One-by-oneドーピング法による特性ゆらぎのない極微半導体デバイスの実現

• 研究課題/領域番号: 14750240
• 研究種目: 若手研究(B)
• 配分区分: 補助金
• 研究分野: 電子・電気材料工学
• 研究機関: 早稲田大学
• 研究代表者: 品田 賢宏 早稲田大, 理工学部, 助手 (30329099)
• 研究期間 (年度): 2002
• 研究課題ステータス: 完了 (2002年度)
• 配分額: 3,900千円 (直接経費: 3,900千円); 2002年度: 3,900千円 (直接経費: 3,900千円)