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ER流体のマイクロギャップにおける流動特性とその触覚ディスプレイへの応用

研究課題

研究課題/領域番号 15310099
研究種目

基盤研究(B)

配分区分補助金
応募区分一般
研究分野 マイクロ・ナノデバイス
研究機関山形大学

研究代表者

中野 政身  山形大学, 工学部, 教授 (40147947)

研究分担者 松下 浩一  山形大学, 大学院・理工学研究科, 教授 (70124625)
佐藤 聡  山形大学, 工学部, 助手 (40333992)
研究期間 (年度) 2003 – 2005
研究課題ステータス 完了 (2005年度)
配分額 *注記
16,000千円 (直接経費: 16,000千円)
2005年度: 1,300千円 (直接経費: 1,300千円)
2004年度: 1,100千円 (直接経費: 1,100千円)
2003年度: 13,600千円 (直接経費: 13,600千円)
キーワードER流体 / せん断流れ / スクイーズ流れ / 圧力流れ / マイク直ギャップ流れ / ERバルブ / マイクロアクチュエータ / 点字表示システム / せん断流れモード / マイクロギャップ流れ / ナノ粒子ER流体 / 流動パターン / 押上力 / スクイーズ流れモード / 圧力流れモード / マイクロ流動特性 / ER効果 / ON-OFF制御
研究概要

ER流体は,外部電場の作用の下で粘性を数ミリ秒のオーダーで可逆的に変化できる機能性流体である.本研究では,ER流体を用いたブレーキ,ダンパ及びパルプ等の各種機械要素が全く可動部を持たない電極対だけによって構成できるため小型化が可能であるという特徴を活かして,ER流体を作動媒体とする一種の触覚ディスプレイとしての点字表示システムを構築することを目的に,以下の研究を実施した.
(1)ER流体マイクロシステムの設計の基本となる圧力流れ,回転せん断流れ及び振動スクイーズ流れの三種の流れモードに関して,二種類のマイクロ粒子分散系ER流体と一種類のナノ粒子ER流体を取り上げ,0.05〜0.3mm程度のマイクロギャップをもつこれら三種の流れモードにおける流動特性を可視化観察によって明らかにし,それぞれのER特性との関連性について検討し,マイクロギャップ流れに適した分散系ER流体とその応用に際しての設計指針を提示した.
(2)マイクロ粒子分散系ER流体を作動媒体とする3ポートマイクロERバルブと2つのERバルブで駆動されるダイアフラム型マイクロアクチュエータとをフォトリソグラフィ法によって構築し,それぞれ流量制御特性とPID位置フィードバック制御を適用した場合のダイアフラムの応答特性とからその性能評価を行い,点字表示システムのアクチュエータとしての可能性を検討した.
(3)点字表示システムの1つの凸ピンを駆動するためのストロークと押上力の得られるマイクロベローズを用いたマイクロアクチュエータをフォトリソグラフィ法によって製作して,その性能を評価した.供給圧力が550kPa以上で凸ピンのストローク0.5mmと十分な押上力(0.15N)が確保できることを実験的に示し,2つのERバルブをON-OFF制御することによって凸ピンの駆動を実現している.

報告書

(4件)
  • 2005 実績報告書   研究成果報告書概要
  • 2004 実績報告書
  • 2003 実績報告書
  • 研究成果

    (59件)

すべて 2006 2005 2004 2003 その他

すべて 雑誌論文 (51件) 図書 (5件) 文献書誌 (3件)

  • [雑誌論文] 第6回JFPSフルードパワーに関する国際シンポジュウムのOS : "Functional Fluids and Smart Fluid Power Systems"に見る研究動向2006

    • 著者名/発表者名
      中野 政身
    • 雑誌名

      「機能性流体を用いたスマートフルードパワーシステムに関する研究委員会」研究成果報告書

      ページ: 9-13

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2005 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] 粒子分散系ER流体のレオロジー・流れ特性とマイクロアクチュエータへの応用2006

    • 著者名/発表者名
      中野 政身
    • 雑誌名

      「機能性流体を用いたスマートフルードパワーシステムに関する研究委員会」研究成果報告書

      ページ: 20-27

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2005 実績報告書 2005 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] 機能性流体の現状と今後の展望2006

    • 著者名/発表者名
      中野 政身
    • 雑誌名

      精密工学会誌 72巻7号(in press)

    • NAID

      110004776191

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2005 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Usefulness of spoken EFL learner-based definitions2006

    • 著者名/発表者名
      TOMITA, NAKAYAMA, RYAN, HONDA, SATO, TANI, ANTHONY
    • 雑誌名

      Proceedings of 4^<th> Hawaii International Conference on Education ISSN# 1541-5880

      ページ: 6080-6089

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2005 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Research trends in OS : "Functional fluids and smart fluid power systems" of the 6^<th> JFPS Int.Symp.on fluid power2006

    • 著者名/発表者名
      M.Nakano
    • 雑誌名

      Report of Research Committee on Smart Fluid Power Systems utilizing Functional Fluids, JFPS

      ページ: 9-13

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2005 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Rheological properties and flow behavior of electro-rheological suspension and its application to micro-actuator fabricated by photolithography2006

    • 著者名/発表者名
      M.Nakano
    • 雑誌名

      Report of Research Committee on Smart Fluid Power Systems utilizing Functional Fluids, JFPS

      ページ: 20-27

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2005 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] State of art and future prospects on functional fluids2006

    • 著者名/発表者名
      M.Nakano
    • 雑誌名

      Transactions of Precision Engineering 72-7(in press)

    • NAID

      110004776191

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2005 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] 第6回JFPSフルードパワーに関する国際シンポジュウムのOS : "Functional Fluids and Smart Fuild Power Systems"に見る研究動向2006

    • 著者名/発表者名
      中野 政身
    • 雑誌名

      「機能性流体を用いたスマートフルードパワーシステムに関する研究委員会」研究成果報告書

      ページ: 9-13

    • 関連する報告書
      2005 実績報告書
  • [雑誌論文] 機能性流体を用いたスマートフルードパワーシステムに関する研究委員会の活動と将来展望2005

    • 著者名/発表者名
      中野 政身
    • 雑誌名

      フルードパワーシステム 36巻1号

      ページ: 43-47

    • NAID

      10029808580

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2005 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Evaluations of cluster structure and magneto-rheology of MR suspensions2005

    • 著者名/発表者名
      Hideya Nishiyama
    • 雑誌名

      International Journal of Modern Physics B Vol.19・No.7-9

      ページ: 1437-1442

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2005 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Dynamic shear flow behavior of magneto-rheological fluid between two rotating parallel disks under relatively weak magnetic field2005

    • 著者名/発表者名
      Masami Nakano
    • 雑誌名

      JSME International Journal, Series B Vol.48・No.3

      ページ: 494-500

    • NAID

      110004820210

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2005 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Dynamic shear flow of electro-rheological fluids between two rotating parallel disks2005

    • 著者名/発表者名
      Masami Nakano
    • 雑誌名

      CD-ROM Proceedings of the Sixth JFPS Int. Symp. on Fluid Power Paper No.2D4-5

      ページ: 1-6

    • NAID

      130004317643

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2005 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] ER properties and flow behavior of an ER fluid between two parallel disks in oscillatory squeeze flow mode2005

    • 著者名/発表者名
      Masami Nakano
    • 雑誌名

      CD-ROM Proceedings of Second International Conference on Flow Dynamics Paper-OS6-1 2

      ページ: 1-12

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2005 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] 平成16年度の機能性流体分野の研究動向2005

    • 著者名/発表者名
      中野 政身
    • 雑誌名

      フルードパワーシステム(電子出版緑陰特集号) 36巻・E1号

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2005 実績報告書 2005 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Homoepitaxial growth of ZnO films on ZnO(1120) substrates2005

    • 著者名/発表者名
      Koichi Matsushita
    • 雑誌名

      Applied Surface Science 244

      ページ: 373-376

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2005 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Word association quizzes for improving EFL learners' speaking and listening skills2005

    • 著者名/発表者名
      TOMITA, NAKAYAMA, RYAN, HONDA, SATO, TANI, ANTHONY
    • 雑誌名

      Proceedings of 3rd Hawaii International Conference on Education ISSN# 1541-5880

      ページ: 4768-4777

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2005 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Research Activities and Future View in Research Committee on Smart Fluid Power Systems utilizing Functional Fluids2005

    • 著者名/発表者名
      M.Nakano
    • 雑誌名

      Fluid Power System 36-1

      ページ: 43-47

    • NAID

      10029808580

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2005 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Evaluations of cluster structure and magneto-rheology of MR suspensions2005

    • 著者名/発表者名
      H.Nishiyama
    • 雑誌名

      International Journal of Modem Physics B 19-7/8/9

      ページ: 1437-1442

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2005 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Dynamic shear flow behavior of magneto-rheological fluid between two rotating parallel disks under relatively weak magnetic field2005

    • 著者名/発表者名
      M.Nakano
    • 雑誌名

      JSME International Journal, Series B 48-3

      ページ: 494-500

    • NAID

      110004820210

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2005 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Dynamic shear flow of electro-rheological fluids between two rotating parallel disks2005

    • 著者名/発表者名
      M.Nakano
    • 雑誌名

      Proc.of the Sixth JFPS Int.Symp.on Fluid Power Paper No.2D4-5(CD-ROM)

      ページ: 1-6

    • NAID

      130004317643

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2005 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] ER properties and flow behavior of an ER fluid between two parallel disks in oscillatory squeeze flow mode2005

    • 著者名/発表者名
      M.Nakano
    • 雑誌名

      Proc.of Second Int.Conf.on Flow Dynamics Paper-OS6-12(CD-ROM)

      ページ: 1-12

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2005 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Trend in Research Field on Functional Fluids in 20042005

    • 著者名/発表者名
      M.Nakano
    • 雑誌名

      Fluid Power System 36-E1(E-publication)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2005 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Evaluations of cluster structure and magneto-rheology of MR suspensions2005

    • 著者名/発表者名
      Hideya Nishiyama
    • 雑誌名

      International Journal of Modern Physics B 19巻・7-9号

      ページ: 1437-1442

    • 関連する報告書
      2005 実績報告書
  • [雑誌論文] Dynamic shear flow behavior of magneto-rheological fluid between two rotating parallel disks under relatively weak magnetic field2005

    • 著者名/発表者名
      Masami Nakano
    • 雑誌名

      JSME International Journal, Series B 48巻・3号

      ページ: 494-500

    • NAID

      110004820210

    • 関連する報告書
      2005 実績報告書
  • [雑誌論文] Dynamic shear flow of electro-rheological fluids between two rotating parallel disks2005

    • 著者名/発表者名
      Masami Nakano
    • 雑誌名

      CD-ROM Proceedings of the Sixth JFPS Int. Symp.on Fluid Power Paper No.2D4-5

      ページ: 1-6

    • NAID

      130004317643

    • 関連する報告書
      2005 実績報告書
  • [雑誌論文] ER properties and flow behavior of an ER fluid between two parallel disks in oscillatory squeeze flow mode2005

    • 著者名/発表者名
      Masami Nakano
    • 雑誌名

      Abstracts of Second International Conference on Flow Dynamics Paper-OS6-12

      ページ: 6-12

    • 関連する報告書
      2005 実績報告書
  • [雑誌論文] 分散系ER流体の回転平行円盤間マイクロギャップフローの動的挙動2005

    • 著者名/発表者名
      気田 亮介
    • 雑誌名

      JSME東北支部第41期秋期講演会講演論文集 No.2005-2

      ページ: 141-142

    • 関連する報告書
      2005 実績報告書
  • [雑誌論文] ER・MR流体を活用した減衰力可変ダンパと制振技術2004

    • 著者名/発表者名
      中野政身
    • 雑誌名

      フルードパワーシステム 35巻3号

      ページ: 191-196

    • NAID

      10029808332

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2005 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] 粒子分散系ER流体を用いたマイクロアクチュエータ2004

    • 著者名/発表者名
      中野政身
    • 雑誌名

      フルードパワーシステム 35巻6号

      ページ: 32-36

    • NAID

      10029808482

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2005 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Dynamic shear flow behavior of electro-rheological suspensions between two rotating parallel disks2004

    • 著者名/発表者名
      Masami Nakano
    • 雑誌名

      CD-ROM Proceedings of First International Conference on Flow Dynamics Paper-OS3-1 9

      ページ: 1-19

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2005 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] ER suspension-driven diaphragm micro-actuator fabricated by photolithography2004

    • 著者名/発表者名
      Masami Nakano
    • 雑誌名

      Abstract of 9^<th> Int. Conf. on ER fluids and MR suspensions

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2005 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] ER properties and flow behavior of an ER fluid in oscillatory squeeze flow mode2004

    • 著者名/発表者名
      Masami Nakano
    • 雑誌名

      Abstract of 9^<th> Int. Conf. on ER fluids and MR suspensions

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2005 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Properties of ZnO films prepared by MO-CVD under oxygen rich condition on sapphire substrate2004

    • 著者名/発表者名
      Koichi Matsushita
    • 雑誌名

      Physica Status Solidi(c) 1-4

      ページ: 912-915

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2005 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Acquisition of vowel quality by Japanese learners2004

    • 著者名/発表者名
      TOMITA, NAKAYAMA, RYAN, HONDA, SATO, TANI, ANTHONY
    • 雑誌名

      Handbook of Generative Approach to Language Acquisition North America

      ページ: 51-51

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2005 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Damping force-controllable dampers utilizing ER & MR fluids and the associated vibration suppression technology2004

    • 著者名/発表者名
      M.Nakano
    • 雑誌名

      Fluid Power System 35-3

      ページ: 191-196

    • NAID

      10029808332

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2005 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Electro-rheological suspension-driven micro-actuator fabricated by photolithography2004

    • 著者名/発表者名
      M.Nakano
    • 雑誌名

      Fluid Power System 35-6

      ページ: 32-36

    • NAID

      10029808482

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2005 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Dynamic shear flow behavior of electro-rheological suspensions between two rotating parallel disks2004

    • 著者名/発表者名
      M.Nakano
    • 雑誌名

      Proc.of First Int.Conf.on Flow Dynamics. Paper-OS3-19(CD-ROM)

      ページ: 1-19

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2005 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] ER suspension-driven diaphragm micro-actuator fabricated by photolithography2004

    • 著者名/発表者名
      M.Nakano
    • 雑誌名

      Abstract of 9^<th> Int.Conf.on ER fluids and MR suspensions

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2005 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] ER properties and flow behavior of an ER fluid in oscillatory squeeze flow mode2004

    • 著者名/発表者名
      M.Nakano
    • 雑誌名

      Abstract of 9^<th> Int.Conf.on ER fluids and MR suspensions

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2005 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Properties of ZnO films prepared by MO-CVD under oxygen rich condition on sapphire substrate2004

    • 著者名/発表者名
      K.Matsushita
    • 雑誌名

      Physics Status Solidi (c) 1-4

      ページ: 912-915

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2005 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] ER・MR流体を活用した減衰力可変ダンパと制振技術2004

    • 著者名/発表者名
      中野政身
    • 雑誌名

      フルードパワーシステム 第35巻3号

      ページ: 191-196

    • NAID

      10029808332

    • 関連する報告書
      2004 実績報告書
  • [雑誌論文] 粒子分散系ER流体を用いたマイクロアクチュエータ2004

    • 著者名/発表者名
      中野政身
    • 雑誌名

      フルードパワーシステム 第35巻6号

      ページ: 32-36

    • NAID

      10029808482

    • 関連する報告書
      2004 実績報告書
  • [雑誌論文] Dynamic shear flow behavior of electro-rheological suspensions between two rotating parallel disks2004

    • 著者名/発表者名
      Masami Nakano
    • 雑誌名

      Proceedings of First International Conference on Flow Dynamics Paper-OS3-19(CD-ROM)

      ページ: 1-19

    • 関連する報告書
      2004 実績報告書
  • [雑誌論文] ER suspension-driven diaphragm micro-actuator fabricated by photolithography2004

    • 著者名/発表者名
      Masami Nakano
    • 雑誌名

      Abstract of 9^<th> Int.Conf.on ER fluids and MR suspensions

    • 関連する報告書
      2004 実績報告書
  • [雑誌論文] ER properties and flow behavior of an ER fluid in oscillatory squeeze flow mode2004

    • 著者名/発表者名
      Masami Nakano
    • 雑誌名

      Abstract of 9^<th> Int.Conf.on ER fluids and MR suspensions

    • 関連する報告書
      2004 実績報告書
  • [雑誌論文] 回転平行円盤間の分散系ER流体の動的流動挙動2004

    • 著者名/発表者名
      中野政身
    • 雑誌名

      日本航空宇宙学会第36回流体力学講演会講演集

      ページ: 243-245

    • 関連する報告書
      2004 実績報告書
  • [雑誌論文] 分散系ER流体の振動スクイーズ流れモードにおけるレオロジー及び流れ特性2004

    • 著者名/発表者名
      中野政身
    • 雑誌名

      日本レオロジー学会第52回レオロジー討論会講演要旨集

      ページ: 20-21

    • 関連する報告書
      2004 実績報告書
  • [雑誌論文] ER・MR流体のレオロジー及び流れ特性とその工学的応用2004

    • 著者名/発表者名
      中野政身
    • 雑誌名

      日本機械学会流体工学部門講演会講演論文 No.04-25(CD-ROM版)

    • 関連する報告書
      2004 実績報告書
  • [雑誌論文] Three-ports micro ER valve for ER suspension fabricated by photolithography2003

    • 著者名/発表者名
      Masami Nakano
    • 雑誌名

      Journal of Intelligent Material Systems and Structures Vol.13,No.7/8

      ページ: 503-508

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2005 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Three-ports micro ER valve for ER suspension fabricated by photolithography2003

    • 著者名/発表者名
      M.Nakano
    • 雑誌名

      J.of Intelligent Material Systems and Structures 13-7/8

      ページ: 503-508

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2005 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Homoepitaxial growth of ZnO films on ZnO(1120) substrates

    • 著者名/発表者名
      K.Matsushita
    • 雑誌名

      Applied Surface Science 244

      ページ: 373-376

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2005 研究成果報告書概要
  • [図書] 「機能性流体を用いたスマートフルードパワーシステムに関する研究委員会」研究成果報告書2006

    • 著者名/発表者名
      中野 政身 編集
    • 総ページ数
      153
    • 出版者
      日本フルードパワーシステム学会
    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2005 実績報告書 2005 研究成果報告書概要
  • [図書] 機械工学便覧 基礎編α4「流体工学」,17・2・3「ER流体,液晶」2006

    • 著者名/発表者名
      中野 政身
    • 総ページ数
      229
    • 出版者
      日本機械学会編, 丸善
    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2005 研究成果報告書概要
  • [図書] Report of Research Committee on Smart Fluid Power Systems utilizing Functional Fluids2006

    • 著者名/発表者名
      M.Nakano editor
    • 総ページ数
      153
    • 出版者
      Japan Fluid Power System Society
    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2005 研究成果報告書概要
  • [図書] JSME Mechanical Engineers' Handbook, Fundamentals, α4 : Fluids Engineering, 17.2.3 "ER fluids, Liquid crystals"2006

    • 著者名/発表者名
      M.Nakano
    • 総ページ数
      229
    • 出版者
      The Japan Society of Mechanical Engineers, Maruzen
    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2005 研究成果報告書概要
  • [図書] 機械工学便覧 基礎編α4「流体工学」,17・2・3「ER流体,液晶」(日本機械学会編)2006

    • 著者名/発表者名
      中野 政身
    • 総ページ数
      229
    • 出版者
      丸善
    • 関連する報告書
      2005 実績報告書
  • [文献書誌] 中野政身: "分散系ER流体のスクイーズ流れモードにおけるレオロジー及び流動特性"日本機械学会東北支部第39期秋季講演会講演論文集. No.031-2. 131-132 (2003)

    • 関連する報告書
      2003 実績報告書
  • [文献書誌] 中野政身: "フォトリソグラフィー法によって製作した分散系ER流体マイクロアクチュエータ"日本フルードパワーシステム学会平成15年度秋季フルードパワーシステム講演会講演論文集. 75-77 (2003)

    • 関連する報告書
      2003 実績報告書
  • [文献書誌] M.Nakano: "Three-ports micro ER valve for ER suspension fabricated by photolithography"Journal of Intelligent Material Systems and Structures. Vol.13, No.7/8. 503-508 (2003)

    • 関連する報告書
      2003 実績報告書

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公開日: 2003-04-01   更新日: 2021-12-14  

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