| 研究課題/領域番号 |
14655024
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| 研究種目 |
萌芽研究
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| 配分区分 | 補助金 |
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| 研究分野 |
応用光学・量子光工学
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| 研究機関 | 静岡大学 |
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研究代表者 |
川田 善正 静岡大学, 工学部, 助教授 (70221900)
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| 研究期間 (年度) |
2002 – 2003
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| 研究課題ステータス |
完了 (2003年度)
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| 配分額 *注記 |
3,300千円 (直接経費: 3,300千円)
2003年度: 1,500千円 (直接経費: 1,500千円)
2002年度: 1,800千円 (直接経費: 1,800千円)
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| キーワード | 光学顕微鏡 / 多光子励起過程 / 2光子吸収 / ワイドギャップ半導体材料 / レーザー走査顕微鏡 / フォトルミネッセンス / 格子欠陥 / フォトニック結晶 |
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| 研究概要 |
本研究では、多光子励起過程を用いて、ワイドギャップ半導体材料内部の欠陥を観察する手法を開発した。GaN, ZnSeに代表される大きなバンドギャップを持つ半導体材料は、青紫色半導体レーザーの材料としての応用が期待されており、既にGaN材料を用いたLED, LDが実用化されている。青紫色半導体レーザーにおいて、高出力、長寿命、高い出力安定性を実現するためには、欠陥の少ない良質の不可欠であり、結晶内部の欠陥を非破壊で観察可能な手法を開発する必要がある。
本研究では、多光子励起過程を用いて、半導体材料内部の欠陥構造を非破壊に観察する手法を開発した。一般に、半導体材料は、バンドギャップを越えるエネルギーを持つ格子をすべて吸収するため、フォトルミネッセンスの励起光に対して大きな吸収を持つ。このため、結晶内部まで、光が届かず、結晶表面のみの構造しか観察することできなかった。本手法では、フォトルミネッセンスの励起に多光子過程を利用するため、吸収の少ない近赤外光を使用でき、結晶内部まで励起光を伝搬させることができる。集光スポットを3次声的に走査することによって、内部欠陥の3次元構造を可視化することが可能である。
光源にフェムト秒レーザーを使用した多光子励起顕微鏡システムを構築し、ZnSe結晶の内部欠陥を観察した。発生したフォトルミネッセンスの分光スペクトルを測定し、半導体材料内のバンドギャップ療造を明らかにした。また、観察に使用すレーザー光強度を大きくすることによって、結晶内部に欠陥を誘起できることを発見し、フォトニック結晶へ応用を検討した。
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