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エネルギー分散型X線反射率計用全反射屈折フイルターの試作

研究課題

研究課題/領域番号 15656012
研究種目

萌芽研究

配分区分補助金
研究分野 薄膜・表面界面物性
研究機関京都大学

研究代表者

堀内 俊壽  京都大学, 工学研究科, 助手 (10238785)

研究分担者 松重 和美  京都大学, 工学研究科, 教授 (80091362)
山田 啓文  京都大学, 工学研究科, 助教授 (40283626)
石田 謙司  京都大学, 工学研究科, 講師 (20303860)
研究期間 (年度) 2003 – 2004
研究課題ステータス 完了 (2004年度)
配分額 *注記
3,600千円 (直接経費: 3,600千円)
2004年度: 1,400千円 (直接経費: 1,400千円)
2003年度: 2,200千円 (直接経費: 2,200千円)
キーワードエネルギー分散X線反射率 / 全反射X線 / 全反射X線フイルター / 全反射臨界角 / 全反射臨界エネルギー / その場測定 / 全反射X線分光 / 屈折X線 / 全反射X線フィルター
研究概要

16年度の研究実績は研究計画の80パーセントは遂行できた。具体的には
本年度は次の研究計画をたてた。(1)鏡面フィルターを作製と平行して高精度基礎実験用として全反射白色X線回折装置のゴニオメータに高精度回転(1/500度)と平行移動(1ミクロン)ができる屈折X線強度測定装置を設計・製作する。(2)高精度屈折X線強度測定装置、各種材料フイルターを用いてフイルターの最適化がなされ実用研究のめどがたてば反射率計としての装着を可能にする装置の設計装着を試みる。(3)高精度屈折X線強度測定装置を用いて各種薄膜試料を対称に実用化に向けての実験を行い、データを収集する。具体的には、可変エネルギーフイルターの特性測定、有機多層膜の構造評価(その場測定)、有機EL素子の動作構造変化の測定等の応用実験等を計画している。
以上の計画に対して、本年度の研究実績は次の通り。
(1)50ミクロンの両面研磨ベリリュームフィルターの作成に成功した。ゴニオメータ精度〔1/500度〕、平行移動精度〔1ミクロン〕の測定装置の作成に成功した。
(2)フィルター、ゴニオメータの作成に加え試料装着装置を完成させた。
(3)試料としてSi基板の反射率を測定し、データを収集した。その結果、本手法の有効性が確認された。また、実験で得られ可変エネルギーフイルターの特性とシミュレーションとの比較から装置改善の指針が得られた。有機多層膜の構造評価(その場測定)、有機EL素子の動作構造変化の測定等の応用実験等は実行できなかった。
以上の結果は国際学会(Materials Research Society (Boston)で発表した。

報告書

(2件)
  • 2004 実績報告書
  • 2003 実績報告書
  • 研究成果

    (7件)

すべて 2005 その他

すべて 雑誌論文 (1件) 文献書誌 (6件)

  • [雑誌論文] Energy Controlled X-ray Filter for Energy Dispersive X-ray Diflectometry2005

    • 著者名/発表者名
      T.Horiuchi, K.kago, K.Ishida, K.Matsushige
    • 雑誌名

      Material Research Society Proceedings (in-press)

    • 関連する報告書
      2004 実績報告書
  • [文献書誌] Kei Noda: "Remanent polarization of evaporated films of vinylidene fluoride oligomers"J.Appl.Phys.. 93[5]. 2866-2870 (2003)

    • 関連する報告書
      2003 実績報告書
  • [文献書誌] Toshihisa Horiuchi: "Observations of TiO2 Surfaces Using Totally Reflected X-ray In-plane Diffraction Under UV Irradiation"Mat.Res.Soc.Symp.Proc.. 751. 145-148 (2003)

    • 関連する報告書
      2003 実績報告書
  • [文献書誌] Kiyohiro Kaisei: "Surface Electrical Measurements of Photo-catalysis on Rutile TiO2(110)"Mat.Res.Soc.Symp.Proc.. 751. 155-159 (2003)

    • 関連する報告書
      2003 実績報告書
  • [文献書誌] Kei Noda: "Investigation of Ferroelectric Properties of Vinylidene Fluoride Oligomer Evaporated Films"Mat.Res.Soc.Symp.Proc.. 751. 145-148 (2003)

    • 関連する報告書
      2003 実績報告書
  • [文献書誌] Kei Noda: "Pyroelectricity of Ferroelectric Vinylidene Fluoride-Oligomer-Evaporated Thin Films"Jpn.J.Appl.Phys.. 42. L1334-L1336 (2003)

    • 関連する報告書
      2003 実績報告書
  • [文献書誌] Masayuki Yahiro: "Simple fabrication of nano-gap electrodes and application for organic field effect transistors"信学技報. 2003-59. 7-11 (2003)

    • 関連する報告書
      2003 実績報告書

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公開日: 2003-04-01   更新日: 2016-04-21  

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