レーザー光の干渉縞を使いナノ精度で膜厚を測る実習用教材の開発

• 研究課題/領域番号: 15914001
• 研究種目: 奨励研究
• 配分区分: 補助金
• 研究分野: 物理
• 研究機関: 東北大学多元物質科学研究所
• 研究代表者: 荒井 彰 東北大学, 多元物質科学研究所, 文部科学技官
• 研究期間 (年度): 2003
• 研究課題ステータス: 完了 (2003年度)
• 配分額: 240千円 (直接経費: 240千円); 2003年度: 240千円 (直接経費: 240千円)