• 研究課題をさがす
  • 研究者をさがす
  • KAKENの使い方
  1. 前のページに戻る

スパッタ薄膜による固体接触部のナノ現出方法の開発

研究課題

研究課題/領域番号 15560112
研究種目

基盤研究(C)

配分区分補助金
応募区分一般
研究分野 設計工学・機械機能要素・トライボロジー
研究機関宇都宮大学

研究代表者

川口 尊久  宇都宮大学, 工学系研究科, 助手 (60234043)

研究分担者 畑沢 鉄三  宇都宮大学, 工学部, 教授 (30114169)
研究期間 (年度) 2003 – 2004
研究課題ステータス 完了 (2004年度)
配分額 *注記
2,200千円 (直接経費: 2,200千円)
2004年度: 300千円 (直接経費: 300千円)
2003年度: 1,900千円 (直接経費: 1,900千円)
キーワード真実接触面積 / 固体表面 / スパッタ薄膜 / マルチスケール / ヘルツ接触 / SPM
研究概要

本研究は,種々のスケールの突起が接触した場合に,それらの突起がどのように接触するのか,マクロからミクロにわたる広範囲な尺度で接触の様子を解明するため,特に測定範囲1μm四方以下で見られる微小な突起の接触について詳細に観察,解析することにより固体の接触機構の究明を行うことを目的としている.そのため,スパッタリングにより固体表面に数nmの薄膜を被覆させ,その皮膜が接触によって他の固体表面に移着することを利用して,真実接触部を検出する方法を考案し,その有用性について検討を行っている.
これまでの接触実験は,主に大気中で湿度をコントロールして行ってきたが,本年度は試料表面の吸着分子の影響を考察するために,中真空中(約10 1Pa)での接触実験のために実験装置を製作し,検討を行った.
まず,実験装置から発生するガス等を真空中にて加熱処理することにより取り除き,実験装置自体の清浄度をより向上させることで可能であると考えられるため,真空度約10Pa,温度100〜200℃で実験装置へのベーキングを繰り返していくことにより実験装置の清浄度向上をはかった.
次に,真空中に押し付け実験装置を入れ,滑らかな鋼球を滑らかなガラス平面にヘルツ接触させる実験を行なった.この結果,現時点では真空中の接触になると薄膜の移着がし難くなる傾向が見られた.この原因としては,接触界面の水分子によるメニスカスカの影響などが考えられる.しかしながら,真空中で水分子の影響がなくなることによって,大気中では現出し難かった高さ数nm以下の微細な突起の接触がより詳細に現出されるようになったことも考えられるため,今後もさらにデータを積み重ねるとともに,試料表面のエネルギーを考慮した解析とも併せて検討を行っていく予定である.

報告書

(3件)
  • 2004 実績報告書   研究成果報告書概要
  • 2003 実績報告書
  • 研究成果

    (12件)

すべて 2005 2004 2003

すべて 雑誌論文 (12件)

  • [雑誌論文] 真実接触面積の計測と評価2005

    • 著者名/発表者名
      川口尊久
    • 雑誌名

      トライボロジスト 50・7(掲載決定)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2004 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Measurements and Evaluation of Real Contact Area2005

    • 著者名/発表者名
      Takahisa KAWAGUCHI
    • 雑誌名

      Journal of Japanese Society of Tribologists 50

      ページ: 7-7

    • NAID

      10016598108

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2004 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Application of Micro-Displacement Characteristics to Nanoscale positioning2004

    • 著者名/発表者名
      Tetsuzo HATAZAWA
    • 雑誌名

      Wear. 257

      ページ: 1226-1229

    • NAID

      110002500637

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2004 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Application of Micro-Displacement Characteristics to Nanoscale positioning2004

    • 著者名/発表者名
      Tetsuzo HATAZAWA
    • 雑誌名

      Wear 257

      ページ: 1226-1229

    • NAID

      110002500637

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2004 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Measurement of Contacts by SPM2004

    • 著者名/発表者名
      Takahisa Kawaguchi
    • 雑誌名

      Proceedings of Metrology and Properties of Engineering Surfaces 9th International Conference, Sweden

      ページ: 257-260

    • 関連する報告書
      2004 実績報告書
  • [雑誌論文] Application of Micro-Displacement Characteristics to Nanoscale positioning2004

    • 著者名/発表者名
      Tetsuzo Hatazawa
    • 雑誌名

      Wear 257

      ページ: 1226-1229

    • NAID

      110002500637

    • 関連する報告書
      2004 実績報告書
  • [雑誌論文] スラスト針状ころ軸受の摩擦特性(第1報)-単列形の場合-2003

    • 著者名/発表者名
      畑沢鉄三
    • 雑誌名

      トライボロジスト 48・9

      ページ: 752-759

    • NAID

      10011734738

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2004 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] スラスト針状ころ軸受の摩擦特性(第2報)-複列形の場合および単列形との比較-2003

    • 著者名/発表者名
      畑沢鉄三
    • 雑誌名

      トライボロジスト 48・9

      ページ: 760-764

    • NAID

      10011734746

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2004 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Measurement of Contacts by SPM2003

    • 著者名/発表者名
      T.Kawaguchi
    • 雑誌名

      Transactions of the 9th Int.Conf.on Metrology and Properties of Engineering Surfaces, September 10-11, Halmstad University, Halmstad, Sweden

      ページ: 257-260

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2004 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Friction Characteristics of Needle Roller Thrust Bearings (Part 1)-In the Case of Single Row Type Bearing-2003

    • 著者名/発表者名
      Tetsuzo HATAZAWA
    • 雑誌名

      Journal of Japanese Society of Tribologists 48, 9

      ページ: 752-759

    • NAID

      10011734738

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2004 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Friction Characteristics of Needle Roller Thrust Bearings (Part 2)-In the Case of Multi Row Type Bearing and Comparison with Single Row Type Bearing-2003

    • 著者名/発表者名
      Tetsuzo HATAZAWA
    • 雑誌名

      Journal of Japanese Society of Tribologists 48, 9

      ページ: 760-764

    • NAID

      10011734746

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2004 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Measurement of Contacts by SPM2003

    • 著者名/発表者名
      T.Kawaguchi
    • 雑誌名

      Transactions of the 9th Int.Conf.on Metrology and Properties of Engineering Surfaces, September 10-11(Halmstad University, Halmstad, Sweden)

      ページ: 307-311

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2004 研究成果報告書概要

URL: 

公開日: 2003-04-01   更新日: 2016-04-21  

サービス概要 検索マニュアル よくある質問 お知らせ 利用規程 科研費による研究の帰属

Powered by NII kakenhi