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超短パルスレーザー照射によるガラス内部へのナノ構造形成と三次元集積化

研究課題

研究課題/領域番号 15350121
研究種目

基盤研究(B)

配分区分補助金
応募区分一般
研究分野 無機工業材料
研究機関京都大学

研究代表者

平尾 一之  京都大学, 工学研究科, 教授 (90127126)

研究分担者 藤田 晃司  京都大学, 工学研究科, 助手 (50314240)
研究期間 (年度) 2003 – 2004
研究課題ステータス 完了 (2004年度)
配分額 *注記
13,300千円 (直接経費: 13,300千円)
2004年度: 3,100千円 (直接経費: 3,100千円)
2003年度: 10,200千円 (直接経費: 10,200千円)
キーワードガラス / フェムト秒レーザー / ナノ加工 / 周期構造 / 三次元集積化 / プラズモン / 周期構造形成
研究概要

申請者らは近年、フェムト秒レーザーの集光照射を用いて、ガラス内部に光の回折限界を超える精度で屈折率変化、イオンの価数変化、金属の析出、結晶化などの物理的・化学的性質の変化を誘起させることに成功した(誘起構造)。これらの現象を利用すると、三次元光導波路や三次元超高密度光メモリーなどの新規な光デバイスとしての応用が期待される。
平成16年度は、このような誘起構造に加えて、フェムト秒レーザー光の干渉や偏光特性を活用して自己組織的に周期的ナノ構造を形成した。一つのフェムト秒レーザーをシリカガラス内部に集光照射し、その集光点近傍を走査型顕微鏡の反射電子像で観察すると、レーザーの偏光と垂直方向に数十〜数百nm周期のナノ構造が形成されていた。ナノ構造の周期はパルスエネルギーに依存しており、パルスエネルギーを増加するにつれて、周期が増加する傾向が見られた。この結果はフォトンとプラズモンの相互作用を想定したモデルで説明され、フェムト秒レーザーと透明物質の相互作用に関する新たな知見が得られた。同様の効果は、サファイアや二酸化テルル結晶などの透明な単結晶においても確認された。特に、二酸化テルル結晶においては、周期的なナノボイド(穴)が形成されており、フォトニック結晶などの応用が期待される。一方で、二つのフェムト秒レーザービームの干渉を利用すると、ガラス及びポリマーなどの透明物質内部にサブミクロンオーダーの周期構造が形成され、その周期長が入射光の角度に依存して変化することがわかった。また、回折ビームスプリッターを用いて複数のフェムト秒レーザーを干渉させると、1パルスの照射で複雑な形状のナノ構造の形成が観察された。光導波路とこれらの周期構造を三次元的に配列することにより、新規な波長分波デバイスを構築し、異なる波長の光の分離を可能にする超小型デバイスを開発した。

報告書

(3件)
  • 2004 実績報告書   研究成果報告書概要
  • 2003 実績報告書
  • 研究成果

    (38件)

すべて 2005 2004 2003 その他

すべて 雑誌論文 (25件) 図書 (6件) 文献書誌 (7件)

  • [雑誌論文] フェムト秒レーザーによる導波路書き込みデバイス化2004

    • 著者名/発表者名
      平尾一之
    • 雑誌名

      超精密 13

      ページ: 29-33

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2004 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Optical properties of structurally modified glasses doped with gold ions2004

    • 著者名/発表者名
      J.Qiu, X.Jiang, C.Zhu, H.Inouye, J.Si, K.Hirao
    • 雑誌名

      Optics Letters 29

      ページ: 370-372

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2004 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Laser-controlled dissolution of gold nanoparticles in glass2004

    • 著者名/発表者名
      X.Jiang, J.Qiu, H.Zeng, C.Zhu, K.Hirao
    • 雑誌名

      Chemical Physics Letters 391

      ページ: 91-94

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2004 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Giant enhancement of second harmonic generation in afinite photonic crystal with a single defect and dual-localized modes2004

    • 著者名/発表者名
      F-F.Ren, R.Li, C.Chen, H-T.Wang, J.Qiu, J.Si, K.Hirao
    • 雑誌名

      Physical Review B 70

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2004 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Phase-matcued second-harmonic generarion in bulk azodye-doped polymers by all-optical poling2004

    • 著者名/発表者名
      J.Si, J.Qiu, J.Zhai, Y.Shen, Z.Meng K.Hirao
    • 雑誌名

      Journal of Applied Physics 95

      ページ: 3837-3839

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2004 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] 1秒でガラス内部にナノ周期構造「光の指紋」作製2004

    • 著者名/発表者名
      下間靖彦, 邱 建栄, 平尾一之
    • 雑誌名

      レーザー加工学会誌 11

      ページ: 185-189

    • NAID

      40006623859

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2004 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Manipulation of Gold Nanoparticles inside transparent materials2004

    • 著者名/発表者名
      j.Qiu, X.Jiang, C.Zhu, M.Shirai, J.Si, N.Jiang, K.Hirao
    • 雑誌名

      Angewandte Chemie international edition 33

      ページ: 1120-1121

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2004 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Metal nanoparticle precipitation in periodic arrays in Au_2O-doped glass by two interfered femtosecond laser pulses2004

    • 著者名/発表者名
      S.Qu, J.Qiu, C.Zhao, X.Jiang, H.Zeng, C.Zhu, K.Hirao
    • 雑誌名

      Applied Physics Letters 84

      ページ: 2046-2048

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2004 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Optical properties of structurally modified glasses doped with gold ions.2004

    • 著者名/発表者名
      J.Qiu, X.Jiang, C.Zhu, H.Inouye J.Si, K.Hirao
    • 雑誌名

      Optics Letters Vol.29, No.4

      ページ: 370-372

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2004 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Laser-controlled dissolution of gold nanoparticles in glass.2004

    • 著者名/発表者名
      X.Jiang, J.Qiu, H.Zeng, C.Zhu, K.Hirao
    • 雑誌名

      Chemical Physics Letters Vol.391

      ページ: 91-94

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2004 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Giant enhancement of second harmonic generation in afinite photonic crystal with a single defect and dual-localized modes.2004

    • 著者名/発表者名
      F-F.Ren, R.Li, C.Chen, H-T.Wang, J.Qiu, J.Si, K.Hirao
    • 雑誌名

      Physical Review B Vol.70

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2004 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Phase-matcued second-harmonic generarion in bulk azodye-doped polymers by all-optical poling.2004

    • 著者名/発表者名
      J.Si, J.Qiu, J.Zhai, Y.Shen, Z.Meng, K.Hirao
    • 雑誌名

      Journal of Applied Physics Vol.95, No.7

      ページ: 3837-3839

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2004 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Nanostructuring "Fingerprint of Light" of Transparent Material by Light.2004

    • 著者名/発表者名
      Y.Shimotsuma, J.Qiu, K.Hirao
    • 雑誌名

      Journal of Japan Laser Processing Society Vol.11, No.3

      ページ: 185-189

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2004 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Manipulation of Gold Nanoparticles inside transparent materials.2004

    • 著者名/発表者名
      J.Qiu, X.Jiang, C.Zhu, M.Shirai, J.Si, N.Jiang, K.Hirao
    • 雑誌名

      Angewandte Chemie international edition Vol.33, No.3

      ページ: 1120-1121

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2004 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Metal nanoparticle precipitaion in periodic arrays in Au_2O-doped by two interfered femtosecond laser pulses.2004

    • 著者名/発表者名
      S.Qu, J.Qiu, C.Zhao, X.Jiang, H.Zeng, C.Zhu, K.Hirao
    • 雑誌名

      Applied Physics Letters Vol.84, No.12

      ページ: 2046-2048

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2004 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Phase-matcued second-harmonic generarion in bulk azodye-doped polymers by all-optical poling2004

    • 著者名/発表者名
      J.Si, J.Qiu, J.Zhai, Y.Shen, Z.Meng, K.Hirao
    • 雑誌名

      Journal of Applied Physics 95・7

      ページ: 3837-3839

    • 関連する報告書
      2004 実績報告書
  • [雑誌論文] Manipulation of Gold Nanoparticles inside transparent materials2004

    • 著者名/発表者名
      J.Qiu, X.Jiang, C.Zhu, M.Shirai, J.Si, N.Jiang, K.Hirao
    • 雑誌名

      Angewandte Chemie international edition 43

      ページ: 234-2239

    • 関連する報告書
      2004 実績報告書
  • [雑誌論文] Multiphonon-induced periodic microstructures inside bulk azodye-doped polymers by multibeam laser interference2004

    • 著者名/発表者名
      J.Si, Z.Meng, S.Kanehira, J.Qiu, B.Hua, K.Hirao
    • 雑誌名

      Chemical Physics Letters 399

      ページ: 276-279

    • 関連する報告書
      2004 実績報告書
  • [雑誌論文] フェムト秒レーザーによる透明材料内部への3次元微細構造2004

    • 著者名/発表者名
      下間靖彦, 平尾一之, 邱 建栄
    • 雑誌名

      光アライアンス 8

      ページ: 21-26

    • 関連する報告書
      2004 実績報告書
  • [雑誌論文] 1秒でガラス内部にナノ周期構造「光の指紋」作製2004

    • 著者名/発表者名
      下間靖彦, 邱 建栄, 平尾一之
    • 雑誌名

      レーザ加工学会誌 11・3

      ページ: 37-41

    • NAID

      40006623859

    • 関連する報告書
      2004 実績報告書
  • [雑誌論文] Photoinduced birefringence of azodye-doped materials by a femtosecond laser2003

    • 著者名/発表者名
      J.Si, J.Qiu, J.Guo, G.Qion, M.Wang, K.Hirao
    • 雑誌名

      Applied Optics 42

      ページ: 7170-7173

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2004 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Self-organized nanogratings in glass irradiated by ultrashort light pulses2003

    • 著者名/発表者名
      Y.Shimotsuma, P.G.Kazansky, J.Qiu, K.Hirao
    • 雑誌名

      Physical Review Letters 91

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2004 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Photoinduced birefringence of azodye-doped materials by a femtosecond laser.2003

    • 著者名/発表者名
      J.Si, J.Qiu, J.Guo, G.Qion, M.Wang, K.Hirao
    • 雑誌名

      Applied Optics Vol.42, No.36

      ページ: 7170-7173

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2004 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Self organized nanogratings in glass irradiated by ultrashort light pulses.2003

    • 著者名/発表者名
      Y.Shimotsuma, P.G.Kazansky, J.Qiu, K.Hirao
    • 雑誌名

      Physical Review Letters Vol91, No.24

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2004 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Writing optical waveguides by femtosecond laser and it's application for optical devices.2003

    • 著者名/発表者名
      K.Hirao
    • 雑誌名

      Ultra Precision Vol.13

      ページ: 29-33

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2004 研究成果報告書概要
  • [図書] ナノマテリアルハンドブック2005

    • 著者名/発表者名
      邱 建栄, 平尾一之(分担執筆)
    • 総ページ数
      807
    • 出版者
      エヌ・ティー・エス
    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2004 研究成果報告書概要
  • [図書] ナノテクへの挑戦2004

    • 著者名/発表者名
      平尾一之
    • 総ページ数
      136
    • 出版者
      東京化学同人
    • 関連する報告書
      2004 実績報告書
  • [図書] 先端化学シリーズII(日本化学会編)2003

    • 著者名/発表者名
      平尾一之(分担執筆)
    • 総ページ数
      330
    • 出版者
      丸善
    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2004 研究成果報告書概要
  • [図書] 先端技術のキーワード114選2003

    • 著者名/発表者名
      平尾一之(分担執筆)
    • 総ページ数
      241
    • 出版者
      日刊工業新聞社
    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2004 研究成果報告書概要
  • [図書] ナノテクノロジーハンドブックI編「創る」2003

    • 著者名/発表者名
      平尾一之(分担執筆)
    • 総ページ数
      317
    • 出版者
      オーム社
    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2004 研究成果報告書概要
  • [図書] Photo-induced Metastability in Amorphous Semiconductors2003

    • 著者名/発表者名
      K.Hirao, K.Miura(分担執筆)
    • 総ページ数
      412
    • 出版者
      WILEY-VCH
    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2004 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] Y.Shimotsuma, P.G.Kazansky, J.Qiu, K.Hirao: "Self-Organized Nanogratings in Glass Irradiated by Ultrashort Light Pulses"Physical Review Letters. 91. 247405-1-247405-4 (2003)

    • 関連する報告書
      2003 実績報告書
  • [文献書誌] 平尾 一之: "酸化物ガラスの光物性と三次元回路応用"光学. 32・5. 290-293 (2003)

    • 関連する報告書
      2003 実績報告書
  • [文献書誌] 武島延仁, 黒岩 裕, 平尾一之: "超短パルスレーザーを用いたCdS_xSe_<1-x>微粒子のガラス中への析出"NEW GLASS. 18・2. 37-40 (2003)

    • 関連する報告書
      2003 実績報告書
  • [文献書誌] G.Qian, J.Guo, M.Wang, J.Si, J.Qiu, K.Hirao: "Holographic Volume Gratings in Bulk Perylene-Ornage-Doped Hybrid Inorganic-Organic Materials by the Coherent Field of a Femtosecond Laser"Applied Physics Letters. 83. 2327-2329 (2003)

    • 関連する報告書
      2003 実績報告書
  • [文献書誌] S.Katayama, M.Horiike, M.Urairi, K.Hirao, N.Tsutsumi: "Structures Induced in Polysilane and Thin Polysilane Layer coated Polymer Films by Irradiation of Femto-Second Laser Pulse"Chemical Physics Letters. 373. 140-145 (2003)

    • 関連する報告書
      2003 実績報告書
  • [文献書誌] S.Katayama, M.Horiike, M.Urairi, K.Hirao, N.Tsutsumi: "Periodic Bell-Shaped Upheaval Structure on Surface of Polycarbonate by Irradiation of Femtosecond Laser Pulse"Japanese Journal of Applied Physics. 42. 6926-6930 (2003)

    • 関連する報告書
      2003 実績報告書
  • [文献書誌] 平尾 一之, 他18名: "基礎から学ぶナノテクノロジー"東京化学同人. 276 (2003)

    • 関連する報告書
      2003 実績報告書

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公開日: 2003-04-01   更新日: 2016-04-21  

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