| 研究課題/領域番号 |
15360158
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| 研究種目 |
基盤研究(B)
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| 配分区分 | 補助金 |
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| 応募区分 | 一般 |
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| 研究分野 |
電子・電気材料工学
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| 研究機関 | 東北大学 |
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研究代表者 |
島田 寛 東北大学, 多元物質科学研究所, 教授 (00006157)
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| 研究分担者 |
岡本 聡 東北大学, 多元物質科学研究所, 助手 (10292278)
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| 研究期間 (年度) |
2003 – 2004
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| 研究課題ステータス |
完了 (2004年度)
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| 配分額 *注記 |
14,900千円 (直接経費: 14,900千円)
2004年度: 2,800千円 (直接経費: 2,800千円)
2003年度: 12,100千円 (直接経費: 12,100千円)
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| キーワード | 蒸着 / グラニュラー薄膜 / EMC / 透磁率 / 電磁波吸収 / 繊維状構造 / 微粒子 / 磁性薄膜 / グラニュラー / 高周波 / 高電気抵抗 / 電磁ノイズ / 電磁ノイズ吸収材料 |
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| 研究概要 |
グラニュラー磁性薄膜の工業的な機能性向上、生産性向上のために、従来のスパッター法に代わり蒸着法によって繊維状グラニュラー構造を作り、磁気異方性、電気抵抗などの機能性を追及した。この構造の形状磁気異方性は、相分離を制御することによって、磁化容易軸が垂直方向、面内方向の二種類の薄膜が得られる。これらについて、以下の実験を行った。
1.Ni_<80>Fe_<20>-(CaF_2,SrF_2,MgF_2,B_2O_3)などの組成でグラニュラー構造を作成し、磁気異方性を解明する。2.微視的な磁化の構造を解明する。3.磁気異方性を決める相分離を制御し、透磁率を変化させる。4.TMRを測定する。5.透磁率の周波数特性を測定し、磁気異方性との関連を解明する。6.EMC材料としての機能性を評価する。その成果として、(1)蒸着法では、繊維状グラニュラー構造が得られ、相分離がすすんでいると垂直磁気異方性、すすんでいないと面内磁気異方性となる。(2)垂直磁気異方性を持つ薄膜においても、繊維構造の相分離が完全でなく、TMRは低い(1%以下)。(3)垂直、面内磁気異方性ともに、透磁率の周波数特性を明らかにした。特に、(Ni_<80>Fe_<20>-CaF_2、B_2O_3など)は、電気抵抗が2桁程度高い。(4)蒸着では、スパッター法に比べて3桁高い膜形成速度(10μm/min.)でも、同様な構造が得られ、基板温度の上昇も少ない。(5)蒸着膜は、伝送ノイズ吸収性能測定、放射ノイズ抑制性能測定の結果、2μmでも従来の約100μm厚の電磁波吸収シートと同等の性能を示す。以上の結果より、蒸着法では、高い生産性を持つ高周波対応磁性材料が得られることを実証した。
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