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多品種の半導体集積回路を効率的に生産する手法に関する研究

研究課題

研究課題/領域番号 15560350
研究種目

基盤研究(C)

配分区分補助金
応募区分一般
研究分野 システム工学
研究機関会津大学

研究代表者

齋藤 和之  会津大学, コンピュータ理工学部, 教授 (60254083)

研究期間 (年度) 2003 – 2004
研究課題ステータス 完了 (2004年度)
配分額 *注記
1,700千円 (直接経費: 1,700千円)
2004年度: 800千円 (直接経費: 800千円)
2003年度: 900千円 (直接経費: 900千円)
キーワード半導体集積回路 / 設備計画 / ディスパッチ法 / 生産シミュレーション / ペトリネット / 応答時間 / 段取り / 半導体製造技術 / 多品種生産 / 優先度割付け法 / スループット
研究概要

本研究では新しいディスパッチ法として、Pseudo Periodical Priority Dispatch(P3D)法を提案している。P3D法はインプリシットに納期も考慮したディスパッチ法である。FCFS法、SPT法などとの比較の結果、P3D法は、ボトルネック工程でのスループット、段取り回数において他のディスパッチ法に比べて優れており、平均のサイクルタイムではFCFSに優れ、SPTと匹敵する性能を示した。また、サイクルタイムの分散、ディスパッチの公平性ではSPTに優れ、FCFSに匹敵する性能を示している。この結果、装置の利用率が高く、仕掛かり在庫を発生しにくく、段取りに伴う新たな人的リソースの要求が小さく、低コストの生産を可能とするディスパッチ法であることが示された。同時に、納期の予測性が高く、ロバスト性の高い生産が可能となることも示された。
また生産シミュレータの開発をカラーPetri Net理論に基づいて行ってきた。半導体生産システムに特有ではあるが、ループ型ネットを記述することにより、300工程を超える複雑な工程を比較的簡単に表現することが可能となった。しかし、通常のカラーPetri Netを超えるトークンの属性の定義が必要になること、トークンの状態に対応づけて工程表を参照する仕組みが必要であること、トランジションの属性をトークンの属性を参照して定める必要が生ずることなど、従来のPetri Net理論を超える新しい考え方の導入が求められた。また、分岐を表現すること、製品の主要な流れを判り易く表現する提案も行ってきた。
本研究は2カ年の計画で進めて来たが、ディスパッチ法に関しても、生産シミュレータ開発においても一定の前進を見せた。今後、これらの研究成果を広く公表するとともに、さらなる、課題への挑戦、企業との連携による実システムでの評価をすすめて行く考えである。

報告書

(3件)
  • 2004 実績報告書   研究成果報告書概要
  • 2003 実績報告書
  • 研究成果

    (14件)

すべて 2005 2004 2003 その他

すべて 雑誌論文 (12件) 文献書誌 (2件)

  • [雑誌論文] Modification of Color Petri Nets for modeling and designing Semiconductor Manufacturing Systems2005

    • 著者名/発表者名
      Hiroaki Iwao
    • 雑誌名

      The master thesis, The Univ. of Aizu

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2004 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Modification of Color Petri Nets for modeling and designing Semiconductor Manufacturing System2005

    • 著者名/発表者名
      Hiroaki Iwao
    • 雑誌名

      The Master Thesis, The Univ. of Aizu

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2004 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Modification of Color Petri Nets for modeling and designing Semiconductor Manufacturing Systems2005

    • 著者名/発表者名
      Hiroaki Iwao
    • 雑誌名

      The Master Thesis, The Univ.of Aizu

    • 関連する報告書
      2004 実績報告書
  • [雑誌論文] Minimization of Adjustment Frequency to achieve Low-Cost Fabrication2004

    • 著者名/発表者名
      K.Saito, M.Nagashima
    • 雑誌名

      Technical Report, The Univ. of Aizu 2004-2-001

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2004 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] 半導体システムのカラーペトリネット記述の簡素化2004

    • 著者名/発表者名
      岩尾浩晃, 齋藤和之
    • 雑誌名

      計測自動制御学会東北支部 第219回研究集会資料 219-1

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2004 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Minimization of Adjustment Frequency to Achieve Low-Cost Fabrication2004

    • 著者名/発表者名
      K.Saito, M.Nagashima
    • 雑誌名

      Technical Report, The Univ. of Aizu

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2004 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Simplification of Color Petri Net modeling for The Semiconductor Manufacturing System2004

    • 著者名/発表者名
      H.Iwao, K.Saito
    • 雑誌名

      SICE Tohoku, 219^<th> Research Meeting

      ページ: 219-1

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2004 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] 半導体システムのカラーペトリネット記述の簡素化2004

    • 著者名/発表者名
      岩尾浩晃, 齋藤和之
    • 雑誌名

      計測自動制御学会東北支部第219回研究集会資料 219-1

    • 関連する報告書
      2004 実績報告書
  • [雑誌論文] A Novel Dispatch Algorithm Reducing Adjustement Rate in A Product-mix2003

    • 著者名/発表者名
      K.Saito, S.Ariam
    • 雑誌名

      Proc. 2003 IEEE Intern.Symp.Semicon.Manufact.(ISSM)

      ページ: 285-288

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2004 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] A Novel Dispatch Algorithm Reducing Adjustement Rate in A Product-mix2003

    • 著者名/発表者名
      齋藤和之
    • 雑誌名

      ISSM2003日本特別報告会

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2004 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] A Novel Dispatch Algorithm reducing Adjustment Rate in a Product-mix2003

    • 著者名/発表者名
      K.Saito, S.Arima
    • 雑誌名

      Proc. 2003 IEEE Intern. Semicon. Manufact., ISSM2003

      ページ: 285-288

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2004 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] A Novel Dispatch Algorithm reducing Adjustment Rate in a Product-mix2003

    • 著者名/発表者名
      K.Saito
    • 雑誌名

      Japan Special Meeting on ISSM2003

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2004 研究成果報告書概要
  • [文献書誌] 齋藤和之, 有馬澄佳: "A Novel Dispatch Algorithm reducing Adjustment Rate in a Product-mix"Proc.2003 IEEE Intern.Symp.on Semicon.Manufacture.(ISSM). 285-288 (2003)

    • 関連する報告書
      2003 実績報告書
  • [文献書誌] 齋藤和之, 永島 充: "Minimization of Adjustment Frequency to achieve Low-Cost Fabrication"Technical Report, The University of Aizu. 2004-2-001. (2004)

    • 関連する報告書
      2003 実績報告書

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公開日: 2003-04-01   更新日: 2016-04-21  

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