• 研究課題をさがす
  • 研究者をさがす
  • KAKENの使い方
  1. 前のページに戻る

サブフェムト秒・アト秒電子線励起時間分解吸収分光法の基礎研究

研究課題

研究課題/領域番号 15206109
研究種目

基盤研究(A)

配分区分補助金
応募区分一般
研究分野 原子力学
研究機関大阪大学

研究代表者

吉田 陽一  大阪大学, 産業科学研究所, 教授 (50210729)

研究分担者 田川 精一  大阪大学, 産業科学研究所, 教授 (80011203)
古澤 孝弘  大阪大学, 産業科学研究所, 助教授 (20251374)
関 修平  大阪大学, 産業科学研究所, 助教授 (30273709)
誉田 義英  大阪大学, 産業科学研究所, 助教授 (40209333)
楊 金峰  大阪大学, 産業科学研究所, 助手 (90362631)
研究期間 (年度) 2003 – 2005
研究課題ステータス 完了 (2005年度)
配分額 *注記
30,290千円 (直接経費: 23,300千円、間接経費: 6,990千円)
2005年度: 7,670千円 (直接経費: 5,900千円、間接経費: 1,770千円)
2004年度: 11,570千円 (直接経費: 8,900千円、間接経費: 2,670千円)
2003年度: 11,050千円 (直接経費: 8,500千円、間接経費: 2,550千円)
キーワード計測工学 / パルスラジオリシス / フェムト秒電子パルス / アト秒電子パルス / 時間分解呼吸分光 / 超高速反応解析 / ダブルデッカー電子ビーム / フォトカソードRF電子銃 / 電子線励起時間分解吸収分光 / ダブルデッカー電子加速器 / フォトカソードRF電子銃加速器 / サブフェムト秒電子線励起時間分解吸収分光 / アト秒電子線連記時間分解吸収分光 / ダブルテッカー電子加速器 / サブフェムト秒電子パルス / アト秒電子線励起時間分解吸収分光
研究概要

電子線励起時間分解吸収分光法(パルスラジオリシス法)は、量子ビーム誘起現象を直接的に測定する手法であり、量子ビーム誘起現象の超高速現象の解明にとって重要な手法である。本研究では、量子ビームによる次世代微細加工技術の確立に不可欠なフェムト秒パルスラジオリシスを確立するための基礎研究を実施した。
レーザーフォトカソードRF電子銃ライナックを用いた低エミッタンス電子ビームの発生技術、磁気パルス器における高次効果の補正技術を確立し、世界最短98フェムト秒電子パルスの発生に成功した。また、加速器の高精度制御技術、空間電荷効果の低減技術を開発し、50fs以下の電子パルスの発生方法を確立した。
フェムト秒パルスラジオリシスでは、時間領域が短くなるに伴い、電子線パルスと分析光パルスの生成およびその時間ジッター、サンプル中での電子線パルスと分析光パルスの速度差による時間分分解能劣化の問題が生じ、原理的にもその実現は困難視されてきた。そこで、今までにない全く新しいコンセプトのパルスラジオリシス法を考案し、原理実証を行った。本パルスラジオリシス法では、電子線パルスと分析光パルスの時間ジッターを無くすため、従来の分析レーザーを使わない、電子線パルスと分析光の発生を1台の加速器で実現するダブルデッカービームの加速器を開発し、世界初めて1台の加速器で上下2つのフェムト秒パルス電子線の発生に成功した。また、サンプル中での時間分解能劣化を防止するための電子線パルスと分析光パルスを屈折率に応じて角度をつけてサンプルに入射する等価速度分光法と呼ばれる新方式を開発し、パルスラジオリシス時間分解能の向上に成功した。また、等価速度分光法を用いたパルスラジオリシスでは、時間分解能への効果だけではなく、吸収強度が明らかに大きく取れることも実験的に確認した。

報告書

(4件)
  • 2005 実績報告書   研究成果報告書概要
  • 2004 実績報告書
  • 2003 実績報告書
  • 研究成果

    (43件)

すべて 2006 2005 2004 2003 その他

すべて 雑誌論文 (38件) 図書 (1件) 文献書誌 (4件)

  • [雑誌論文] Pulse radiolysis based on a femtosecond electron beam and a femtosecond laser light with double-pulse injection technique2006

    • 著者名/発表者名
      J.Yang, T.Kondoh, T.Kozawa, Y.Yoshida, S.Tagawa
    • 雑誌名

      Radiation Physics and Chemistry (in press)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2005 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Double-decker femtosecond electron beam accelerator for pulse radiolysis2006

    • 著者名/発表者名
      J.Yang, T.Kondoh, A.Yoshida, Y.Yoshida
    • 雑誌名

      Review of Scientific Instruments 77(in press)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2005 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Equivalent Velocity Spectroscopy for Femtosecond Pulse Radiolysis2006

    • 著者名/発表者名
      T.Kondoh, J.Yang, T.Kozawa, S.Tagawa, Y.Yoshida
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics (In press)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2005 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Femtosecond single electron bunch generation by rotating longitudinal bunch phase space in magnetic field2006

    • 著者名/発表者名
      J.Yang, T.Kondoh, K.Kan, T.Kozawa, Y.Yoshida, S.Tagawa
    • 雑誌名

      Nuclear Instruments and Methods in Physics Research A 556

      ページ: 52-56

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2005 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Equivalent Velocity Spectroscopy for Femtosecond Pulse Radiolysis2006

    • 著者名/発表者名
      T.Kondoh, J.Yang, T.Kozawa, S.Tagawa, Y.Yoshida
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics (in press)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2005 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Femtosecond single electron bunch generation by rotating longitudinal bunch phase space in magnetic field2006

    • 著者名/発表者名
      J.Yang, T.Kondoh, K.Kan, T.Kozawa, Y.Yoshida, S.Tagawa
    • 雑誌名

      Nucl.Instr.and Meth.A 556

      ページ: 52-56

    • 関連する報告書
      2005 実績報告書
  • [雑誌論文] Experimental Studies of Transverse and Longitudinal Beam Dynamics in Photoinjector2005

    • 著者名/発表者名
      J.Yang, T.Kondoh, Y.Yoshida, S.Tagawa
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics 44

      ページ: 8702-8707

    • NAID

      10016959691

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2005 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Proton and anion distribution and line edge roughness of chemically amplified electron beam resist2005

    • 著者名/発表者名
      T.Kozawa, H.Yamamoto, A.Saeki, S.Tagawa
    • 雑誌名

      Journal of Vacuum Science Technology B 23

      ページ: 2716-2720

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2005 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Basic Aspects of Acid Generation Process in Chemically Amplified Electron Beam Resist2005

    • 著者名/発表者名
      T.Kozawa, S.Tagawa
    • 雑誌名

      Journal of Photopolymer Science and Technology., 18

      ページ: 471-474

    • NAID

      130004464438

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2005 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Synchronization of femtosecond UV-IR laser with electron beam for pulse radiolysis studies2005

    • 著者名/発表者名
      A.Saeki, T.Kozawa, S.Kashiwagi, K.Okamoto, G.Isoyama, Y.Yoshida, S.Tagawa
    • 雑誌名

      Nuclear Instruments and Methods in Physics Research A 546

      ページ: 627-633

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2005 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Correlation between Edge Roughness of Nanostructures and Backbone Configuration of Polymer Materials2005

    • 著者名/発表者名
      S.Seki, S.Tsukuda, S.Tagawa, M.Sugimoto
    • 雑誌名

      Journal of Photopolymer Science and Technology., 18

      ページ: 449-450

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2005 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Basic Aspects of Acid Generation Process in Chemically Amplified Electron Beam Resist2005

    • 著者名/発表者名
      T.Kozawa, S.Tagawa
    • 雑誌名

      Journal of Photopolymer Science and Technology 18

      ページ: 471-474

    • NAID

      130004464438

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2005 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Correlation between Edge Roughness of Nanostructures and Backbone Configuration of Polymer Materials2005

    • 著者名/発表者名
      S.Seki, S.Tsukuda, S.Tagawa, M.Sugimoto
    • 雑誌名

      Journal of Photopolymer Science and Technology. 18

      ページ: 449-450

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2005 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Experimental Studies of Transverse and Longitudinal Beam Dynamics in Photoinjector2005

    • 著者名/発表者名
      J.Yang, T.Kondoh, Y.Yoshida, S.Tagawa
    • 雑誌名

      Jpn.J.Appl.Phys. 44

      ページ: 8702-8707

    • NAID

      10016959691

    • 関連する報告書
      2005 実績報告書
  • [雑誌論文] Proton and anion distribution and line edge roughness of chemically amplified electron beam resist2005

    • 著者名/発表者名
      T.Kozawa, H.Yamamoto, A.Saeki, S.Tagawa
    • 雑誌名

      J.Vac.Sci.Technol.B 23

      ページ: 2716-2720

    • 関連する報告書
      2005 実績報告書
  • [雑誌論文] Basic Aspects of Acid Generation Process in Chemically Amplified Electron Beam Resist2005

    • 著者名/発表者名
      T.Kozawa, Seiichi Tagawa
    • 雑誌名

      J.Photopolym.Sci.Technol. 18

      ページ: 471-474

    • NAID

      130004464438

    • 関連する報告書
      2005 実績報告書
  • [雑誌論文] Synchronization of femtosecond UV-IR laser with electron beam for pulse radiolysis studies2005

    • 著者名/発表者名
      A.Saeki, T.Kozawa, S.Kashiwagi, K.Okamoto, G.Isoyama, Y.Yoshida, S.Tagawa
    • 雑誌名

      Nucl.Instrum.Meth.A 546

      ページ: 627-633

    • 関連する報告書
      2005 実績報告書
  • [雑誌論文] Correlation between Edge Roughness of Nanostructures and Backbone Configuration of Polymer Materials2005

    • 著者名/発表者名
      S.Seki, S.Tsukuda, S.Tagawa, M.Sugimoto
    • 雑誌名

      J.Photopolym.Sci.Technol. 18

      ページ: 449-450

    • 関連する報告書
      2005 実績報告書
  • [雑誌論文] Modeling and simulation of chemically amplified electron beam, x-ray, and EUV resist processes2004

    • 著者名/発表者名
      T.Kozawa, A.Saeki, S.Tagawa
    • 雑誌名

      Journal of Vacuum Science Technology B 22

      ページ: 3489-3492

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2005 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Adjacent Effect on Positive Charge Transfer from Radical Cation of n-Dodecane to Scavenger Studied by Picosecond Pulse Radioly sis, Statistical Model, and Monte Carlo Simulation2004

    • 著者名/発表者名
      A.Saeki, T.Kozawa, Y.Yoshida, S.Tagawa
    • 雑誌名

      Journal of Physics and Chemistry A 108

      ページ: 1475-1481

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2005 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Precise Control of Nanowire Formation Based on Polysilane for Photoelectronic Device Application2004

    • 著者名/発表者名
      S.Tsukuda, S.Seki, A.Saeki, T.Kozawa, S.Tagawa et al.
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics 43

      ページ: 3810-3814

    • NAID

      10013275865

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2005 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Polymer Screening Method for Chemically Amplified Electron Beam and X-Ray Resists2004

    • 著者名/発表者名
      H.Yamamoto, A.Nakano, K.Okamoto, T.Kozawa, S.Tagawa
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics 43

      ページ: 3971-3973

    • NAID

      10013276391

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2005 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Effects of Ester Groups on Proton Generation and Diffusion in Polymethacrylate Matrices2004

    • 著者名/発表者名
      A.Nakano, K.Okamoto, T.Kozawa, S.Tagawa
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics 43

      ページ: 3981-3983

    • NAID

      10013276420

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2005 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Pulse Radiolysis Study on Proton and Charge Transfer Reactions in Solid Poly(methyl methacrylate)2004

    • 著者名/発表者名
      A.Nakano, K.Okamoto, T.Kozawa, S.Tagawa
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics 43

      ページ: 4363-4367

    • NAID

      10013317792

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2005 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Precise Control of Nanowire Formation Based on Polysilane for Photoelectronic Device Application2004

    • 著者名/発表者名
      S.Tsukuda, S.Seki, A.Saeki, T.Kozawa, S.Tagawa
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics 43

      ページ: 3810-3814

    • NAID

      10013275865

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2005 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Effects of Ester Groups on Proton Generation and Diffusion in Polymethacrylate Matrices2004

    • 著者名/発表者名
      A.Nakano, K.Okamoto, T.Kozawa, S.Tawaga
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics 43

      ページ: 3981-3983

    • NAID

      10013276420

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2005 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Pulse Radiolysis Study on Proton and Charge Transfer Reactions in Solid Poly(methyl methacrylate)2004

    • 著者名/発表者名
      A.Nakano, K.Okamoto, T.Kozawa, S.Tawaga
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics 43

      ページ: 4363-4367

    • NAID

      10013317792

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2005 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Modeling and simulation of chemically amplified electron beam, x-ray, and EUV resist processes2004

    • 著者名/発表者名
      T.Kozawa, A.Saeki, S.Tagawa
    • 雑誌名

      J.Vac.Sci.Technol. B22

      ページ: 3489-3492

    • 関連する報告書
      2004 実績報告書
  • [雑誌論文] Adjacent Effect on Positive Charge Transfer from Radical Cation of n-Dodecane to Scavenger Studied by Picosecond Pulse Radiolysis, Statistical Model, and Monte Carlo Simulation2004

    • 著者名/発表者名
      A.Saeki, T.Kozawa, Y.Yoshida, S.Tagawa
    • 雑誌名

      J.Phys.Chem. A108

      ページ: 1475-1481

    • 関連する報告書
      2004 実績報告書
  • [雑誌論文] Precise Control of Nanowire Formation Based on Polysilane for Photoelectronic Device Application2004

    • 著者名/発表者名
      S.Tsukuda, S.Seki, A.Saeki, T.Kozawa, S.Tagawa et al.
    • 雑誌名

      Jpn.J.Appl.Phys. 43

      ページ: 3810-3814

    • NAID

      10013275865

    • 関連する報告書
      2004 実績報告書
  • [雑誌論文] Polymer Screening Method for Chemically Amplified Electron Beam and X-Ray Resists2004

    • 著者名/発表者名
      H.Yamamoto, A.Nakano, K.Okamo to, T.Kozawa, S.Tagawa
    • 雑誌名

      Jpn.J.Appl.Phys. 43

      ページ: 3971-3973

    • NAID

      10013276391

    • 関連する報告書
      2004 実績報告書
  • [雑誌論文] Effects of Ester Groups on Proton Generation and Diffusion in Polymethacrylate Matrices2004

    • 著者名/発表者名
      A.Nakano, K.Okamoto, T.Kozawa, S.Tagawa
    • 雑誌名

      Jpn.J.Appl.Phys. 43

      ページ: 3981-3983

    • NAID

      10013276420

    • 関連する報告書
      2004 実績報告書
  • [雑誌論文] Pulse Radiolysis Study on Proton and Charge Transfer Reactions in Solid Poly(methyl methacrylate)2004

    • 著者名/発表者名
      A.Nakano, K.Okamoto, T.Kozawa, S.Tagawa
    • 雑誌名

      Jpn.J.Appl.Phys. 43

      ページ: 4363-4367

    • NAID

      10013317792

    • 関連する報告書
      2004 実績報告書
  • [雑誌論文] Subpicosecond Pulse Radiolysis Study of Geminate Ion Recombination in Liquid Benzene2003

    • 著者名/発表者名
      K.Okamoto, A.Saeki, T.Kozawa, Y.Yoshida, S.Tagawa
    • 雑誌名

      Chemical Letters 32

      ページ: 834-835

    • NAID

      10012819332

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2005 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Spatial Beam Profiles of Femtosecond X-ray Pulses Generated by Laser Compton Scattering from a Low-emittance Electron Beam2003

    • 著者名/発表者名
      M.Yorozu, J.Yang, Y.Okada, T.Yanagida, F.Sakai, S.Ito, A.Endo
    • 雑誌名

      Applied Physics B 76

      ページ: 293-297

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2005 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Quantum Efficiencies of Mg Photocathode under Illumination with 3^<rd> and 4^<th> Harmonics Nd: LiYF4 Laser Light in RF Gun2003

    • 著者名/発表者名
      T.Nakajyo, J.Yang, F.Sakai, Y.Aoki
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics 42

      ページ: 1470-1474

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2005 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Adjacent Effect on Positive Charge Transfer from Radical Cation of n-Dodecane to Scavenger Studied by Picosecond Pulse Radiolysis, Statistical Model, and Monte Carlo Simulation2003

    • 著者名/発表者名
      A.Saeki, T.Kozawa, Y.Yoshida, S.Tagawa
    • 雑誌名

      Journal of Physics and Chemistry A 108

      ページ: 1475-1481

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2005 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Quantum Efficiencies of Mg Photocathode under Illumination with 3^<rd> and 4^<th> Harmonics Nd:LiYF4 Laser Light in RF Gun2003

    • 著者名/発表者名
      T.Nakajyo, J.Yang, F.Sakai, Y.Aoki
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics 42

      ページ: 1470-1474

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2005 研究成果報告書概要
  • [図書] 放射線化学のすすめ2006

    • 著者名/発表者名
      吉田 陽一 等
    • 総ページ数
      268
    • 出版者
      学会出版センター
    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2005 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] K.Okamoto: "Subpicosecond Pulse Radiolysis Study of Geminate Ion Recombination in Liquid Benzene"Chemical Letters. 32. 834-835 (2003)

    • 関連する報告書
      2003 実績報告書
  • [文献書誌] M.Yorozu: "Spatial Beam Profiles of Femtosecond X-ray Pulses Generated by Laser Compton Scattering from a Low-emittance Electron Beam"Applied Physics. B76. 293-297 (2003)

    • 関連する報告書
      2003 実績報告書
  • [文献書誌] T.Nakajyo: "Quantum Efficiencies of Mg Photocathode under Illumination with 3^<rd> and 4^<th> Harmonics Nd:LiYF4 Laser Light in RF Gun"Japanese Journal of Applied Physics. 42. 1470-1474 (2003)

    • 関連する報告書
      2003 実績報告書
  • [文献書誌] A.Saeki: "Adjacent Effect on Positive Charge Transfer from Radical Cation of n-Dodecane to Scavenger Studied by Picosecond Pulse Radiolysis, Statistical Model, and Monte Carlo Simulation"Journal of Physics and Chemistry A. 108. 1475-1481 (2003)

    • 関連する報告書
      2003 実績報告書

URL: 

公開日: 2003-04-01   更新日: 2016-04-21  

サービス概要 検索マニュアル よくある質問 お知らせ 利用規程 科研費による研究の帰属

Powered by NII kakenhi