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Walking Driveを利用した高真空対応超精密アライメント装置の開発

研究課題

研究課題/領域番号 15360069
研究種目

基盤研究(B)

配分区分補助金
応募区分一般
研究分野 生産工学・加工学
研究機関名古屋大学

研究代表者

社本 英二  名古屋大学, 大学院・工学研究科, 教授 (20216146)

研究分担者 鈴木 教和  名古屋大学, 大学院・工学研究科, 助手 (00359754)
研究期間 (年度) 2003 – 2004
研究課題ステータス 完了 (2004年度)
配分額 *注記
14,400千円 (直接経費: 14,400千円)
2004年度: 6,800千円 (直接経費: 6,800千円)
2003年度: 7,600千円 (直接経費: 7,600千円)
キーワード超精密アライメント装置 / 半導体製造装置 / 圧電素子 / XYθテーブル / 位置決め装置 / 真空 / 超機密アライメント装置
研究概要

本研究では、次世代半導体製造に必要となる基盤技術として、超高真空中での超精密アライメントに有利な小型超精密XYθテーブルを、Walking Driveと呼ぶ手法を適用して開発することを目的とし、以下の項目について試作開発研究を行った。
(1)変位拡大機構を持つ駆動部の開発 クリープ特性と高真空に対して問題となる接着剤を用いず、制御の簡素化と高速化のために送り方向に変位拡大機構を採用し、新しい駆動部(足に相当する)を試作開発した。
(2)アライメント装置の開発 上記駆動部を6個用い、大気中から真空内のテーブル面マークを監視できるようにテーブルの周辺部で直接"歩行"を行うアライメント装置を開発した。本装置の構成に合わせた駆動ソフトウェアを開発し、概ね支持通りの駆動を行い得ることを確認した。
(3)オープンループ駆動特性の改善 圧電素子のヒステリシス特性を高次関数で近似し、これを補正しながら"歩行"を行う駆動アルゴリズムおよびソフトウェアを開発した。また、圧電素子のクリープ特性を入力電圧の波形をオーバーシュートさせることによって補正するソフトウェアを開発、オープンループでの駆動特性を大幅に改善した。
(4)位置決め制御システムの構築 CCDカメラ(画像処理装置を含む,設備備品として要求)を利用し、その間欠的なフィードバック信号を利用して、その間はオープンループで駆動して位置決めを行う制御システムを開発した。
(5)試作開発したシステムの総合的な特性評価と実用化への検討 新しい装置、駆動ソフトウェア、制御システムなど個別に開発した部分について全機能を統合した場合の特性を総合的に検討、評価した。

報告書

(3件)
  • 2004 実績報告書   研究成果報告書概要
  • 2003 実績報告書
  • 研究成果

    (56件)

すべて 2005 2004 2003 その他

すべて 雑誌論文 (48件) 文献書誌 (8件)

  • [雑誌論文] Development of 3 DOF ultrasonic vibration tool for elliptical vibration cutting of sculptured surfaces2005

    • 著者名/発表者名
      E.Shamoto
    • 雑誌名

      Annals of CIRP 54/1(to be published)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2004 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] 進行波を利用した流体軸受の開発2005

    • 著者名/発表者名
      社本英二
    • 雑誌名

      2005年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集

      ページ: 1063-1064

    • NAID

      130004657784

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2004 実績報告書 2004 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Development of Fluid Bearing Utilizing Traveling Wave2005

    • 著者名/発表者名
      Eiji Shamoto, Norikazu Suzuki, Akihide Hamaguchi
    • 雑誌名

      Proc.of 2005 JSPE Spring Conference

      ページ: 1063-1064

    • NAID

      130004657784

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2004 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Development of 3 DOF ultrasonic vibration tool for elliptical vibration cutting of sculptured surfaces2005

    • 著者名/発表者名
      E.Shamoto
    • 雑誌名

      Annals of the CIRP 54/・1(to be published)

    • 関連する報告書
      2004 実績報告書
  • [雑誌論文] Study of machining accuracy in ultrasonic elliptical vibration cutting2004

    • 著者名/発表者名
      Chunxiang Ma
    • 雑誌名

      International Journal of Machine Tools and Manufacture 44

      ページ: 1305-1310

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2004 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Study on the Thrust Cutting Force in Ultrasonic Elliptical Vibration Cutting2004

    • 著者名/発表者名
      Chunxiang Ma
    • 雑誌名

      Materials Science Forum 471-472

      ページ: 396-400

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2004 実績報告書 2004 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Ultraprecision Micromachining of Brittle Materials by Applying Ultrasonic Elliptical Vibration Cutting2004

    • 著者名/発表者名
      N.Suzuki
    • 雑誌名

      Proceedings of the 2004 International Symposium on Micromechatronics and Human Science

      ページ: 133-138

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2004 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Development of an Elliptical Vibration Milling Machine2004

    • 著者名/発表者名
      Toshimichi MORIWAKI
    • 雑誌名

      Annals of the CIRP 53/1

      ページ: 341-344

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2004 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Ultraprecision Machining of Sintered Tungsten Carbide by Applying Ultrasonic Elliptical Vibration Cutting2004

    • 著者名/発表者名
      N.Suzuki
    • 雑誌名

      Proceedings of 4th International Conference of the European Society for Precision Engineering and Nanotechnology

      ページ: 187-188

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2004 実績報告書 2004 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] 超音波楕円振動切削による超精密・微細金型加工技術2004

    • 著者名/発表者名
      社本英二
    • 雑誌名

      機械技術 Vol.52 No.13

      ページ: 23-27

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2004 実績報告書 2004 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] 高硬度金型の超精密微細加工を実現する楕円振動切削加工技術の開発2004

    • 著者名/発表者名
      社本英二
    • 雑誌名

      型技術 Vol.19 No.12

      ページ: 55-58

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2004 実績報告書 2004 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] 不可能を可能にする超精密・超微細金型技術2004

    • 著者名/発表者名
      社本英二
    • 雑誌名

      型技術 Vol.19 No.10

      ページ: 46-47

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2004 実績報告書 2004 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] 楕円振動切削加工法における切削プロセス制御の試み2004

    • 著者名/発表者名
      社本英二
    • 雑誌名

      2004年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集

      ページ: 687-688

    • NAID

      130004655699

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2004 実績報告書 2004 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Walking Driveに基づく超精密アライメント装置の開発-画像処理を利用した並進・回転方向の同時位置決め2004

    • 著者名/発表者名
      社本英二
    • 雑誌名

      2003年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集

      ページ: 891-892

    • NAID

      130004656376

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2004 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] 表面張力を利用した新しい流体軸受の提案2004

    • 著者名/発表者名
      社本 英二
    • 雑誌名

      2003年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集

      ページ: 621-622

    • NAID

      130004656226

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2004 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Study of machining accuracy in ultrasonic elliptical vibration cutting2004

    • 著者名/発表者名
      Chunxiang Ma, Eiji Shamoto, Toshimichi Moriwaki, Lijiang Wang
    • 雑誌名

      International Journal of Machine Tools and Manufacture 44

      ページ: 1305-1310

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2004 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Study on the Thrust Cutting Force in Ultrasonic Elliptical Vibration Cutting2004

    • 著者名/発表者名
      Chun-Xiang Ma, Eiji Shamoto, Toshimichi Moriwaki
    • 雑誌名

      Materials Science Forum Vols.471-472

      ページ: 396-400

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2004 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Ultraprecision Micromachining of Brittle Materials by Applying Ultrasonic Elliptical Vibration Cutting2004

    • 著者名/発表者名
      Norikazu Suzuki, Shinsuke Masuda, Makoto Haritani, Eiji Shamoto
    • 雑誌名

      Proc.Of the 2004 International Symposium on Micro-Nano Mechatronics and Human Science-From Micro & Nano Scale Systems to Robotics & Mechatronics Systems

      ページ: 133-138

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2004 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Development of an Elliptical Vibration Milling Machine2004

    • 著者名/発表者名
      Toshimichi MORIWAKI, Eiji SHAMOTO, YoungChan SONG, Seido KOHDA
    • 雑誌名

      Annals of the CIRP Vol.53/1

      ページ: 341-344

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2004 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Ultraprecision Machining of Sintered Tungsten Carbide by Applying Ultrasonic Elliptical Vibration Cutting2004

    • 著者名/発表者名
      N.Suzuki, S.Masuda, E.Shamoto
    • 雑誌名

      Proc.of 4th International Conference and 6th annual general meeting of the European Society for Precision Engineering and Nanotechnology(EUSPEN)

      ページ: 187-188

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2004 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Ultraprecision/Micro Machining of Dies and Moulds by Applying Elliptical Vibration Cutting2004

    • 著者名/発表者名
      E.Shamoto, N.Suzuki
    • 雑誌名

      Mechanical Engineering Vol.52 No.13

      ページ: 23-27

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2004 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Development of Elliptical Vibration Cutting Technology to Realize Ultraprecision Micro Machining of Hard Dies and Moulds2004

    • 著者名/発表者名
      E.Shamoto, N.Suzuki, S.Hamada
    • 雑誌名

      Die and Mould Technology Vol.19 No.12

      ページ: 55-58

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2004 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Ultraprecision/Micro Die and Mould Technology to Realize Impossible Manufacturing2004

    • 著者名/発表者名
      E.Shamoto, N.Suzuki
    • 雑誌名

      Die and Mould Technology Vol.19 No.10

      ページ: 46-47

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2004 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Cutting process control in elliptical vibration cutting2004

    • 著者名/発表者名
      Eiji Shamoto, Norikazu Suzuki, Akio Kato, Kazuhiko Yanagida
    • 雑誌名

      Proc.of 2004 JSPE Autumn Conference

      ページ: 687-688

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2004 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Development of Ultraprecision Alignment Table Driven by Means of Walking Drive2004

    • 著者名/発表者名
      Eiji Shamoto, et al.
    • 雑誌名

      Proc.of 2003 JSPE Spring Conference

      ページ: 891-892

    • NAID

      130004657788

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2004 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Proposal of a New Fluid Bearing Utilizing Surface Tension2004

    • 著者名/発表者名
      Eiji Shamoto, Kento Hashimoto, Norikazu Suzuki
    • 雑誌名

      Proc.of 2003 JSPE Spring Conference

      ページ: 621-622

    • NAID

      130004656226

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2004 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Study of machining accuracy in ultrasonic elliptical vibration cutting2004

    • 著者名/発表者名
      Chunxing Ma
    • 雑誌名

      International Journal of Machine Tools and Manufacture 44

      ページ: 1305-1310

    • 関連する報告書
      2004 実績報告書
  • [雑誌論文] Ultraprecision Micromachining of Brittle Material by Applying Ultrasonic Elliptical Vibration Cutting2004

    • 著者名/発表者名
      N.Suzuki
    • 雑誌名

      Proceedings of the 2004 International Symposium on Micromechatronics and Human Science

      ページ: 133-138

    • 関連する報告書
      2004 実績報告書
  • [雑誌論文] 楕円振動切削による超硬合金の延性モード加工-加工メカニズムの検討-2004

    • 著者名/発表者名
      鈴木教和
    • 雑誌名

      2004年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集

      ページ: 683-684

    • NAID

      130004655697

    • 関連する報告書
      2004 実績報告書
  • [雑誌論文] 自由曲面の楕円振動切削を実現する3自由度超音波振動制御システムの開発2004

    • 著者名/発表者名
      鈴木教和
    • 雑誌名

      2004年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集

      ページ: 685-686

    • NAID

      130004655698

    • 関連する報告書
      2004 実績報告書
  • [雑誌論文] 超音波楕円振動切削による硬脆材料の延性モード加工-材料特性の影響-2004

    • 著者名/発表者名
      鈴木教和
    • 雑誌名

      2004年度砥粒加工学会学術講演会講演論文集

      ページ: 97-98

    • 関連する報告書
      2004 実績報告書
  • [雑誌論文] 機械式円振動発生機構を利用した楕円振動切削加工機の開発2003

    • 著者名/発表者名
      社本 英二
    • 雑誌名

      精密工学会誌 69・4

      ページ: 542-548

    • NAID

      10009889294

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2004 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] 直接オフセット法による工具経路生成(第1報)-基本手順の提案2003

    • 著者名/発表者名
      樋野 励
    • 雑誌名

      精密工学会誌 69・6

      ページ: 781-787

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2004 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] 傾斜型楕円振動切削加工法の提案とその基本特性2003

    • 著者名/発表者名
      社本 英二
    • 雑誌名

      精密工学会誌 69・7

      ページ: 970-975

    • NAID

      110001368499

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2004 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] 切削力モデルに基づくエンドミル加工状態の知的認識-データベースを必要としない手法の開発2003

    • 著者名/発表者名
      社本 英二
    • 雑誌名

      日本機械学会論文集C編 69・683

      ページ: 1927-1932

    • NAID

      110002379081

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2004 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Ultraprecision Micromachining of Hardened Steel by Applying Ultrasonic Elliptical Vibration Cutting2003

    • 著者名/発表者名
      Norikazu SUZUKI
    • 雑誌名

      2003 International Symposium on Micromechatronics and Human Science

      ページ: 221-226

    • NAID

      120000973976

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2004 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] CNC装置の内部情報を利用した工作機械の熱変形推定2003

    • 著者名/発表者名
      社本 英二
    • 雑誌名

      日本機械学会論文集C編 69・686

      ページ: 2775-2782

    • NAID

      110002379197

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2004 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] 楕円振動切削加工法による金型鋼の超精密・微細加工2003

    • 著者名/発表者名
      鈴木 教和
    • 雑誌名

      型技術 18巻13号

      ページ: 16-17

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2004 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Ultraprecision Machining of Hard Materials by Applying Ultrasonic Elliptical Vibration Cutting2003

    • 著者名/発表者名
      E.Shamoto
    • 雑誌名

      Int.Progress on Advanced Optics and Sensors

      ページ: 195-201

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2004 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Development of Elliptical Vibration Cutting Machine by Utilizing Mechanical Vibrator2003

    • 著者名/発表者名
      Eiji SHAMOTO, YoungChan SONQ Hideki YOSHIDA, Norikazu SUZUKI, Toshimichi MORIWAKI, Seido KOHDA, Tetsuji YAMANISHI
    • 雑誌名

      JSPE Vol.69, No.4

      ページ: 542-548

    • NAID

      110001373530

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2004 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Tool Path Generation with Immediate Offset Method (1st Report)-Proposal of fundamental procedure2003

    • 著者名/発表者名
      Rei HINO, Eiji SHAMOTO, Toshimichi MORIWAKI
    • 雑誌名

      JSPE Vol.69, No.6

      ページ: 781-787

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2004 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Proposal of Oblique Type of Elliptical Vibration Cutting and Its Basic Performance2003

    • 著者名/発表者名
      Eiji SHAMOTO, Young Chan SONG, Kengo SASSA, Hideki YOSHIDA, Rei HINO, Toshimichi MORIWAKI
    • 雑誌名

      JSPE Vol.69, No.7

      ページ: 970-975

    • NAID

      110001368499

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2004 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Intelligent Recognition of End Milling Conditions Based on Cutting Force Model-Development of monitoring method without any databases2003

    • 著者名/発表者名
      Eiji SHAMOTO, Rei HINO, Masayuki UMESAKI, Toshimichi MORIWAKI
    • 雑誌名

      JSME Series C Vol.69, No.683

      ページ: 1927-1932

    • NAID

      110002379081

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2004 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Ultraprecision Micromachining of Hardened Steel by Applying Ultrasonic Elliptical Vibration Cutting2003

    • 著者名/発表者名
      Norikazu SUZUKI, Akihiro NAKAMURA, Eiji SHAMOTO, Kazuhiro HARADA, Makoto MATSUO, Michio OSADA
    • 雑誌名

      2003 International Symposium on Micromechatronics and Human Science(MHS2003)

      ページ: 221-226

    • NAID

      120000973976

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2004 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Estimation of Thermal Deformation of Machine Tool by Utilizing Available Information in CNC Unit2003

    • 著者名/発表者名
      Eiji SHAMOTO, Rei HINO, Tatsuya TOMIE, Yosuke MATSUBARA, Toshimichi MORIWAKI
    • 雑誌名

      JSME Series C Vol.69, No.686

      ページ: 2775-2782

    • NAID

      110002379197

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2004 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Ultraprecision/Micro Machining of Die Materials by Applying Elliptical Vibration Cutting2003

    • 著者名/発表者名
      Norikazu SUZUKI, Eiji SHAMOTO, et al.
    • 雑誌名

      Die and Mould Technology Vol.18, No.13

      ページ: 16-17

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2004 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Ultraprecision Machining of Hard Materials by Applying Ultrasonic Elliptical Vibration Cutting2003

    • 著者名/発表者名
      Eiji SHAMOTO, Norikazu SUZUKI
    • 雑誌名

      Int.Progress on Advanced Optics and Sensors

      ページ: 195-201

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2004 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Development of 3 DOF ultrasonic vibration tool for elliptical vibration cutting of sculptured surfaces

    • 著者名/発表者名
      Eiji Shamoto, Norikazu Suzuki, Eiji Tsuchiya, Y.Hori, H.Inagaki, K.Yoshino
    • 雑誌名

      Annals of the CIRP Vol.54/1(to be published)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2004 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] 社本 英二: "機械式円振動発生機構を利用した楕円振動切削加工機の開発"精密工学会誌. 69・4. 542-548 (2003)

    • 関連する報告書
      2003 実績報告書
  • [文献書誌] 樋野 励: "直接オフセット法による工具経路生成(第1報)-基本手順の提案"精密工学会誌. 69・6. 781-787 (2003)

    • 関連する報告書
      2003 実績報告書
  • [文献書誌] 社本 英二: "傾斜型楕円振動切削加工法の提案とその基本特性"精密工学会誌. 69・7. 970-975 (2003)

    • 関連する報告書
      2003 実績報告書
  • [文献書誌] 社本 英二: "切削力モデルに基づくエンドミル加工状態の知的認識-データベースを必要としない手法の開発"日本機械学会論文集C編. 69・683. 1927-1932 (2003)

    • 関連する報告書
      2003 実績報告書
  • [文献書誌] Norikazu SUZUKI: "Ultraprecision Micromachining of Hardened Steel by Applying Ultrasonic Elliptical Vibration Cutting"2003 International Symposium on Micromechatronics and Human Science. 221-226 (2003)

    • 関連する報告書
      2003 実績報告書
  • [文献書誌] 社本 英二: "CNC装置の内部情報を利用した工作機械の熱変形推定"日本機械学会論文集C編. 69・686. 2775-2782 (2003)

    • 関連する報告書
      2003 実績報告書
  • [文献書誌] 鈴木 教和: "楕円振動切削加工法による金型鋼の超精密・微細加工"型技術. 18巻13号. 16-17 (2003)

    • 関連する報告書
      2003 実績報告書
  • [文献書誌] 鈴木 教和: "単結晶材料の延性モード超音波楕円振動切削加工"2003年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集. 340 (2003)

    • 関連する報告書
      2003 実績報告書

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公開日: 2003-04-01   更新日: 2016-04-21  

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