| 研究概要 |
マイクロフィゾー干渉計を基礎とした光学式三次元形状計測法を用いて,MEMSの形状計測法を提案した.この手法は,MEMSの静的な変形はもちろんのこと,動的に変化する状態における変形計測も,イメージインテンシファイアを用いることによって実現している.変形計測は,上記マイクロフィゾー干渉計により得られた干渉縞を空間的縞解析法により縞解析することによって実現している.この場合に,微小構造物を光干渉計技術によって計測をする状況で,一般に,光計測技術は非接触計測技術であると考えられているが,微小構造物を光計測技術によって計測する場合には,計測に用いるレーザー光が微小構造物を熱変形することがわかった.この現象は,計測にとっては問題ではあるが,この現象を用いると微小構造物を熱駆動することができることも可能であることがわかった.
縞解析を行うための空間的縞解析法の改善を目指し,スペックル干渉計測法を新たに導入し,従来困難とされていた,変形前後の2枚のスペックルパターンを用いるだけで高分解能な縞解析が可能である新しい計測法を提案した.さらに,走査電子顕微鏡にモアレトポグラフィの技術を導入することによって,数10nmの三次元形状計測の可能性を持つ技術を提案した.
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