ナノメートル3次元極微細構造形成法に関する基礎実験

• 研究課題/領域番号: 15919044
• 研究種目: 奨励研究
• 配分区分: 補助金
• 研究分野: 工業
• 研究機関: 富山大学
• 研究代表者: 大山 達雄 富山大学, 技術系職員
• 研究期間 (年度): 2003
• 研究課題ステータス: 完了 (2003年度)
• 配分額: 220千円 (直接経費: 220千円); 2003年度: 220千円 (直接経費: 220千円)