| 研究課題/領域番号 |
15360485
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| 研究種目 |
基盤研究(B)
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| 配分区分 | 補助金 |
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| 応募区分 | 一般 |
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| 研究分野 |
リサイクル工学
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| 研究機関 | 関西大学 |
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研究代表者 |
芝田 隼次 関西大学, 工学部, 教授 (70067742)
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| 研究分担者 |
山本 秀樹 関西大学, 工学部, 教授 (30174808)
村山 憲弘 関西大学, 工学部, 助手 (90340653)
田中 幹也 産業技術総合研究所, 環境調和技術研究部門・金属回収グループ, グループ長
若松 貴英 名城大学, 都市情報学部, 教授 (50025897)
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| 研究期間 (年度) |
2003 – 2004
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| 研究課題ステータス |
完了 (2004年度)
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| 配分額 *注記 |
6,900千円 (直接経費: 6,900千円)
2004年度: 1,700千円 (直接経費: 1,700千円)
2003年度: 5,200千円 (直接経費: 5,200千円)
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| キーワード | IT関連産業 / 液晶 / エッチング廃液 / 溶媒抽出 / 混酸廃液 / 分離操作 / シリコンウエハー |
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| 研究概要 |
この研究は、半導体製造や液晶製造の工程から発生する混酸廃液の処理、すなわち溶媒抽出法による廃混酸からの各酸の分離精製技術を確立し、さらに廃混酸の分離精製プロセスの開発までを行う研究である。昨年度に検討した半導体製造工程から発生する酸廃棄物の処理プロセスの開発研究の成果を踏まえて、液晶製造工程から排出される酸廃棄物の処理プロセスについて検討を行った。
リン酸、酢酸、硝酸、硫酸、塩酸の各単味液からの酸の抽出と剥離の基礎試験を行った。抽出剤としてデカノール、TBP(トリブチルホスフェート)およびTOP(トリオクチルホスフェート)などを選んで、各酸の抽出特性と剥離特性を明らかにするとともに各酸の抽出機構について考察した。併せて、2成分および3成分の酸を含む混合溶液からの酸の抽出実験を行った。単味液からの酸と抽出特性と、酸混合物からの酸の抽出特性は大きく異なることがわかった。溶媒抽出法による酸の回収では、酸の分離のみが可能であり酸の濃縮は困難であったが、酸混合物からの酸の抽出特性をうまく利用すると、酸の濃縮が可能であることを明らかにした。たとえば、希薄なリン酸水溶液に意図的に少量の塩酸を添加すると、リン酸を濃縮して回収できることがわかった。これらの基礎試験の結果に基づいて構築された酸分離プロセスを構築し、小型のミキサーセトラー装置を用いた実証試験にて本プロセスが妥当であることを確かめた。液バランスを考慮した酸の分離回収プロセスの構築を目的として、回収製品の単通収率を確保して回収製品の純度を高める方法を検討した。
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