No1(in press). (2004)

    • 関連する報告書
      2003 実績報告書
  • [文献書誌] K.Takaki et al.: "Bonding strength of alumina tiles joined using capacitor discharge technique"Surface and Coatings Technology. 169-170. 495-498 (2003)

    • 関連する報告書
      2003 実績報告書
  • [文献書誌] K.Takaki et al.: "Characteristics of shunting arc discharge for carbon ion source"Nuclear Instruments and Methods in Physics Research B. B 206. 794-797 (2003)

    • 関連する報告書
      2003 実績報告書
  • [文献書誌] K.Takaki et al.: "Ion extraction from carbon shunting arc plasma"APPLIED PHYSICS LETTERS. Vol82,No16. 2583-2582 (2003)

    • 関連する報告書
      2003 実績報告書
  • [文献書誌] 高田良弘 ほか: "チタン箔溶断セラミックス接合における回路インダクタンスの効果"電気学会論文誌A. Vol23,No9. 884-890 (2003)

    • 関連する報告書
      2003 実績報告書
  • [文献書誌] K.Takaki et al.: "Ion extraction from carbon shunting arc plasma"Applied Physics Letters. 82・16(in press). (2003)

    • 関連する報告書
      2002 実績報告書
  • [文献書誌] S.Mukaigawa et al.: "Measurement of heat flux distribution toward substrate by means of the LiNbO3 interferometer, and electron density in a capacitively coupled rf discharge plasma"Nuclear Instruments and Methods in Physics Research B. (in press). (2003)

    • 関連する報告書
      2002 実績報告書
  • [文献書誌] K.Takaki et al.: "A Capacitor discharge technique with optimized energy for joining ceramics"VACUUM. 65. 457-462 (2002)

    • 関連する報告書
      2002 実績報告書
  • [文献書誌] K.Takaki et al.: "Heat Flux Distribution on a substrate in capacitively coupled radio-frequency discharge plasma"Applied Physics Letters. 80・9. 1526-1528 (2002)

    • 関連する報告書
      2002 実績報告書
  • [文献書誌] 藤原民也: "非定常的放電プラズマの現象と応用"放電研究. 45・4. 67-72 (2002)

    • 関連する報告書
      2002 実績報告書
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公開日: 2002-04-01   更新日: 2016-04-21  

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