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均一な空間分布のマイクロ波誘起常圧プラズマ発生のための誘起体のマクロ構造制御

研究課題

研究課題/領域番号 14655242
研究種目

萌芽研究

配分区分補助金
研究分野 無機材料・物性
研究機関長崎大学

研究代表者

清水 康博  長崎大学, 助教授 (20150518)

研究分担者 兵頭 健生  長崎大学, 工学部, 助手 (70295096)
江頭 誠  長崎大学, 工学部, 教授 (60037934)
研究期間 (年度) 2002 – 2003
研究課題ステータス 完了 (2003年度)
配分額 *注記
3,900千円 (直接経費: 3,900千円)
2003年度: 800千円 (直接経費: 800千円)
2002年度: 3,100千円 (直接経費: 3,100千円)
キーワードマイクロ波誘起プラズマ / 大気圧プラズマ / SiC / MoSi_2 / FeSi / モノクロロベンゼン / ダイオキシン類似化合物 / 環境浄化 / SiC多孔質焼結体 / シリコンスクラップ
研究概要

本研究では、誘起体の微細構造および組成変化を伴わずに、長期間安定して大気圧の空気中でプラズマを発生できる新たなプラズマ誘起体を、Mosi_2やFeSi等のケイ化物を中心に探索し、さらに、均一な空間分布の大気圧プラズマを発生させるためにマクロ構造制御を行うことを目的とした。
具体的には、まず、SiC、MoSi_2ハニカムおよびFeSiを誘起体に用いてマイクロ波誘起プラズマの発生状態を調べた。本研究で用いたMosi_2ハニカムは、アルミナハニカムの表面をMoSi_2粉末でコーティングしただけの材料であったので、そのプラズマ発生能はSiCおよびFeSiに比べて劣り、ハニカムの空洞内部でプラズマを発生させることはできなかった。また、N_2キャリアーガス中での長期間のプラズマ発生では、SiCおよびFeSiのどちらの場合でも誘起体としての熱安定性に問題があり、さらに熱安定性の高い誘起体の探索が必要と考えられる。また、SiCおよびFeSiから発生したN_2プラズマによるMCBの分解特性に及ぼす雰囲気中のO_2濃度の影響を調べた。どちらの誘起体を用いた場合でも、プラズマが発生すればMCBの転化率はほぼ100%となった。ただし、O_2の添加量が3.0%と少ない場合には、300〜600ppm程度のCOが生成し、モノクロロベンゼンを完全には酸化分解できなかった。なお、どちらの誘起体の場合でも、O2添加量を増やすと、COの生成量は減少し、完全酸化が促進された。ただし、完全酸化という観点からは、誘起体としては、FeSiよりもSiCの方が優れていることがわかった。

報告書

(2件)
  • 2003 実績報告書
  • 2002 実績報告書

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公開日: 2002-04-01   更新日: 2016-04-21  

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