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複合化超非平衡プロセスによる225nm紫外・室温発光性BNの開発

研究課題

研究課題/領域番号 15360039
研究種目

基盤研究(B)

配分区分補助金
応募区分一般
研究分野 応用物理学一般
研究機関独立行政法人物質・材料研究機構

研究代表者

小松 正二郎  独立行政法人物質・材料研究機構, 物質研究所, 主席研究員 (70343845)

研究分担者 岡田 勝行  独立行政法人物質・材料研究機構, 物質研究所, 主幹研究員 (10354432)
研究期間 (年度) 2003 – 2005
研究課題ステータス 完了 (2005年度)
配分額 *注記
15,000千円 (直接経費: 15,000千円)
2005年度: 3,200千円 (直接経費: 3,200千円)
2004年度: 3,200千円 (直接経費: 3,200千円)
2003年度: 8,600千円 (直接経費: 8,600千円)
キーワードBN / 紫外発光 / フォトルミネッセンス / カソードルミネッセンス / 電界電子放出 / プラズマ / レーザー / 自己組織化 / 窒化ホウ素 / ナノ構造 / 熱力学的臨界点 / 非線形力学系
研究概要

Sp^3-結合性5H-BNのナノ・ミクロ粒子及び薄膜試料のプラズマ・レーザー・シナジーデポジション・プロセスによる合成手法を確立することが出来た。粒子試料は透過型電子顕微鏡観察による格子像によって欠陥を含まず、電子線回折により菊池線を示し、結晶性が極めて高い。一方、薄膜試料の場合、ナノ又はミクロ・コーン・モルフォロジーを持ち、その成長の時間発展をその場フォトルミネセンス法(新開発)等の手法により観察し、さらに、断面TEMによりそのナノ構造を観察した結果、結晶性は粒子試料に劣るが極めて特異な結晶分布(ペンシル構造)を示し、またそれに対応してコーン表面先端(10〜100ナノメータ領域)に局在化した伝導性を示す(これはAFMによる伝導性マッピングの新手法を用いた)。粒子試料はその結晶完全性により、225nmのバンド端による室温発光を示すが、薄膜試料は300nm付近のブロードな室温発光バンドを示した。またこれらは発光寿命から直接遷移型である可能性が極めて強い。Sp3-結合性粒子のプラズマ・レーザ・シナジーデポジションによる成長機構に関しては、実験結果が超臨界流体前駆体のプラズマ誘起相変態を示唆し、これを二次元非線形力学系モデルとして定式化、現象を説明した。又、薄膜試料の場合、プラズマから前駆体ラジカルを供給された光化学励起CVDとしての成長機構モデルが提案され、定量的な実験結果の説明に成功した。さらに、ナノまたはミクロコーンのフラクタル分布現象がSi(100)基板において見出され、この観察された温度依存性・自己相似性の起源をともに説明する数理モデルの作製に成功した。以上、成長機構に関しては著しい研究の進展があった。一方、ドーピング実験の確立が必要なデバイス化研究は、資金的な制約もあり、思うように進展しなかったため、今後の研究課題として残された。

報告書

(4件)
  • 2005 実績報告書   研究成果報告書概要
  • 2004 実績報告書
  • 2003 実績報告書
  • 研究成果

    (41件)

すべて 2006 2005 2004 その他

すべて 雑誌論文 (29件) 産業財産権 (6件) 文献書誌 (6件)

  • [雑誌論文] Fractal growth of sp3-bonded 5H-BN micro cones by plasma-assisted laser chemical vapor deposition2006

    • 著者名/発表者名
      S.Komatsu, K.Kazami, H.Tanaka, Y.Moriyoshi, M.Shiratani, K.Okada
    • 雑誌名

      J. Appl. Phys. (in press)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2005 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] BN micro-fibers grown by plasma-assisted laser chemical vapor deposition without a metal catalyst2006

    • 著者名/発表者名
      S.Komatsu, K.Kazami, H.Tanaka, Y.Shimizu, Y.Moriyosi, M.Shiratani
    • 雑誌名

      Appl. Phys. Lett. 88

      ページ: 151914-151914

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2005 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] 窒化ホウ素の新世界 : sp3-結合性5H-BNのレーザー・プラズマ複合化プロセスによる成長機構及紫外発光・電界電子放出特性2006

    • 著者名/発表者名
      小松正二郎
    • 雑誌名

      表面技術 57(1)

      ページ: 9-9

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2005 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Fractal growth of sp3-bonded 5H-BN micro cones by plasma-assisted laser chemical vapor deposition2006

    • 著者名/発表者名
      S.Komatsu, K.Kazami, H.Tanaka, Y.Moriyoshi, M.Shiratani, K.Okada
    • 雑誌名

      J.Appl.Phys. (in press)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2005 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] BN micro-fibers grown by plasma-assisted laser chemical vapor deposition without a metal catalyst2006

    • 著者名/発表者名
      S.Komatsu, K.Kazami, H.Tanaka, Y.Shimizu, Y.Moriyoshi, M.Shiratan
    • 雑誌名

      Appl.Phys.Lett. 88

      ページ: 151914-151914

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2005 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] BN micro-fibers grown by plasma-assisted laser chemial vapor deposition without a metal catalyst2006

    • 著者名/発表者名
      S.Komatsu, D.Kazami, N.Tanaka, Y.Shimizu, Y.Moriyoshi, M.Shiratani, K.Okada
    • 雑誌名

      Appl.Phys.Lett. (accepted for publication)

    • 関連する報告書
      2005 実績報告書
  • [雑誌論文] Electron field emission as a cooperative phenomenon : studies in sp^3-bonded 5H-BN micro-cone emitters prepared by plasma-assisted laser CVD2006

    • 著者名/発表者名
      S.Komatsu, D.Kazami, N.Tanaka, Y.Moriyoshi, M.Shiratani, T.Chikyo, K.Okada
    • 雑誌名

      Proceedings of the ICRP-6/SPP-23 1・1

      ページ: 503-503

    • 関連する報告書
      2005 実績報告書
  • [雑誌論文] レーザ・プラズマ複合化プロセスによる新規-機能性窒化ホウ素(sp3-結合性5H-BN) : その機能性と生成機構2005

    • 著者名/発表者名
      小松正二郎
    • 雑誌名

      New Diamond 21(1)

      ページ: 5-5

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2005 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] ナノチューブを超えるFED向け新型窒化ホウ素電子エミッター薄膜2005

    • 著者名/発表者名
      小松正二郎
    • 雑誌名

      工業材料 53(5)

      ページ: 41-41

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2005 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] 新型BNミクロコーンエミッター : 次世代高精細ディスプレイ向き高性能電界電子放出材料2005

    • 著者名/発表者名
      小松正二郎
    • 雑誌名

      月刊ディスプレイ 11(10)

      ページ: 62-62

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2005 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Recent developments in BN ; the synthesis and properties of sp3-bonded 5H-BN2005

    • 著者名/発表者名
      S.Komatsu
    • 雑誌名

      Hyoumen Gijyutu (in Japanese) 57

      ページ: 9-9

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2005 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Novel functional BN prepared by laser-plasma hybrid process2005

    • 著者名/発表者名
      S.Komatsu
    • 雑誌名

      New Diamond (in Japanese) 21

      ページ: 5-5

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2005 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] The elecron emitter films made of new BN for FED2005

    • 著者名/発表者名
      S.Komatsu
    • 雑誌名

      Kougyou Zairyou (in Japanese) 53

      ページ: 41-41

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2005 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] New BN microcone emitter films : an FE material for the next generation displays.2005

    • 著者名/発表者名
      S.Komatsu
    • 雑誌名

      Gekkan Display (in Japanese) 11

      ページ: 62-62

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2005 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] ナノチューブを超えるFED向け電子材料 新型窒化ホウ素電子エミッター薄膜2005

    • 著者名/発表者名
      小松正二郎
    • 雑誌名

      工業材料 53巻5号

      ページ: 41-41

    • 関連する報告書
      2005 実績報告書
  • [雑誌論文] The model for the electron field emission from 5H-BN micro-cones2005

    • 著者名/発表者名
      S.Komatsu
    • 雑誌名

      The 16^<th> Symposium of the MRS Japan Program and Abstracts 1・1

      ページ: 179-179

    • 関連する報告書
      2005 実績報告書
  • [雑誌論文] Novel sp^3-bonded BN films of 5H-polytypic crystal structure prepared by laser-assisted plasma CVD and their excellent electron field emission2005

    • 著者名/発表者名
      S.Komatsu, K.Okada, D.Kazami, A.Okudo, Y.Moriyoshi, M.Shiratani
    • 雑誌名

      15^<th> internat.Colloquium on Plasma processes Abstract booklets 1・1

      ページ: 20-20

    • 関連する報告書
      2005 実績報告書
  • [雑誌論文] 新型BNミクロコーンエミッター:次世代高精細ディスプレイ向き高性能電界電子放出材料2005

    • 著者名/発表者名
      小松正二郎
    • 雑誌名

      月刊ディスプレイ 11巻10号

      ページ: 62-62

    • 関連する報告書
      2005 実績報告書
  • [雑誌論文] Fractal-arrangements of electron field emitters in sp3-bonded 5H-BN films prepared by pulsed laser assisted plasma CVD2005

    • 著者名/発表者名
      S.Komatsu, D.Kazami, A.Okudo, Y.Moriyoshi, K.Okada
    • 雑誌名

      Proceedings of plasmas sience 2005/the 22^<nd> symposium on plasma processing

      ページ: 588-589

    • 関連する報告書
      2004 実績報告書
  • [雑誌論文] Electron field emission from self-organized micro emitters of sp3-bonded 5H-BN films and its applications2005

    • 著者名/発表者名
      S.Komatsu, D.Kazami, A.Okudo, Y.Moriyoshi, K.Okada
    • 雑誌名

      Proceedings of plasma science 2005/the 22^<nd> symposium on plasma processing

      ページ: 657-658

    • 関連する報告書
      2004 実績報告書
  • [雑誌論文] Synthesis of new type BN by using synchronously pulsed-laser and modulated-reactive plasma : its new properties and applications2005

    • 著者名/発表者名
      S.Komatsu
    • 雑誌名

      25^<th> annual meeting of laser society of Japan Digest of technical papers(invited paper)

      ページ: 102-103

    • NAID

      130004465620

    • 関連する報告書
      2004 実績報告書
  • [雑誌論文] レーザ・プラズマ複合化プロセスによる新規-機能性窒化ホウ素(sp3-結合性5H-BN):その機能性と生成機構2005

    • 著者名/発表者名
      小松正二郎
    • 雑誌名

      New Diamond 21(1)

      ページ: 5-11

    • 関連する報告書
      2004 実績報告書
  • [雑誌論文] Electron field emission from self-organized micro-emitters of sp3-bonded 5H boron nitoride with very high current density at low electric field2004

    • 著者名/発表者名
      S.Komatsu, A.Okudo, D.Kazami, D.Golberg, Y.Li, Y.Moriyoshi, M.Shiratani, K.Okada
    • 雑誌名

      J. Phys. Chem. B 108

      ページ: 5182-5182

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2005 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Condensation of sp3-bonded boron nitride through a highly nonequilibrium fluid state2004

    • 著者名/発表者名
      S.Komatsu, K.Kurashima, Y.Shimizu, Y.Moriyoshi, M.Shiratani, K.Okada
    • 雑誌名

      J. Phys. Chem. B 108

      ページ: 205-205

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2005 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] ナノチューブを超えるFED向け電子材料 新型窒化ホウ素薄膜の開発2004

    • 著者名/発表者名
      小松正二郎
    • 雑誌名

      レーザ加工学会誌 11(3)

      ページ: 34-34

    • NAID

      40006623858

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2005 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Electron field emission from self-organized micro-emitters of sp3-bonded 5H boron nitride with very high current density at low electric field2004

    • 著者名/発表者名
      S.Komatsu, A.Okudo, D.Kazami, D.Golberg, Y.Li, Y.Moriyoshi, M.Shiratani, K.Okada
    • 雑誌名

      J.Phys.Chem.B 108

      ページ: 5182-5182

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2005 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Condensation of sp3-bonded boron nitride through a highly nonequilibrium fluid state2004

    • 著者名/発表者名
      S.Komatsu, K.Kurashima, Y.Shimizu, Y.Moriyoshi, M.Shiratani, K.Okda
    • 雑誌名

      J.Phys.Chem.B 108

      ページ: 205-205

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2005 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] new type of BN films for FED that exceeds CNT2004

    • 著者名/発表者名
      S.Komatsu
    • 雑誌名

      Laser Kakou Gakkai-shi (in Japanase) 11

      ページ: 34-34

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2005 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Self-organized elecctron field emitters made of sp3-bonded 5H-BN nanostructures : its synthesis and applications to device electronic2004

    • 著者名/発表者名
      S.Komatsu
    • 雑誌名

      Technical report of IEICE(invited paper) 104(519)

      ページ: 23-24

    • 関連する報告書
      2004 実績報告書
  • [産業財産権] 電界電子放出を利する自己造形的表面形状を有するsp3結合性窒化ホウ素薄膜とその製造方法及びその用途2006

    • 発明者名
      小松正二郎 他
    • 権利者名
      物資・材料研究機構
    • 取得年月日
      2006-03-24
    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2005 研究成果報告書概要
  • [産業財産権] 窒化ホウ素薄膜エミッターとその製造方法、及び該窒化ホウ素薄膜エミッターを使用する電子放出方法2005

    • 発明者名
      小松正二郎 他
    • 権利者名
      物資・材料研究機構
    • 取得年月日
      2005-12-21
    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2005 研究成果報告書概要
  • [産業財産権] 一般式;BNで示され、六方晶系5H型ないしは6H型多形構造を有し、紫外域で発光するsp3結合型窒化ホウ素とその製造方法、及びこれを利用した機能性材料2004

    • 発明者名
      小松正二郎 他
    • 権利者名
      物資・材料研究機構
    • 取得年月日
      2004-09-24
    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2005 研究成果報告書概要
  • [産業財産権] 窒化ホウ素膜表面に先端の尖った結晶が自己相似性フラクタル模様を呈して電子放出に適った密度で二次元分布してなる窒化ホウ素薄膜エミッターとその製造方法2004

    • 発明者名
      小松正二郎 他
    • 権利者名
      物資・材料研究機構
    • 産業財産権番号
      2004-371693
    • 出願年月日
      2004-12-22
    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2005 研究成果報告書概要
  • [産業財産権] 自己造形性電子放出BN薄膜を使用してなる発光・表示デバイスとその製作方法2004

    • 発明者名
      小松正二郎 他
    • 権利者名
      物資・材料研究機構
    • 産業財産権番号
      2004-361150
    • 出願年月日
      2004-12-14
    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2005 研究成果報告書概要
  • [産業財産権] 電界電子放出特性を利する自己造形的表面形状を有するsp3結合性窒化ホウ素薄膜2004

    • 発明者名
      小松正二郎
    • 権利者名
      物質・材料研究機構
    • 出願年月日
      2004-08-27
    • 関連する報告書
      2004 実績報告書
  • [文献書誌] K.Okada, K.Kimoto, S.Komatsu, S.Matsumoto: "Sp^2 bonding distributions in nanocrystalline diamond particles by electron energy loss spectroscopy"J.Appl.Phys.. 93(5). 3120-3122 (2003)

    • 関連する報告書
      2003 実績報告書
  • [文献書誌] K.Okada, S.Komatsu, S.Matsumoto: "Ion energy distributions and the density of CH_3 radicals in a low pressure inductively coupled CH_4/H_2 plasma used for nanocrystalline diamond deposition"J.Vac.Sci.Technol. A21(6). 1988-1992 (2003)

    • 関連する報告書
      2003 実績報告書
  • [文献書誌] K.Okada, K.Kimoto, S.Komatsu, S.Matsumoto: "Preparation of nanocrystalline diamond in a low pressure inductively coupled plasma"Trans.MRS-Japan. 印刷中. (2004)

    • 関連する報告書
      2003 実績報告書
  • [文献書誌] K.Okada, S.Komatsu, S.Matsumoto: "Characteristics of Broad-Band Frequency Low Pressure Inductively Coupled Plasma Used for Nanostructured Carbon Deposition"Proceedings of 16th Inter.Symp.Plasma Chemistry. CD-ROM. (2003)

    • 関連する報告書
      2003 実績報告書
  • [文献書誌] S.Komatsu, K.Kurashima, Y.Shimizu, Y.Moriyoshi, M.Shiratani, K.Okada: "Condensation of sp^3-bonded boron nitride through a highly nonequilibrium fluid state"Journal of Physical Chemistry B. 108(1). 205-211 (2004)

    • 関連する報告書
      2003 実績報告書
  • [文献書誌] S.Komatsu, A.Okudo, D.Golberg, D.Kazami, Y.Li, Y.Moriyoshi, M.Shiratani, K.Okada: "Electron field emission from self-organized micro-emitters of sp^3-bonded 5H boron nitride with very high current density at low electric field"Journal of Physical Chemistry B. To be published. (2004)

    • 関連する報告書
      2003 実績報告書

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公開日: 2003-04-01   更新日: 2016-04-21  

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