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単色高密度原子ビームを用いるナノ構造作製法

研究課題

研究課題/領域番号 14655029
研究種目

萌芽研究

配分区分補助金
研究分野 応用物理学一般
研究機関東北大学

研究代表者

佐藤 俊一  東北大学, 多元物質科学研究所, 教授 (30162431)

研究分担者 長谷川 一  東北大学, 多元物質科学研究所, 助手 (70323102)
研究期間 (年度) 2002 – 2003
研究課題ステータス 完了 (2003年度)
配分額 *注記
3,300千円 (直接経費: 3,300千円)
2003年度: 1,300千円 (直接経費: 1,300千円)
2002年度: 2,000千円 (直接経費: 2,000千円)
キーワードレーザー / 原子線
研究概要

現在得られつつある単色で高密度な原子ビームを用いることによって初めて実現される微小スポットビームを実現するための、新しいナノ構造製作技術の基盤を確立することが本研究の目的である。具体的には、レーザー光によって高密度で単色な原子ビームを準備し、これを別の集光用レーザー光によってナノメートル程度まで絞り込んで基板上に堆積させるための基盤技術を開発する。本年度は周波数変調半導体レーザーの周波数安定化と原子ビーム速度制御実験を行った。
単一モードレーザーをそのまま利用していた従来法では、レーザーのスペクトル幅は数10MHz程度に留まっていたが、周波数変調法により数100MHz程度のスペクトル幅が得られる。これによって熱的に拡がった原子速度を連続的にある程度の速度まで減速することが可能となる。この原子ビームに対して、外部鏡を用いた周波数変調・安定化半導体レーザー光を照射することにより、MHz程度の分解能で精密に原子速度を制御できることを明らかにした。さらに変調周波数を変えることにより、狭い幅を維持したままで任意の速度の原子ビームを作製できることも見出した。これらの成果は、速度を任意に制御できる単色原子ビーム発生法の基盤技術として重要であると考えられる。また、現在開発中の横モード制御レーザー発生のための新レーザー共振器が完成すれば、原子ビームをナノメートル程度まで集光する技術開発のための基盤技術が実現されるものと期待される。

報告書

(2件)
  • 2003 実績報告書
  • 2002 実績報告書
  • 研究成果

    (7件)

すべて その他

すべて 文献書誌 (7件)

  • [文献書誌] M.Kawasaki, S.Sato: "Frequency-shifted feedback external cavity diode laser with wide tunability and linewidth"Opt.Commun.. accepted. (2004)

    • 関連する報告書
      2003 実績報告書
  • [文献書誌] C.Luculescu, S.Sato, C.Fenic: "The effect of deposition parameters on the boron nitride grown on Si (100 by PLD with nanosecond pulses"ROMOPTO. 33 (2003)

    • 関連する報告書
      2003 実績報告書
  • [文献書誌] S.Sato, M.Kawasaki: "Wide spectral width of frequency-shifted-feedback semiconductor laser"ROMOPTO. 24 (2003)

    • 関連する報告書
      2003 実績報告書
  • [文献書誌] B.J.Kim: "Growth and Evaluation of High-Quality ZnTe/GaAs by Hot Wall Epitaxy"Phys. Stat. Sol.. 191. 161-168 (2002)

    • 関連する報告書
      2002 実績報告書
  • [文献書誌] C.R.Luculescu: "Deposition of BN thin films onto Si(100) substrate by PLD with nanosecond and femtosecond pulses in nitrogen gas background"Applied Surface Science. 197-198. 499-504 (2002)

    • 関連する報告書
      2002 実績報告書
  • [文献書誌] H.Miyake: "Thin film deposition of Boron Nitride by Femtosecond Laser Pulses with Different Wavelengths"Japanese Journal of Applied Physics. 41. 7506-7507 (2002)

    • 関連する報告書
      2002 実績報告書
  • [文献書誌] 柴田 浩幸: "フェムト秒パルスレーザー熱反射法による金属薄膜の熱拡散率測定"東北大学多元物質科学研究所素材工学研究彙法. 58. 7-18 (2002)

    • 関連する報告書
      2002 実績報告書

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公開日: 2002-04-01   更新日: 2016-04-21  

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