• 研究課題をさがす
  • 研究者をさがす
  • KAKENの使い方
  1. 前のページに戻る

半導体材料切断用マルチワイヤソーにおける加工中のスラリー挙動と最適加工条件の構築

研究課題

研究課題/領域番号 15560104
研究種目

基盤研究(C)

配分区分補助金
応募区分一般
研究分野 生産工学・加工学
研究機関金沢工業大学

研究代表者

石川 憲一  金沢工業大学, 工学部, 教授 (00064452)

研究期間 (年度) 2003 – 2004
研究課題ステータス 完了 (2004年度)
配分額 *注記
3,200千円 (直接経費: 3,200千円)
2004年度: 1,300千円 (直接経費: 1,300千円)
2003年度: 1,900千円 (直接経費: 1,900千円)
キーワード砥粒加工 / 切断加工 / ラッピング / マルチワイヤソー / スラリー挙動 / スライシング / スラリー
研究概要

マルチワイヤソーとは,複数本の細線ワイヤを高速で往復走行させ,砥粒を油性あるいは水溶性の分散液(ベースオイル)に懸濁させた加工液(スラリー)を加工部へ連続的に供給しながらスライシング加工を行う方法であり,ワイヤと工作物との間(加工部)に浸入したスラリー中に含まれる砥粒の転動や引っ掻き作用により微小切削(ラッピング)加工が行われる.加工特性は,加工部における砥粒の介在状態とその挙動に大きく影響されることから,スラリーの組成並びにその供給状態に著しく依存する.
そこで,本申請課題では工作物降下型マルチワイヤソーの加工部におけるスラリー挙動と加工特性の関係を明らかにすることを目的として,スラリー供給点から工作物間並びに加工溝内部におけるスラリー挙動を高速度ビデオカメラによって観察し,一連の加工実験を通じて,スラリー挙動が加工特特性に及ぼす影響を検討した.
その結果,以下の事柄が明らかとなった.
(1)加工溝内部はスラリーでほぼ満たされており,ワイヤ進入側付近は工作物下面へ,ワイヤ排出側付近は工作物側面及び下面からワイヤへ向かう流れを生じる.
(2)スラリーはワイヤ進入部だけでなく,ワイヤ排出側の工作物側面及び下面からも加工溝内部へ浸入しており,スラリーをワイヤ上に供給する方法では,加工溝内部へ多量の空気が侵入する.
(3)加工溝内部へ侵入した空気はワイヤ周囲で層状になり,加工部へのスラリーの供給を妨げ,加工能率及び加工精度の悪化を招く.
(4)加工溝内にスラリーを安定供給する方法の1つとして工作物を加工液中に沈めて加工する方法(浸漬方式)を実験的に検討した結果,加工溝中には全く気泡が入ることなく切断加工ができる.また,流体シミュレーションソフト等を用いて,浸漬槽内のスラリーの挙動解析を行った結果,工作物の切断荷重を減らす方向にスラリー流れが発生しやすい.

報告書

(3件)
  • 2004 実績報告書   研究成果報告書概要
  • 2003 実績報告書
  • 研究成果

    (10件)

すべて 2005 2004 2003 その他

すべて 雑誌論文 (8件) 文献書誌 (2件)

  • [雑誌論文] マルチワイヤソーにおける加工中のスラリー挙動に関する研究2005

    • 著者名/発表者名
      石川憲一
    • 雑誌名

      2005年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集

      ページ: 1-2

    • NAID

      130004657374

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2004 実績報告書 2004 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] A Study on Slurry Actions in Slicing of Multi-Wire Saw2005

    • 著者名/発表者名
      Ken-ichi ISHIKAWA
    • 雑誌名

      Proc.of JSPE

      ページ: 1-2

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2004 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] マルチワイヤソーで用いるスラリーの劣化と加工特性の関係2004

    • 著者名/発表者名
      石川憲一
    • 雑誌名

      2004年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集

      ページ: 21-22

    • NAID

      130004656005

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2004 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] マルチワイヤソーにおけるスラリーが加工特性に与える影響2004

    • 著者名/発表者名
      石川憲一
    • 雑誌名

      2004年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集

      ページ: 345-346

    • NAID

      130004655509

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2004 実績報告書 2004 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Relationship between Degradation of Slurry and Slicing Characteristics at Multi-Wire Saw2004

    • 著者名/発表者名
      Ken-ichi ISHIKAWA
    • 雑誌名

      Proc.of JSPE

      ページ: 21-22

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2004 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Relationship between Slurry and Slicing Characteristics at Multi-Wire Saw2004

    • 著者名/発表者名
      Ken-ichi ISHIKAWA
    • 雑誌名

      Proc.of JSPE

      ページ: 345-346

    • NAID

      130004655509

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2004 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] 工作物降下型マルチワイヤソーにおける加工溝内でのスラリーの影響2003

    • 著者名/発表者名
      石川憲一
    • 雑誌名

      日本設計工学会北陸支部平成15年度研究発表論文集

      ページ: 1-4

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2004 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Influence of Slurry in Slicing Grooves at Multi-Wire Saw2003

    • 著者名/発表者名
      Ken-ichi ISHIKAWA
    • 雑誌名

      Proc.of JSDE

      ページ: 1-4

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2004 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] 石川 憲一: "マルチワイヤソーにおける加工溝内部のスラリー挙動と加工特性の関係"精密工学会誌. 69・12. 1739-1743 (2003)

    • 関連する報告書
      2003 実績報告書
  • [文献書誌] 石川 憲一: "マルチワイヤソーで用いるスラリーの劣化と加工特性の関係"精密工学会2004年度春季大会講演論文集. 21-22 (2004)

    • 関連する報告書
      2003 実績報告書

URL: 

公開日: 2003-04-01   更新日: 2016-04-21  

サービス概要 検索マニュアル よくある質問 お知らせ 利用規程 科研費による研究の帰属

Powered by NII kakenhi