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ガス溶解に伴う三相界面のミクロ液膜構造とマランゴニ流の解明

研究課題

研究課題/領域番号 14550197
研究種目

基盤研究(C)

配分区分補助金
応募区分一般
研究分野 熱工学
研究機関芝浦工業大学

研究代表者

鴨志田 隼司  芝浦工業大学, 工学部, 教授 (30052856)

研究分担者 越後 亮三  芝浦工業大学, 工学部, 教授 (70037737)
研究期間 (年度) 2002 – 2004
研究課題ステータス 完了 (2004年度)
配分額 *注記
3,400千円 (直接経費: 3,400千円)
2004年度: 700千円 (直接経費: 700千円)
2003年度: 1,100千円 (直接経費: 1,100千円)
2002年度: 1,600千円 (直接経費: 1,600千円)
キーワード固・気・液三相界面 / 動的メニスカス / ガス吸着 / 表面張力差 / マランゴニ流 / 界面ぜん動運動 / 薄液膜現象 / 表面性状 / マランゴニ対流 / 界面ぜん動流動 / ガス溶解 / 固・液・気三相界面 / 熱・物質伝達の促進と制御 / 半導体製造プロセ / 吸収冷温水気機 / 燃料電池 / 半導体製造プロセス
研究概要

ガス溶解を伴う固相,気相,液相の三相境界に形成される三相界面に,温度・濃度の差に起因するマランゴニ流が優先的に発現する.この領域に,微小振動,温度勾配,液相に対する固相の相対的運動が作用すると三相界面近傍のミクロ液膜は薄液膜化し,その先端部でぜん動運動が発生し,より激しい流動が誘起される.こうした現象が機器の性能を左右する分野に,半導体製造における洗浄・乾燥プロセス,吸収冷温水機の吸収器などがある.これらの装置の要素機器中に存在する三相境界の薄膜部へのガス吸着・吸収および溶解現象が促進されると,これらの装置の局所における熱・物質移動が改善され,装置・プロセスの省エネ・省資源化がさらに進むようになる.
このような課題は,基礎的な研究を通して機器の運転操作時のマランゴニ流の流動挙動を精密に解析することを求めている.これを解明するには微細な構造に関わる物理化学的な現象を動的な方法で研究する必要がある.
本研究はこうした状況を背景に,マランゴニ流が支配する各種の物質移動現象を実験的に解析し,三相界面における物質移動現象を支配している外的要因についての基盤的な知見を得ることを目的とし,以下の結果を得た.
固体表面の濡れ性による物質移動促進の程度が異なるという知見を得た.またこれに固体表面の濡れ性による界面ぜん動運動により発生する表面波の振動・振幅成分が異なるという液表面の観察を合わせて表面波による物質移動促進メカニズムを提案した.また接触界線に働くマランゴニ流による力学的作用を検出し,濡れ性によらず力学的作用の働く方向は同じであることを明らかにした.また固体表面の濡れ性をパラメータとして三相界面における三相界面方向の速度変動を検出し,濡れ性によりその速度の絶対値が異なるという知見を得た.

報告書

(4件)
  • 2004 実績報告書   研究成果報告書概要
  • 2003 実績報告書
  • 2002 実績報告書
  • 研究成果

    (5件)

すべて 2003 2002 その他

すべて 雑誌論文 (4件) 文献書誌 (1件)

  • [雑誌論文] 半導体の洗浄・乾燥プロセスにおけるマランゴニ対流の効果2003

    • 著者名/発表者名
      鴨志田隼司, 宮本泰治, 片山明人
    • 雑誌名

      日本機械学会 熱工学コンファレンズ 講演論文集 03-30

      ページ: 105-106

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2004 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Effect of Marangoni flow in cleaning and drying process of semiconductor2003

    • 著者名/発表者名
      Junji.Kamosida, Yasuharu.Miyamoto, Akihito.Katayama
    • 雑誌名

      PROCEEDINGS OF THERMAL ENGINEERING CONFERENCE

      ページ: 105-106

    • NAID

      110002489486

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2004 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] EXPERIMENTAL STUDY OF ADDITIVE EFFECTIVENESS TO HEAT AND MASS TRANSFER WITH ABSORPTION IN LiBr/H_2O2002

    • 著者名/発表者名
      鴨志田隼司, 横地弘晃, 一色尚次
    • 雑誌名

      PROCEEDINGS OF THE INTERNATIONAL SORPTION HEAT PUMP CONFERENCE

      ページ: 361-366

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2004 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] EXPERIMENTAL STUDY OF ADDITIVE EFFECTIVENESS TO HEAT AND MASS TRANSFER WITH ABSORPTION IN LiBr/H_2O2002

    • 著者名/発表者名
      Junji.Kamosida, Hiroteru.Yokochi, Naotugu.Isshiki
    • 雑誌名

      PROCEEDINGS OF THE INTERNATIONAL SORPTION HEATPUMP CONFERENCE

      ページ: 361-366

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2004 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] 鴨志田隼司, 宮本泰治, 片山明人: "半導体の洗浄・乾燥プロセスにおけるマランゴニ対流の効果"日本機械学会 熱工学コンファレンス講演論文集. 105-106 (2003)

    • 関連する報告書
      2003 実績報告書

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公開日: 2002-04-01   更新日: 2016-04-21  

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