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分子気体効果を利用した新型真空ポンプの開発

研究課題

研究課題/領域番号 15560139
研究種目

基盤研究(C)

配分区分補助金
応募区分一般
研究分野 流体工学
研究機関京都大学

研究代表者

杉元 宏  京都大学, 工学研究科, 講師 (50222055)

研究期間 (年度) 2003 – 2005
研究課題ステータス 完了 (2005年度)
配分額 *注記
3,600千円 (直接経費: 3,600千円)
2005年度: 600千円 (直接経費: 600千円)
2004年度: 1,500千円 (直接経費: 1,500千円)
2003年度: 1,500千円 (直接経費: 1,500千円)
キーワード気体分離 / 真空ポンプ / 熱遷移 / ドライポンプ / 分子気体力学 / 膜分離 / マイクロ化学 / 熱尖端流 / 空気分離 / 熱遷移流 / 熱突端流 / Knudsen Compressor / 熱ほふく流 / マイクロチャンネル
研究概要

低圧下やミクロな系においては,気体が連続な物質ではなく,分子の集まりであることの効果-分子気体効果-が現れてくる.温度場によって,重力の有無に依らずに流れが誘起される現象もその一つである.本研究では,この現象を利用した新しいタイプのポンプ(熱駆動型ボンプ)の開発を目指し,以下の研究を行った.
1.熱尖端ポンプの開発:従来の熱駆動型ポンプは,クヌーセンポンプと呼ばれる,熱遷移流を駆動力とする装置であった.本研究では,ポンプの駆動力として熱尖端流を用いる新しいタイプの熱駆動型ポンプ「熱尖端ポンプ」を考案した.このポンプでは,クヌーセンポンプで必要不可欠である固体壁面の温度勾配が不要であり,このため,ポンプ中の加熱部と冷却部を真空中で隔離することが可能になる.このポンプの試作・実証試験を行い,熱尖端ポンプが実際に優れたエネルギー効率を持つことを示した.
産業上の応用の面では,熱駆動型ポンプの動作圧力を向上させることも必要である.この場合,ポンプ内部の流路のサイズを(例えばμm程度まで)微細化する必要があり,実現可能な形には強い制約が生まれる.この問題について数値解析を進め,熱尖端ポンプの流路形状に大幅な自由度があり,多孔質を用いた熱尖端ポンプも考えられることを示した.
2.熱駆動型ポンプの混合気体濃縮効果:分子気体効果の一つは,混合気体の各成分が別々の流速を持つことである.熱駆動型ポンプの駆動力も気体の成分に依存するため,ポンプ内で混合気体が分離する可能性がある.このアイデアに基づいて数値解析を進め,熱駆動型ポンプが混合気体濃縮効果を持つことを見出した.熱駆動型ポンプを混合気体濃縮に利用することは,本研究ではじめて提案されたアイデアである.この研究成果は,熱駆動流を用いた新しい混合気体濃縮方法という新しい研究分野を開くものである.

報告書

(4件)
  • 2005 実績報告書   研究成果報告書概要
  • 2004 実績報告書
  • 2003 実績報告書
  • 研究成果

    (10件)

すべて 2005 2004

すべて 雑誌論文 (5件) 産業財産権 (5件)

  • [雑誌論文] Vacuum pump without a moving part driven by thermal edge flow2005

    • 著者名/発表者名
      H.Sugimoto, Y.Sone
    • 雑誌名

      Rarefied Gas Dynamics, ed. by M. Capitelli

      ページ: 168-173

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2005 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Vacuum pump without a moving part driven by thermal edge flow2005

    • 著者名/発表者名
      H.Sugimoto, Y.Sone
    • 雑誌名

      Rarefied Gas Dynamics(ed.by M.Capitelli)

      ページ: 168-173

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2005 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Vacuum pump without a moving part driven by thermal edge flow2005

    • 著者名/発表者名
      H.Sugimoto, Y.Sone
    • 雑誌名

      Rarefied Gas Dynamics(ed. by M.Capitelli)

      ページ: 168-173

    • 関連する報告書
      2005 実績報告書
  • [雑誌論文] 熱駆動型ポンプの混合気体濃縮効果2005

    • 著者名/発表者名
      杉元宏, 高田滋, 小菅真吾
    • 雑誌名

      日本航空宇宙学会 第42回関西・中部支部合同秋季大会講演集

      ページ: 50-53

    • 関連する報告書
      2005 実績報告書
  • [雑誌論文] Vacuum pump without a moving part driven by thermal edge flow2005

    • 著者名/発表者名
      H.Sugimoto, Y.Sone
    • 雑誌名

      Rarefied Gas Dynamics(ed.by M.Capitelli) (発表予定)

    • 関連する報告書
      2004 実績報告書
  • [産業財産権] 混合気体の分離方法、及び気体分離装置2005

    • 発明者名
      杉元宏, 高田滋, 小菅真吾, 竿田武則
    • 権利者名
      京都大学
    • 産業財産権番号
      2005-035280
    • 出願年月日
      2005-02-10
    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2005 研究成果報告書概要
  • [産業財産権] 混合気体の分離方法、及び気体分離装置2005

    • 発明者名
      杉元 宏, 高田 滋, 小菅 真吾, 竿田 武則
    • 権利者名
      京都大学
    • 産業財産権番号
      2005-035280
    • 出願年月日
      2005-02-10
    • 関連する報告書
      2005 実績報告書 2004 実績報告書
  • [産業財産権] ポンプ装置およびそのポンプユニット2004

    • 発明者名
      杉元宏, 曾根良夫, 大林哲郎
    • 権利者名
      京都大学, 大阪真空機器製作所
    • 出願年月日
      2004-03-23
    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2005 研究成果報告書概要
  • [産業財産権] ポンプ装置およびそのポンプユニット2004

    • 発明者名
      杉元 宏, 曾根 良夫, 大林 哲郎
    • 権利者名
      京都大学、大阪真空機器製作所
    • 出願年月日
      2004-03-23
    • 関連する報告書
      2005 実績報告書
  • [産業財産権] ポンプ装置およびそのポンプユニット2004

    • 発明者名
      杉元 宏, 曾根 良夫, 大林 哲郎
    • 権利者名
      京都大学, 大阪真空機器製作所
    • 産業財産権番号
      2004-085050
    • 出願年月日
      2004-03-23
    • 関連する報告書
      2004 実績報告書

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公開日: 2003-04-01   更新日: 2016-04-21  

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