| 研究分担者 |
白藤 立 京都大学, 産官学連携センター, 准教授 (10235757)
中村 敏浩 京都大学, 大学院・工学研究科, 講師 (90293886)
久保 寔 京都大学, 大学院・工学研究科, 助教 (80089127)
酒井 道 京都大学, 大学院・工学研究科, 講師 (30362445)
|
|---|
| 配分額 *注記 |
120,600千円 (直接経費: 120,600千円)
2007年度: 20,300千円 (直接経費: 20,300千円)
2006年度: 23,300千円 (直接経費: 23,300千円)
2005年度: 22,800千円 (直接経費: 22,800千円)
2004年度: 29,500千円 (直接経費: 29,500千円)
2003年度: 24,700千円 (直接経費: 24,700千円)
|
|---|
| 研究概要 |
5年間の研究期間を通して,我々の主な課題はミクロ反応場としての各種マイクロプラズマに対して,その中のプラズマパラメータや活性種を必要な時空間分解能で計測できる診断法を開発することであった.まず,最初の計測対象としてプラズマディスプレイパネルの単一放電セルを選択し,蛍光体励起用紫外線発光源である励起Xe原子の3次元的計測を,その目的に開発した特殊な放電セルと半導体レーザー吸収分光法を用いて遂行し,発光効率改善に必要な基礎データを集積した,また,同様の方法をマイクロ放電集積型大面積大気圧プラズマの診断にも活用した.続いて,同じプラズマ源にミリ波領域の電磁波の透過法を同じ集積型プラズマ源に適用し,電子密度n_eの空間的な平均値を高い時間分解能で測定することに成功した.その発展形として,fsレーザーを用いたTHz領域時間分解分光法も開発し,現在,それを用いたn_eと衝突周波数v_eの同時計測も進めている.逆に,時間的な応答速度は遅いが高い空間分解能を得る方法として,波長10.6μmのCO_2レーザーを用いたヘテロダイン干渉法を開発し,パルスDC型のマイクロプラズマジェットについて計測を行っている.
一方で,マイクロプラズマの新しい機能を引き出すための研究も進めた.その具体的な例として,マイクロプラズマの2次元的な配列によって,ミリ波縲怎Tブミリ波領域の電磁波に対してフォトニック結晶のような効果を発現できることを実証した.さらに他の方向として,気液2相の混合した人工的媒質中でのマイクロ放電プラズマ研究の端緒として,独自開発した織物状電極を用いて,電解質溶液中の電気分解で電極上に発生したH_2あるいはO_2の微小なバブルを放電させる実験を行った.その診断や新規応用への展開を継続的に進めていく予定である.
|
