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電圧印可累積法による色素超薄膜の会合体形成と微細加工技術の高機能化

研究課題

研究課題/領域番号 14550291
研究種目

基盤研究(C)

配分区分補助金
応募区分一般
研究分野 電子・電気材料工学
研究機関千葉大学

研究代表者

串田 正人  千葉大学, 工学部, 助手 (70177989)

研究分担者 杉田 和之  千葉大学, 工学部, 教授 (70009273)
斎藤 恭一  千葉大学, 工学部, 教授 (90158915)
研究期間 (年度) 2002 – 2004
研究課題ステータス 完了 (2004年度)
配分額 *注記
2,100千円 (直接経費: 2,100千円)
2004年度: 500千円 (直接経費: 500千円)
2003年度: 500千円 (直接経費: 500千円)
2002年度: 1,100千円 (直接経費: 1,100千円)
キーワードLangmuir-Blodgett膜 / 電圧印加累積法 / 色素LB膜 / ナノテクノロジー / 超微細加工技術 / 分子エレクトロニクス / J会合体 / パターニング
研究概要

1.平成14年度 電圧印加LB膜累積装置の作製
申請者の着想によるL膜分子展開時に電圧を印加しながら分子の配向状態を変化させる累積装置は,電極と水面との距離を1〜5mmとし,電圧を±2500V印加できる必要がある.電極と水面との距離を一定とする技術などによりこの問題を解決した.これにより,L膜分子に作用する力は電界による力が表面張力による力よりも大きくなり,分子配向の制御が可能となった.
2.平成15年度 L膜展開時の印加電圧極性,水相条件に関する研究
L膜展開時およびL膜展開後に水面から離れた電極に電圧を印加しながら累積することによりLB膜面水平方向の構造制御性の向上をめざすことはLB膜の膜面内配向性を制御するために極めて重要な事項であるがこれまで,適切な方法は無かった.本研究では電圧の極性,電圧印加後のL膜放置時間,水相のpHを変化させることによりLB膜の配向性および膜の累積比(基板上にLB膜が累積する割合)がどのように変化するかを調べた.その結果を用いて電圧印加条件によりLB膜の膜面内方向の周期構造が作製できることが確認された.
3.平成16年度L膜,LB膜の分子配向に関する研究
L膜分子を水面上に展開後でも,L膜展開中と同様に水面と離した金属電極板との間に電圧を印加することによりL膜での分子極限占有面積を制御できることを明らかにした.このL膜をガラス基板上に累積したLB膜のX線回折パターンの解析によりLB膜の層間距離が,L膜での電圧印加を行わなかった試料に比べ短くなっていることがわかった.また同じLB膜試料の紫外・可視吸収スペクトルより分子数密度が減少していることがわかった.これらの結果はLB膜の膜面内方向での選択的な分子の累積,配向制御が行える可能性を示すものである.

報告書

(4件)
  • 2004 実績報告書   研究成果報告書概要
  • 2003 実績報告書
  • 2002 実績報告書
  • 研究成果

    (34件)

すべて 2005 2004 2003 2002 その他

すべて 雑誌論文 (22件) 文献書誌 (12件)

  • [雑誌論文] Energy Release and It's Mechanism in Metal/Insulator/Metal Structures with Langmuir-Blodgett films2005

    • 著者名/発表者名
      Koji Hino
    • 雑誌名

      Jpn.J.Appl.Phys. 44

      ページ: 551-555

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2004 実績報告書 2004 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Energy Quenching Effects on Dry-Etching Durability of Alicyclic-Aliphatic Copolymers and Polymer Blends Enhanced by Polymer-Chain Entanglement2005

    • 著者名/発表者名
      Masahito Kushida
    • 雑誌名

      Jpn.J.Appl.Phys. 44

      ページ: 1498-1501

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2004 実績報告書 2004 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] LB膜MIMの抵抗と最大エネルギー放出2005

    • 著者名/発表者名
      串田正人
    • 雑誌名

      第52回応用物理学会関係連合講演会講演予稿集 No.3

    • 関連する報告書
      2004 実績報告書
  • [雑誌論文] LB膜MIMの発生電圧-外部抵抗の特性2005

    • 著者名/発表者名
      日野浩二
    • 雑誌名

      第52回応用物理学会関係連合講演会講演予稿集 No.3

    • 関連する報告書
      2004 実績報告書
  • [雑誌論文] A Surface-Silylated Single-Layer Resist Using Chemical Amplification for Deep UV Lithography : IIIa. Preliminary Results of Optimization of PAG and Content2004

    • 著者名/発表者名
      Kazuyuki Sugita
    • 雑誌名

      Advances in Imaging Materials and Processes

      ページ: 293-299

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2004 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] A Surface-Silylated Single-Layer Resist Using Chemical Amplification for Deep UV Lithography : IIIb. Optimization of PAG and Its Content2004

    • 著者名/発表者名
      Kazuyuki Sugita
    • 雑誌名

      J.Photopolym.Sci.Technol. 17

      ページ: 373-378

    • NAID

      130004464357

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2004 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Control of Photo and Thermal Decomposition of Diazo/PVA Resist with inclusion Compounds2004

    • 著者名/発表者名
      Keiko Harada
    • 雑誌名

      Advances in Imaging Materials and Processes

      ページ: 369-373

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2004 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] A Surface-Silylated Single-Layer Resist Using Chemical Amplification for Deep UV Lithography : IIIa. Preliminary Results of Optimization of PAG and Its Content2004

    • 著者名/発表者名
      Kazuyuki Sugita
    • 雑誌名

      Advances in Imaging Materials and Processes

      ページ: 293-299

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2004 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] A Surface-Silylated Single-Layer Resist UsingO Chemical Amplification for Deep UV Lithography : IIIb. Optimization of PAG and Its Content2004

    • 著者名/発表者名
      Kazuyuki Sugita
    • 雑誌名

      J.Photopolym.Sci.Technol. 17

      ページ: 373-378

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2004 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Control of Photo and Thermal Decomposition of Diazo/PVA Resist with inclusion Compounds2004

    • 著者名/発表者名
      Kieko Harada
    • 雑誌名

      Advances in Imaging Materials and Processes

      ページ: 369-373

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2004 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] 電圧印加法によるC12TCNQL膜およびLB膜の分子配向2004

    • 著者名/発表者名
      串田正人
    • 雑誌名

      第65回応用物理学会学術講演会予稿集 No.3

      ページ: 1091-1091

    • 関連する報告書
      2004 実績報告書
  • [雑誌論文] L膜およびLB膜の膜面内方向での分子配向とパターニング2004

    • 著者名/発表者名
      串田正人
    • 雑誌名

      電子情報通信学会有機エレクトロニクス研究会 OME2004

      ページ: 1-6

    • NAID

      110003301485

    • 関連する報告書
      2004 実績報告書
  • [雑誌論文] Study of Electric Dipole and Space Charge Characteristics of Al/C(12)TCNQ/Al by Means of Thermally Stimulated Current Measurements2003

    • 著者名/発表者名
      Masahito Kushida
    • 雑誌名

      Thin Solid Films 423

      ページ: 224-227

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2004 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Organic bistable memory switching phenomena in squarylium-dye Langmuir-Blodgett films2003

    • 著者名/発表者名
      Masahito Kushida
    • 雑誌名

      Jpn.J.Appl.Phys. 42

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2004 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Photodegradable Toners for Electrophotography III. Accelerated Photodegradation and Suppressed Photocrosslinking of Matrix Resin-Their Dependence on Polymer Composition, UV-light Source, and Irradiation Conditions2003

    • 著者名/発表者名
      Kazuyuki Sugita
    • 雑誌名

      Polymer J. 35

      ページ: 985-992

    • NAID

      10011839508

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2004 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Photodegradable Toners for Electrophotography IIIb. Photodegradation and Photocrosslinking of Matrix Resin - Its Dependence on the UV-light Source and Irradiation Conditions and Reaction Mechanism2003

    • 著者名/発表者名
      Kazuyuki Sugita
    • 雑誌名

      Polymeric Mat.Sci.Eng. 88

      ページ: 341-341

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2004 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Photodegradable Toners for Electrophotography IIIb. Photodegradation and Photocrosslinking of Matrix Resin-Its Dependence on the UV-light Source and Irradiation Conditions and Reaction Mechanism2003

    • 著者名/発表者名
      Kazuyuki Sugita
    • 雑誌名

      Polymeric Mat.Sci.Eng. 88

      ページ: 341-341

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2004 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Imaging Characteristics of Diazo Resin with a Dialkylamino Group for Screeen Printing2002

    • 著者名/発表者名
      Kieko Harada
    • 雑誌名

      J.Imaging Sci.Technol. 46

      ページ: 159-164

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2004 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Conductance Switching Phenomena and H-Like Aggregates in Squarylium-Dye Langmuir Blodgett Films2002

    • 著者名/発表者名
      Masahito Kushida
    • 雑誌名

      Jpn.J.Appl.Phys. 41

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2004 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] A Surface-Silylated Single-Layer Resist Using Chemical Amplification for Deep-UV and Vacuum-UV Lithography2002

    • 著者名/発表者名
      K.Sugita
    • 雑誌名

      J.Photopolym.Sci.Technol. 15

      ページ: 367-370

    • NAID

      40005587710

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2004 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Imaging Characteristics of Diazo Resin with a Dialkylamino Group for Screen Printing2002

    • 著者名/発表者名
      Kieko Harada
    • 雑誌名

      J.Imaging Sci.Technol. 46

      ページ: 159-164

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2004 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Surface-Silylated Single-Layer Resist Using Chemical Amplification for Deep-UV and Vacuum-UV Lithography2002

    • 著者名/発表者名
      K.Sugita A
    • 雑誌名

      J.Photopolym.Sci.Technol. 15

      ページ: 367-370

    • NAID

      40005587710

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2004 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] Masahito Kushida: "Study of Electric Dipole and Space Charge Characteristics of Al/C12TCNQ/Al by Means of Thermally Stimulated Current Measurements"Thin Solid Films. 423. 224-227 (2003)

    • 関連する報告書
      2003 実績報告書
  • [文献書誌] Masahito Kushida: "Organic bistable memory switching phenomena in squarylium-dye Langmuir-Blodgett films"Jpn.J.Appl.Phys.. 42. L622-L624 (2003)

    • 関連する報告書
      2003 実績報告書
  • [文献書誌] 串田正人: "LB膜のMIMからのエネルギー放出とその機構"2004年電気学会全国大会. 第2分冊. 112 (2004)

    • 関連する報告書
      2003 実績報告書
  • [文献書誌] 串田正人: "Au/C12TCNQとBEDT-TTFの混合LB膜/Alからのエネルギー放出"2004年電気学会全国大会. 第2分冊. 113 (2004)

    • 関連する報告書
      2003 実績報告書
  • [文献書誌] 串田正人: "LB法による有機超薄膜の作製と構造制御"平成15年電気学会全国大会シンポジウム. 第2分冊. S7(3)-S7(6) (2003)

    • 関連する報告書
      2003 実績報告書
  • [文献書誌] 加藤晶子: "電圧印加法による色素L膜およびLB膜の分子配向"第50回応用物理学関係連合講演会. 第3分冊. 1330 (2003)

    • 関連する報告書
      2003 実績報告書
  • [文献書誌] Masahito Kushida: "Study of Electric Dipole and Space Charge Characteristics of Al/C12TCNQ/Al by Means of Thermally Stimulated Current Measurements"Thin Solid Films. 423. 224-227 (2003)

    • 関連する報告書
      2002 実績報告書
  • [文献書誌] Masahito Kushida: "Organic bistable memory switching phenomena in squarylium-dye Langmuir-Blodgett films"to be published in Jpn. J. Appl. Phys.. 42. L622-L624 (2003)

    • 関連する報告書
      2002 実績報告書
  • [文献書誌] 串田正人: "電圧印加による色素L膜およびLB膜の分子配向"電子情報通信学会技術研究報告. Vol.102 No.435. 19-24 (2002)

    • 関連する報告書
      2002 実績報告書
  • [文献書誌] 串田正人: "Al超薄膜の抵抗消滅領域の電圧-電流特性"平成15年電気学会全国大会. 第2分冊. 149 (2003)

    • 関連する報告書
      2002 実績報告書
  • [文献書誌] 串田正人: "LB法による有機超薄膜の作製と構造制御"平成15年電気学会全国大会シンポジウム. 第2分冊. S7(3)-S7(6) (2003)

    • 関連する報告書
      2002 実績報告書
  • [文献書誌] 加藤晶子: "電圧印加法による色素L膜およびLB膜の分子配向"第50回応用物理学関係連合講演会. 第3分冊. 1330 (2003)

    • 関連する報告書
      2002 実績報告書

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公開日: 2002-04-01   更新日: 2016-04-21  

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