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半導体・金属反応を利用したナノ構造の自己形成

研究課題

研究課題/領域番号 14702019
研究種目

若手研究(A)

配分区分補助金
研究分野 応用物性・結晶工学
研究機関大阪大学

研究代表者

河野 日出夫  大阪大学, 大学院・理学研究科, 助教授 (00273574)

研究期間 (年度) 2002 – 2003
研究課題ステータス 完了 (2003年度)
配分額 *注記
10,790千円 (直接経費: 8,300千円、間接経費: 2,490千円)
2003年度: 4,420千円 (直接経費: 3,400千円、間接経費: 1,020千円)
2002年度: 6,370千円 (直接経費: 4,900千円、間接経費: 1,470千円)
キーワードナノ構造 / 自己形成 / シリコン / ナノチェイン / テンプレート / ナノワイヤ / 金属触媒 / ナノチェーン / ナノニードル
研究概要

シリコンナノ結晶チェインの電気伝導特性測定のために透過型電子顕微鏡観察(ex-situ)可能な電極の作成を行った。ギャップは数百nmである。現在、シリコンナノ結晶チェイン、シリコンナノワイヤがそれぞれ1本ずつ、計2本がこの電極間を橋渡しした状態を実現し、その電気伝導特性を測定することに成功した。その結果、非線形で特異な電気伝導特性を観測した(論文投稿中)。また、シリコンナノチェインをテンプレートとしてこれを銅と加熱し、シリコンナノ結晶の部分的なシリサイド化を引き起こすことにより、シリコン/銅シリサイド/オキサイド・ナノチェインを創成した(論文発表済)。さらに、シリコン/銅シリサイド/オキサイド・ナノチェインの内部ポテンシャル分布を電子線ホログラフィー法により測定することに成功した(論文受理)。テンプレートを利用したナノ構造創成のもうひとつの例として、シリコンナノワイヤを鉄とともに熱処理することにより、ベータ鉄シリサイドナノワイヤを生成することにも成功している(論文準備中)。また、積層欠陥密度に揺らぎのあるシリコンカーバイドナノワイヤを生成し、その内部ポテンシャル分布に及ぼす積層欠陥の影響を、電子線ホログラフィー法により調べた。その結果、積層欠陥の密な部分と疎な部分とでポテンシャルに違いがあることを見出した(論文準備中)。電子ビーム蒸着装置を用いたナノ構造生成も行い、シリコンナノワイヤの生成を確認している。

報告書

(2件)
  • 2003 実績報告書
  • 2002 実績報告書
  • 研究成果

    (13件)

すべて その他

すべて 文献書誌 (13件)

  • [文献書誌] H.Kohno, S.Takeda: "Infusing metal into self-organized semiconductor nanostructures."Appl.Phys.Lett.. 83. 1202-1203 (2003)

    • 関連する報告書
      2003 実績報告書
  • [文献書誌] H.Kohno, N.Ozaki, H.Yoshida, K.Tanaka, S.Takeda: "Misleading fringes in TEM images and diffraction patterns of Si nanocrystallites."Crystal Research and Technology. 38. 1082-1086 (2003)

    • 関連する報告書
      2003 実績報告書
  • [文献書誌] H.Kohno 他: "Formation of silicon/silicide/oxide nanochains and their properties studied by electron holography"Thin Solid Films. (発表予定).

    • 関連する報告書
      2003 実績報告書
  • [文献書誌] H.Kohno 他: "Formation and properties of silicon/silicide/oxide nanochains"Mat.Res.Soc.Proc.. (発表予定).

    • 関連する報告書
      2003 実績報告書
  • [文献書誌] H.Kohno 他: "Growth, structure and properties of chains of crystalline -Si nanosphers"Materials Science and Engineering B. 96. 76-79 (2002)

    • 関連する報告書
      2002 実績報告書
  • [文献書誌] Y.Chen 他: "Ab-initio calculation of Si-K and Si-L ELNES edges in an extended defect model of crystalline silicon"Materials Transactions. 43. 1430-1434 (2002)

    • 関連する報告書
      2002 実績報告書
  • [文献書誌] J.Yamasaki 他: "Novel amorphization process in silicon induced by electron irradiation"Journal of Nano-Crystalline Solids. 299. 793-797 (2002)

    • 関連する報告書
      2002 実績報告書
  • [文献書誌] H.Kohno 他: "One phonon Raman scattering studies of chains of crystalline -Si nanospheres"Journal of Applied Physics. 91. 3232-3235 (2002)

    • 関連する報告書
      2002 実績報告書
  • [文献書誌] H.Kohno 他: "Silicon nanoneedles grown by a simple thermal treatment using metal -sulfur catalysts"Japanese Journal of Applied Physics Part1. 41. 577-578 (2002)

    • 関連する報告書
      2002 実績報告書
  • [文献書誌] 竹田精治 他: "ナノサイズのシリコン球体チェーンの作成技術"工業材料. 50. 53-56 (2002)

    • 関連する報告書
      2002 実績報告書
  • [文献書誌] 河野日出夫 他: "シリコンナノ結晶チェーンの高効率生産技術"化学装置. 44. 62-64 (2002)

    • 関連する報告書
      2002 実績報告書
  • [文献書誌] 河野日出夫(分担執筆)他: "電子顕微鏡法の実践と写真集"日本鉄鋼教会, 日本金属学会. 254 (2002)

    • 関連する報告書
      2002 実績報告書
  • [文献書誌] 竹田精治 他(分担執筆): "ナノ粒子の製造・評価・応用・機器の最新技術"シーエムシー出版. 272 (2002)

    • 関連する報告書
      2002 実績報告書

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公開日: 2002-04-01   更新日: 2016-04-21  

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